Криогенный вакуумный насос

 

ОПИ С--АН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ 1769080

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

I, (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 31.07.78 (21) 2655042/25-06 (51) М. Кл.

F 04В 37/08 с присоединенйем заявки № (43) Опубликовано 07.10.80. Бюллетень № 37 (53) УДК 621.528.1 (088.8) по делам изобретений и открытий (45) Дата опубликования описания 07.10.80 (72) Авторы изобретения

О. С. Друй, Е. И. Скибенко и В. Б. Юферов (71) Заявитель (54) КРИОГEHHbIA ВАКУУМНЫЙ НАСОС

ГосУдарственный комитет (23) Приоритег

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно — к устройству криогенных вакуумный насосов.

Известны криогенные вакуумные насосы, содержащие корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемых цилиндрического и жалюзийного экранов откачиваю1цим элементом, выполненным в виде сосуда, заполненного хладагентом (1).

Недостатком указанных насосов является неэкономичность при расположении насоса вблизи источников высокочастотного излучения вследствие проникновения излучения через жалюзийный экран, что приводит к повышенному расходу хладагента.

Целью изобретения является повышение экономичности при расположении насоса вблизи источников высокочастотного излучения.

Указанная цель достигается тем, что между жалюзийным экраном и сосудом установлена металлическая сетка, соединенная с цилиндрическим экраном через тепловой мост.

На чертеже представлен продольный разрез насоса.

",313

Криогенный вакуумный насос содержит корпус 1 с размещенным в нем внутри охлаждаемых цилиндрического и жалюзийного экранов 2 и 3 откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда 4, заполненного хладагентом 5, причем между жалюзийным экраном 3 и сосудом 4 установлена металлическая сетка 6, соединенная с цилиндрическим экраном 2 через тепловой мост 7. Насос работает следующим образом.

Газ из вакуумной камеры через жалюзийный экран 3 и металлическую сетку 6

10 поступает к сосуду 4, где происходит его конденсация. Основной тепловой поток из вакуумной камеры поглощается цилиндрическим и жалюзийным экранами 2 и 3. Высокочастотное излучение с эффективностью

15 порядка 95% и более отражается и частично поглощается металлической сеткой 6, имеющей температуру, близкую к температуре цилиндрического экрана 2, с которым она соединена через тепловой мост 7. Эф20 фективность отражения высокочастотного излучения сеткой 6 достигается выбором размеров ячейки сетки 6 не более половины длины волны излучения, При больших мощностях высокочастотного излучения повышение эффективности отражения достигается путем установления нескольких сеток.

Кроме того, сетка 6, расположенная в пространстве между сосудом 4 и жалюзий30 ным экраном 3, предотвращает попадание

769080

Формула изобретения

Составитель В. Кряковкнн

Техред И. Пенчко

Редактор Е. Братчикова

Корректор А, Степанова

Заказ 1997/16 Изд. № 497 Тираж 729 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 опавшего с сосуда 4 криоосадка на экран 3, что может привести к повышению давления в вакуумной камере.

Криогенный вакуумный насос, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемых цилиндрического. и жалюзийного экранов откачивающим элементом,вы- 10 полненным в виде сосуда, заполненного хладагентом, отличающийся тем, что,с целью повышения экономичности при расположении насоса вблизи источников высокочастотного излучения, между жалюзийным экраном и сосудом установлена металлическая сетка, соединенная с цилиндрическим экраном через тепловой мост.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 392268, кл, F 04В 37/08, 1971.