Устройство для жидкостной обработки деталей

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-sy(22) Заявлено 220978 (21) 2667471/18-21 (51) pA Kn.

H 01 L 21/00

С 25 D 17/02 с присоединением заявки ¹вЂ” (23) ПриоритетГосударственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий

Опубликовано 300280 Бюллетень ¹ 36 (53) УДК 621

002(088 8) Дата опубликования описания 300280 (72) Авторы изобретения

В.В. Потутинский, В.Ф. Ушаков и В.А. Ткач (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЖИДКОСТНОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к технологическому оборудованию, применяемому в полупроводниковой промышленности для химической обработки деталей удлиненной формы, в частности кремние5 вых слитков длиной до 630 мм.

, Известно травильное устройство, содержащее ряд ванн последовательной обработки, расположенных на одном уровне. Вдоль ванн смонтировайы рельсы, на которых с возможностью перемещения установлены транспортирующие механизмы (1 .

Недостатками устройства являются сложность и громоздкость транспорти- 1з рующего средства (наличие рельсов, транспортирующих механизмов), необхо-, димость изоляции упомянутого средства от вредного воздействия паров и брызг травителя, а также невозмож.ность обработки деталей одновременно во всех камерах, что снижает производительность устройства.

Известно также устройство для хи- 25 мической обработки деталей, содержащее камеры последовательной обработки со смежными перегородками, причем каждая камера снабжена перегру,жакхдей планкой, установленной с воэ- Зп можностью возвратно-поступательного перемещения (2) .

Однако это устройство имеет большие габариты, кроме того, в нем без конструктивных изменений невозможно осуществлять обработку деталей цилиндрической форьы, например полупроводниковых слитков.

11ель изобретения — повышение процента выхода годных деталей — достигается тем, что в устройстве для жидкостной обработки деталей, преимущественно кремниевых слитков, содержащем камеры последовательной обработки с перегородками, причем каждая камера снабжена перегружающей планкой, установленной с возможностью воэвратнопоступательного перемещения, каждая камера снабжена двумя валиками, жестко закрепленными в нижней части камеры с возможностью прохода между ними перегружающей планки, а перегородки снабжены отбортовкой, выполненной с наклоном в сторону последовательного перемещения деталей.

На фиг. 1 изображено устройство для жидкостной обработки деталей в момент перегрузки," на фиг. 2 - то же,, в момент технологической обработки .

767869

Устройство для жидкостной обработки деталей содержит, например, три смежные камеры 1 последовательной об" работки с приспособлениями для перегрузки деталей из одной камеры в дру- . гую, каждое иэ которых включает планку 2, снабженную приводом 3 возвратно-поступательного движения в вертикальной плоскости. В нижней части каждой камеры 1 жестко закреплены валики 4, расположенные симметрично относительно планки 2 и с возможностью ее прохода между ними. План.ки 2 имеют скосы в сторону последовательной обработки деталей 5. Перегородки 6 между камерами снабжены отбортовкой, выполненной с наклоном в )$ сторону перемещения деталей. Валики 4 установленные с возможностью вращения вокруг своей оси, расположены так, что между перегородкой 6 и обраба.тываемой деталью 5 образуется зазор 2О от 1 до 5 мм, в зависимости от диаметра обрабатываемой детали 5. Камеры 1 последовательной обработки помещены в герметичный корпус 7, снабженный шлюзами 8, установленными на позициях загрузки-выгрузки деталей 5.

Устройство работает следующим образом.

Камеры 1 предварительно заполняются соответствующей средой обработки. Обрабатываемая деталь 5, например кремниевый слиток диаметром

75 мм и длиной 630 мм, через шлюз

8 подается в камеру 1. Планка 2 в этот момент находится в крайнем верхнем положении. Затем планка 2 начинает опускатьоя и деталь 5, опираясь одновременно на планку 2 и перегородку 6, перемещается вниз до тех пор, пока не попадает на валики 4. »

После этого валикам 4 сообщается вращательное движение от привода (на чертеже условно не показан).

Вместе с ними начинает вращаться деталь 5 и происходит процесо технологической ее обработки, например, удаление нарушенного слоя после операции калибровки кремниевой детали 5 на круглошлифовальном станке.

По окончании технологического процесса обработки в первой камере 1 деталь 5 с помощью планки 2 подается вверх на уровень высоты перегород.ки 6 и по скосам планки 2 и перегородки 6, образующим в данный мо мент наклонную плоскость, скатывается 55 на планку 2, размещенную в соседней камере 1, которая находится в верхнем крайнем положении,и в этой камере 1 цикл повторяется. В это время в первую камеру 1 через шлюз 8 подается очередная обрабатываемая деталь

5. Таким образом, осуществляется" загрузка и перегрузка деталей 5 и обеспечивается возможность обработки деталей 5 одновременно во всех камерах 1.

Выгрузка обработанной детали 5 происхоидт через шлюз 8, установленный на позиции выгрузки, в накопитель обработанных деталей 5.

Использование предложенного устройства в качестве технологического оборудования, в частности, полупроводникового производства, позволяет осуществлять обработку слитков, большой длины, например кремниевых и длиной 630 мм, без увеличения габаритов устройства.

Габариты устройства для жидкостной обработки деталей цилиндрической формы уменьшаются в 2,5-3 раза.

Применение этого устройства позволяет осуществлять операцию травления кремниевых слитков для удаления нарушенного слои после операции калибровки, что повышает процент выхода годных пластин и приборов °

С помощью предложенного устройства возможна обработка слитков, имеющих значительную длину, следовательно экономится дорогостоящий материал, так как исключается необходимость разделения слитков на отдельные более короткие заготовки.

Формула изобретения Устройство для жидкостной обработки деталей, преимущественно кремниевых слитков, содержащее камеры последовательной обработки с перегородками, причем каждая камера снабжена перегружаки ей планкой, установленной с возможностью возвратно-поступательного перемещения, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повыаения процента выхода годных деталей, каждая камера снабжена двумя валиками, жестко закрепленными в нижней части камеры с возможностью прохода между ними перегружающей, планки, а перегородки снабжены отбортовкой, выполненной с наклоном в сторону перемещения деталей.

Источники информации, принятые во внимание при эксйертиэе

1. Заявка Японии М 48-30213, кл. 12 A 12, опублик. 1973.

2. Заявка Японии Р 51-10944, кл. 99(5)C3, опублик. 1976 (прототип).

767869

f фиг. у

Ф .гу

Див. 2

Составитель Л. Гришкова

Редактор E. Караулова Техред A. Ач Корректор M. Демчик

Заказ 7213/49 Тираж 844 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35 Раушская наб., д. 4/5

«г

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4