Устройство для очистки пластин

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистических

Республик ()))782193 (61) Дополнительное к авт. свид-ву № 660203 (22) Заявлено 18.04.79 (21) 2755458/26-21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет—

Опубликовано 23.11.80. Бюллетень № 43

Дата опубликования описания 28.11.80 (51) М. Кл.э

Н 05 К 3/26//

В 08 В 1/00

Гееударстаеииый камитет

СССР (53) УДК 621.396.

69.002 (088.8) до делам изебретеиий и открытий (72) Авторы

" изобретения

В. Н. Комаров, Н. И. Никулин, В. В. Степанов и И. И. Поярков

Г и:я ))4ъ.

1 (71) Заявитель (. с, )," - р t """ " - I (54) УСТРОЛСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ПЛАСТИН

Изобретение относится к технологическому оборудованию и может быть использовано для очистки при производстве печатных плат, интегральных схем, полупроводниковых приборов и т.д.

Известно устройство для очистки пластин по основному авт. св. № 660203, содержащее центрифугу с держателем пластин и щетку, кинематически связанную с приводным механизмом ее вращения, причем щетка выполнена в виде двух конусо(в, образующие которых расположены в плоскости пластины и кинематически связаны между собой с возможностью вращения в противоположных направлениях (1).

Однако это устройство не обеспечивает гарантированного высокого качества очистки центра пластины, так как две щетки не могут одновременно находиться в одной и той же точке поверхности очищаемой пластины. Процесс очистки центра пластины осуществляется за счет вклинивания вор синок щеток в междурядье друг друга и возможно появление моментов, когда под действием моющей жидкости ворсинки отклоняются и центр пластины оказывается не охваченным процессом очистки.

Цель изобретения — повышение качества очистки центра пластин.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для очистки пластин, содержащем центрифугу с держателем пластин .и выполненную в виде двух конусов щетку, кинематически связанную с приводом вращения так, что конуса щетки вращаются в противоположных направлениях, большие основания конусов выполнены не параллельно меньшим.

На фиг. 1 изображено устройство в разрезе,- общий вид; на фиг. 2 — сечение

А — А на фцг. 1; на фиг. 3 — сечение Б — Б на фиг. 1; фиг 4 — схема очистки пластины.

Устройство содержит центрифугу 1 с вакуумным держателем 2 пластины 3. Щетка 4, кинематически связанная с приводом 5 ее вращения посредством плоскоременной передачи 6, выполнена в виде двух конусов 7, большие основания которых не па " раллельны меньшим. Конусы 7 связаны

20 между собой посредством конических шестерен 8, обеспечивающих их вращение в противоположных направлениях; 9 — большие основания конусов 7, 10 — меньшие основания конусов 7, Устройство работает следующим образом.

Пластину 3 закрепляют на держателе 2 центрифуги 1, а щетку 4 перемещают на рабочую позицию. Конусы 7 устанавливают так, чтобы наиболее удаленные от оси вращения точки 11 и 12 больших оснований 9 конусов 7 были развернуты на 180 отно- сительно друг друга. При повороте щетки на полоборота точки 11 и 12 займут положение 13 и 14.

Таким образом, при вращении конуса 7 щетки 4 будут поочередно перекрывать

782193

4 центр пластины 3, лучшая качество очистки центра пластины.

Формула изобретент "

Устройство для очистки пласт„н по авт. св. № 660203, отличающееся тем, что, с целью повышения качества очистки центра пластин, большие основания конусов выполнены не параллельно меньшим.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе.

1. Авторское свидетельство СССР № 660203, кл. Н 05 К 3/30, 23.08.76 (прототип) .

782193

Редактор Е. Шишкин

Заказ 8170/74

Составитель В. Жеглов

Техред А. Бойкас Корректор С. Щомак

Тираж 885 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4