Устройство для транспортировки легких предметов

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

< 785161

1

/ (61) Дополнительное к а вт. свид-ву— (22) Заявлено 10.04.78 (21) 2605043/27-11 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.

В 65 G 65/00

В 65 Н 29/24

Гасударственный комитет по делам нзобретеннй и открытнй

Опубликовано 07.12.80. Бюллетень № 45

Дата опубликования описания 17.12.80 (53) УДК 687.562..26 (088.8) В. К. Кучеров, В. А. Маковкин, В. И. Селютин и П. Н. Масленников (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВКИ

ЛЕГКИХ ПРЕДМЕТОВ

Изобретение относится к технологическому оборудованию, например, для производства полупроводниковых приборов, а именно к устройствам для автоматической выгрузки изделий (полупроводниковых пластин) со стола станка механической обработки, снабженного вакуумными присосами.

Известно устройство для транспортирования легких предметов, содержащее захватный элемент в виде вакуумной присоски (1). Эта присоска состоит из цилиндрического корпуса с осевым каналом, сообщающимся с вакуумной системой, корпус содержит камеру с радиальным каналом для сообщения с атмосферой, а дросселирующее средство выполнено в виде шарика, имеющего сквозное отверстие.

Недостатком вакуумных захватов (присосок) является наличие системы подвода вакуума и устройства включения — выключения вакуума; недостаточная надежность работы при съеме пластин, в частности, с вакуумных захватов станков механической обработки из-за потенциальной возможности засорения системы подвода вакуума и наличия на поверхности пластины

2 жидкостной пленки, возникающей в процессе механической обработки; возможность механического повреждения полупроводниковых пластин за счет внутренних напряжений, возникающих при вакуумном захвате.

Известно также устройство для транспортировки легких предметов, содержащее премещающийся перегрузчик с захватным элементом, имеющим опорную поверхность, и накопитель со съемником (2) .

to Однако и это устройство не обеспечивает надежной подачи изделий к накопителю, так как при его работе могут случаться поломки этих изделий.

Целью изобретения является повышение надежности устройства в работе за счет исключения возможности механических повреждений хрупких изделий, в частности полупроводниковых пластин, в процессе выгрузки их со стола и транспортировки в нащо копитель.

Цель достигается тем, что опорная поверхность захватного элемента образована двумя разновысокими горизонтальными плоскостями, соединенными вертикальной

785161 перемычкой, при этом разновысокие плоскости имеют форму сегментов.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство в момент контактирования полупроводниковой пластины с рабочей поверхностью захватного элемента; на фиг. 2— то же, при переносе и выгрузке пластины в накопитель.

На вращающемся столе 1, например, плоскошлифовального станка, снабженном вакуумными присосками 2, закреплены с помощью вакуума обрабатываемые полупроводниковые пластины 3. На позиции выгрузки обработанных пластин 3 установлен перегрузчик 4, снабженный приводом его перемещения (не показан) .

Перегрузчик имеет захватный элемент 5, рабочая поверхность которого контактирует с транспортируемым изделием — пластинами 3. Рабочая поверхность захвата образована двумя поверхностями, выполненными в виде двух разновысоких плоскостей А и Б, соединенных вертикальной перемычкой, причем эти плоскости имеют форму сегментов. Захватный элемент 5 размещен над столом 1 таким образом, чтобы расстояние между. более низкой плоскостью Б и пластиной 3, закрепленной вакуумной присоской 2, было минимальным.

Для съема пластин 3 с захватного элемента установлен съемник (съемный стол 6), а пластины собираются в накопителе 7.

В момент выгрузки обработанных пластин 3 со стола 1 (см. фиг. 1) в присоску 2 вместо вакуума подается воздух незначительного избыточного давления. В результате этого пластина 3 отделяется от поверхности стола 1 (всплывает), прижимается к выступающей плоскости Б рабочей поверхности элемента 5, при этом происходит адгезионное сцепление между пластиной 3 и плоскостью В. Это сцепление происходит за счет того, что пластина 3 смочена охлаждающей жидкостью в процессе ее обработки. После этого происходит перемещение перегрузчика 4 (см. фиг. 2) в сторону съемного стола 6. За счет того, что рабочая поверхность захватного элемента выполнена разновысокой, под действием воздуха, подаваемого в присоску 2 и окязывающего давление на пластину 3, в том числе на участок пластины, находящейся на заданном расстоянии от плоскости А, пластина 3 отлипает от плоскости Б и по столу 6 поступает в накопитель 7.

Предложенное устройство по сравнению с известными объектами того же назначения, например, вакуумными присосками или ме10 ханическими захватами, имеет более простую конструкцию, так как исключается необходимость наличия системы подвода вакуума или элементов захвата, отличающихся, как правило, сложностью конструктив13 ного выполнения.

Ввиду того, что полупроводниковые пластины после механической обработки, в частности шлифовки, имеют влажную поверхность, сцепление пластины с захватом всегда будет надежным, причем удержал ние за счет наличия сил сцепления исключает возникновение внутренних напряжений, а следовательно, и механических повреждений транспортируемой пластины.

Формула изобретения

1. Устройство для транспортировки .легких предметов, содержащее перемещающийся перегрузчик с захватным элементом, имеющим опорную рабочую поверхность, и иааф копитель со съемником, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности его в работе, опорная поверхность захватного элемента образована двумя разновысокими горизонтальными плоскостями, соединенными вертикальной перемычкой.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что разновысокие плоскости имеют форму сегментов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 556091, кл. В 65 Н 3/08, 1977.

2. Авторское свидетельство СССР № 149749, кл. В 65 Н 29/24, 1961 (прототип) .

785161

Редактор Г. Бельская

Заказ 8739/18

Составитель А. Гаевский

Техред A. Бойкас Корректор Ю.Макаренко

Тираж 914 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4