Преобразователь давления
О П И С А Н И Е,787920
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскнх
Социалистических
Республик (6l ) Дополнительное к авт. свил-ву (22) 3 а я алено 02.11.77 (21) 2541141/18 — 10 с присоединением заявки J% (23) Приоритет (51 ) М. Кл.
G 01 1 9/06
Гасударстовниый комитет
СССР
ll0 долам изобретений и открытий
Опубликовано 15.12.80. Бюллетень № 46
Дата опубликования описания 15.12.80 (53) УД К531.787 (088.8) (72) Авторы изобРетениЯ М,И. Лунев, В. Н. Коковина и В. А. Жуков
Опытное конструкторско-технологическое бюро "Кристалл" с опытным производством Ленинградского технологического института им. Ленсовета (71) Заявитель
1 (54) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ
Изобретение относится к контрольно-измерительной, технике, а именно к устройствам измерения давления.
Известно устройство, содержащее мембрану,. заделанную в корпусе с нанесенными на ней тенэореэисторами (1) .
Недостатком устройства является необходимость создания автоматического регулятора температуры.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемому является, устройство, содержащее основание и соедине;иую с ним полупроводниковую пластину, с выполненными в ней мембранами, с размещенными на них тенэорезисторами измерительного и - деформированного компенсационного преобразователя (21.
Недостатком указанного решения является недостаточная точность из-за нестабильности деформации компенсационного преобразователя.
Цель изобретения — повышение точности измерения.
Указанная цель достигается тем, что полость, образованная основанием и профилем мембраны компенсационного преобразователя, заполнена материалом, коэффициент температурного расширения которого равен коэффициенту температурного расширения материала пластины.
На фиг, 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 — измерительная схема.
Преобразователь давления содержит полупроводникову;о пластину 1, на котор:й методами планарной технологии сформированы мембрана 2 измерительного и мембрана 3 компенсационного преобразователей давления.
Мембрана 2 жестко соединена при помощи casзующего ьещества 11 с основанием 4, образуя, таким образом, вакуумную ячейку 5 измерительного преобразователя. Полость в полупроводниковой пластине 1 с мембраной .компенсационного преобразователя заполнена связующим веществом 11, образуя ячейку 6 компенсационного преобразователя. На мембране 2 измерительного преобразователя размещен измерительный преобразователь 7 деформации в электрический сигнал, а на мембране 3 компенсационного преобразователя давления размещен
787920 4 поступают на вход схемы 10 обработки, rgi
9 из сигнала с измерительного преобразователя 7 исключается температурная составляющая. ПредПредлагаемое изобретение обеспечивает точность измерения, расширяет рабочий температурный диапазон прибора, высокую технологичность изготовления преобразователя, 7 2
Фие. /
Составитель В. Козлов
Техред Ж. Кастелевич.
Корректор Г. Назарова
Редактор М. Келемеш
Тираж 1019
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Подписное
Заказ 8338/47
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
3 компенсационный преобразователь 8 деформации в электрический сигнал. Выход источника питания соединен со входами измерительного и компенсационного преобразователей деформа ции в электрический сигнал, выходы которых, в свою очередь, соединены со входом схемы
10 обработки.
Устройство работает следующим образом.
Напряжение с выхода источника 9 питания подается на вход измерительного 7 и компен сационного 8 преобразователей деформации в электрический сигнал. При воздействии на мембрану 2 измеряемого давления на выходе измерительного преобразователя 7 деформации в электрический сигнал появляется сигнал, зависящий от величины измеряемого давления и температуры преобразователя 7. Сигнал с компенсационного преобразователя 8. деформации в,электрический сигнал зависит только от его температуры и не. зависит от величины измеряемого давления, так как мембрана 3 компенсационного преобразователя деформирована во время формирования ячейки 6 компенсационного преобразователя и жестко зафиксирована, например, связующим веществом 11. Так как измерительный и компенсационный преобразо ватель деформации расположены на одной пластине 1, то температура их близка друг другу.
Сигналы с выхода измерительного 7 и компенсационного 8 преобразователей деформации
10 Формула изобретения
Преобразователь давления, содержащий основание и соединенную с ним профилированную полупров1ц никовую пластину с выполненными в ней мембранами с размещенными на них тензорезисторами измерительного и деформированного компенсационного преобразователей, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, полость, образованная основанием и профилем мембраны компенсационного преобразователя, заполнена материалом, коэффициент температурного расширения которого равен коэффициенту температурного расширения материала пластины.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Патент ГДР N,.110343, кл, 42 К7/05, 1975.
2. Авторское свидетельство СССР по заявке
Р 2497514/18 — 10, кл, G 01 L 9/06, 17.06.77.
