Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок
1СЕС()ЮЗНЛя
Союз Советскик
Социалистических
Республик
Д)784790
П И С А Н"И"й
ИЗОБРЕТЕНИЯ ф г
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное н авт. саид-ву (2) 3+ >eH+ 15 . 12 . 78 (21) 2699197/18-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет (51)М, Кл.з
G 01 R 27/02
Государственный комитет
СССР
Ilo делам изобретений н открытий
Опубликовано 071280. Бюллетень ¹ 45
Дата опубликования описания 07. 12. 80 (53) УДК 621 317 .333 (088.8) (72) Авторы изобретения
Л. М. Лыньков, В. М. Паркун, В. В. Бондаренко и A. М. Суходольский (71) Заявитель
Минский радиотехнический институт (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЯ
ПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК
Изобретение относится к электро измерительной технике и может быть использовано при создании устройств для измерения сопротивления проводящих пленок в процессе производства интегральных микросхем.
Известно устройство для измерения сопротивления проводящих пленок содержащее подложкодержатель с диэлектрической подложкой и нанесенными на нее токоведущими электродами, соединенными с измерительной схемой f1), Недостатком данного устройства является низкая адгезия токоведущих электродов к диэлектрической подложке, приводящая к отказу устройства при осаждении на нем пленки испаряемого материала из-за отслаивания токоведущих электродов.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для измерения сопротивления проводящих пленок, содержащее подложкодержатель с диэлектрической подложкойИ и закрепленными на ней через адгезионный подслой металла токоведущими и измерительными электродами, выходы которых соединены со входами блока измерения 12 ). 30
Недостатком этого устройства является невысокая точность измерения из-за изменения толщины осажденной пленки.
Целью изобретения является повышение точности измерений.
Для достижения этой цели устрОйство для измерения сопротивления про водящих пленок, содержащее подложкодержатель с диэлектрической подлож- кой и закрепленными на ней через адгезионный подслой металла токоведущими и измерительными электродами, выходы которых соединены с входами блока измерения, снабжено заслонками и дополнительным слоем диэлектрика, укрепленным на поверхности токоведущих электродов, а заслонки закреплены над поверхностью дополнительного слоя диэлектрика и токоведущими и измерительными электродами.
На чертеже представлена конструктивная схема предлагаемого устройства.
Оно содержит подложкодержатель 1 с диэлектрической подложкой 2, ад.к-езионный:подслой 3, металла, токоведущие 4 и измерительные 5 электроды, блок 6 измерения, дополнительный слой 7 диэлектрика, например из двуоСоставитель A. Изюмов
Редактор Ж. Рожкова Техред T.Ìàòî÷êà Корректор В. Синицкая
Заказ 8835/49 Тираж 1019 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, )K-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, .Ул, Проектная, 4 фИМВФ . а (" 78579 а е4Ъ,ф .et р., киси крев ниф, и м® ломов 8В(металлические)./ ЗЯО
Устройэщво работает следующим образом. йа поверхность диэлектрической подложки 2 дополнительного слоя 7 диэлектрика и металлических заслонок 8 осаждается тонкая пленка металла, например вольфрама, ниобия или.нихрома. Токоведущие электроды
4, защищенные дополнительным слоем диэлектрика через измерительные электроды 5, защищенные от потока испаряемого материала заслонками 8, соединены с бЛоком 6 измерения, например с цифровым омметром, в результате чего осуществляется измерение сопротивления и контроль. толщины осаждаемых металлических пленок.
Исключение из измеряемого сопротивления областей перегибов осаждаемой проводящей пленки позволяет повысить точность измерения их сопротивления в процессе осаждения.
Формула изобретения
Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок, содержащее подложкодержатель с диэлектрической подложкой и закрепленными на ней через адгезионный подслой металла токоведущими и измерительными электродами, выходы которых соединены с входами блока измерения, о тл и ч а ю щ е .е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено заслонками с дополнительным слоем диэлектрика, укрепленным на поверхности токоведущих электродов, а заслонки закреплены над поверхностью дополнительного слоя диэлектрика и токоведущими и измерительными электродами. Источники информации принятые во внимание при экспертизе
1. Данилин Б. С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем.
М., "Энергия", 1972>с. 117-178.
2. Авторское свидетельство СССР
Р 386350, кл. G 01 R 27/00, 10.07.70 (прототип).
