Регулятор расхода газа

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскими

Социалистических

Республик

«»773579

f61) Дополнительное к авт. саид-ву — (22) Заявлено 23.02. 79 (21) 2728721/18-24 с присоединением заявки Нов (23) Приоритет—

Опубликовано 2310В0. Бюллетень ¹ 39

Дата опубликования описания 26,1080

{51)м. к„.

G 05 D 7/01

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий

{53) УДК 621.646.3 (088. 8) (72) Авторь изобретения

Л. К.Чвагер, Н. В. Бродянская, В. Н. Хоптяр и В. М. Рущенко (71) Заявитель (54) РЕГУЛЯТОР РАСХОДА ГАЗА

Изобретение относится к автоматике и может быть использовано в любой отрасли техники для получения точной дозировки исследуемых газов.

Известен регулятор расхода, содержащий корпус с входным и выходным каналами и регулирующий орган, выполненный в виде дисков, связанных с электроприводом (1) .

Недостатком регулятора является невозможность его применения для регулирования малых расходов иэ-эа возможных утечек газа.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является 15 устройство для регулирования малых расходов газа, содержащее корпус с входным и выходным каналами и связанный с приводом регулирующий орган, выполненный в виде подвижной платы 20 с выемкой переменного сечения. Выходное отверстие и выемка переменного сечения образуют регулируемую щель (2).

Однако известное устройство не обеспечивает высокой точности и плавности регулирования малых расходов газов по всей длине выемки переменного сечения при перемещении ее над выходным отверстием. Расход газа ре- ЗО гламентирован размерами выемки пере- менного сечения. Регулирование расхо- да газа в других пределах возможно лишь при замене подвижного элемента на другой с соответствующими размерами выемки переменного сечения.

Известное устройство не обеспечивает полную герметичность в условиях вакуума между подвижной и неподвижной притертыми поверхностями, что недопустимо в случае необходимости предварительной откачки вакуумной системы с целью полной очистки или прекращения подачи газа по технологическому процессу. Это приводит к ненадежности работы устройства.

Цель изобретения — повышение точности и надежности регулятора расхода газа.

Для достижения укаэанной цели, в корпусе установлены сильфон и втулка, в боковом отверстии которой расположен, установленный в сильфоне ре гулирующий орган, выполненный в виде штока, на боковой поверхности которого выполнены различной длины клиновидные канавки, а на торце штока выполнена цилиндрическая наклонная канавка.

773579

На фиг. 1 изображен регулятор расхода газа, общий вид; на фиг. 2 положение штока при последовательном перемещении вниз, разрез A-А на фиг.

1; на фиг. 3 — одна из канавок, выполненных на боковой поверхности штока.

Регулятор расхода газа содержит регулирущий орган 1, имеющий форму штока, на боковой поверхности которого выполнено несколько различной длины клиновидных канавок " переменного сечения (вершины их расположены ступенчато по отношению друг к другу), а на торце штока выполнена цилиндрическая наклонная канавка 3.

Шток 1 перемещается и боковом отверстии втулки 4 с входным 5 и выходным б каналами, сообщающимися с помощью канавок 2 и 3 штока 1.

Шток 1 соединен с силъфоном 7, имеющим высоковакуумное уплотнение 20

8, а также через винтовую передачу

9 с электродвигателем 10 и с редуктором, с помощью которого шток 1 приводится в возвратно-поступательное перемещение. Шток 1 содержит кольцевую уплотнительную прокладку 11. егулятор расхода газа работает следующим образом.

При начальном верхнем положении штока 1 полностью открыт входной канал 5, что соответствует наибольшему расходу газа, зависящему от площади сечения входного 5 и выходного б каналов.

При поступательном перемещении

35 подвижного штока 1 вниз газ поступает через щели, образуемые цилиндрической наклонной канавкой 3 и клиновидными канавками 2 переменного сечения при пересечении с поверх- 4О ностью 12 кольцевого корпуса 4, что соответствует положению на чертеже (фиг. 26).

При дальнейшем перемещении штока

1 вниз, продолжается регулирование больших расходов газа до выхода из действия наклонной канавки 3.

Расход газа постепенно уменьшается и дальше начинается регулирование малых расходов газа (фиг.2 в), Так как вершины клиновидных микроканавок 2 переменного сечения расположены ступенчато по отношению друг к другу, т.е. размер последующей канавки меньше, чем у предыдущей (фиг.3) то при дальнейшем перемещении вниз подвижного штока 1 последовательно выходят иэ действия клиновидные канавки 2 (фиг.2 г,д,е).

Положение штока 1 (фиг. 2 д) соответствует наименьшему расходу газа, щ а при дальнейшем его перемещении прокладка 11 уплотняет подвижный шток 1 и расход газа прекращается (фиг.2 е).

Микровыключатели 13 отключают злектродвига ель 10 в крайних положениях штока 1.

Таким образом, величина щелей в каждом из возможных положений подвижного цилиндрического штока 1 определяет величину расхода газа.

Максимальное количество пропускаемого газа соответствует положению подвижного цилиндрического штока 1 вверху (фиг. 1 и фиг. 2 а), а минимальное — внизу (фиг. 2 д).

В предлагаемом регуляторе расхода достигается повышение точности регулирования малых расходов газа за счет выполненных на наружной рабочей поверхности цилиндрического штока 1, нескольких различной длины клиновидных канавок 2 переменного сечения, а также осущестнляется регулирования больших расходов газа с помощью цилиндрической наклонной канавки 3.

Повышение точности регулирования особо малых расходов газа достигается также за счет изменения размеров клинонидных 2 переменного сечения, т.е. уменьшения размеров Я, к и увеличение размеров Р (фиг.3).

В предлагаемом регуляторе расхода при перемещении штока с клиновидными канавками 2 переменного сечения по отношению к поверхности 12, перпендикулярной оси перемещения штока, размеры образуемых микрозазоров изменяются плавно, беэ скачков, выходят из действия поочередно и также планно, что обусловлено воэможностью технологического исполнения поверхностей клинонидных канавок 2 плоскими, Формула изобретения

Регулятор расхода газа, содержащий корпус с входным и выходным каналами, связанный с приводом регулирующий орган, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и надежности регулятора, в корпусе установлены сильфон и втулка, в боковом отверстии которой расположен, установленный н сильфоне регулирующий орган, выполненный в виде штока, на боковой поверхности которого выполнены различной длины клиновидные канавки, а на торце штока ныполнена цилиндрическая наклонная канавка.

Источники информации принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР

Р 450048, кле G 05 О 7/03, 1972.

2.Авторское свидетельство СССР

9 301б91, кл. G 05 0 7/01, 1969 (прототип) .

773579

Составитель Л.Подшибихин

Редактор Г.Волковая Техред Н.Ковалева Корректор М.Шароши .Заказ 7503/60 Тираж 956 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5 филиал ППП"Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4