Способ получения изображения в электронно-оптической системе

 

Союз Советских

Соцналистнческнх

Республик (и>79ОО35 (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 14. 07. 78 (21) 2687872/18-25 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 231280, Бюллетень № 47

Дата опубликования описания 231280 (51 М „з

Н 01 J 29/48

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (З) УД (621. .385.(088.8) (72) Авторы изобретения

Н. Г. Румянцев и A. A. Зайцев (71) Заявитель (54 ) СПОСОЬ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ

В ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОИ СИСТЕМЕ зами 2).

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в электронно-оптических системах (ЭОС), формирующих пучки, поперечное сечение которых в плоскости экрана является некруглым. Эти

ОЭС предназначены, как правило, для ЭЛП с однострочной разверткой при высокой разрешающей способности вдоль строки.

Известен способ фокусировки пучка во взаимно перпендикулярных направлениях при помощи двух последовательно расположенных цилиндрических линз, выполненных в виде пар параллельно расположенных пластин. Торцы пластин затянуты мелкоструктурной сеткой для разделения фокусиру-.

° ° их полей в каждом из направлений 1 .

Однако применение данного способа фокусировки пучков не обеспечивает высокой удельной разрешающей способности вдоль строки нэ-за расфокусировки пучка в ячейках сеток, а также вследствие значительных аберраций во второй электростатической линзе.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ получения изображения в электронно-оптической системе, содержащей две цилиндрические линзы, заключающийся в том, что пучок электронов фокусируют в цервой линзе в одном направлении, затем фокусируют пучок в другом направлении во второй линзе, являющейся одинарной магнитной ,линзой, и создают на экране изображение точечного источника. Фокусировка пучка второй магнитной цилиндрической линзой позволяет повыси -.." : разрешающую способность по сравнению с фокусировкой чисто электро-.

15 статическими цилиндрическими лин

Однако при этом не полностью реализуются возможности магнитной

2О цилиндрической линзы.

Например, если плоскость симметрии пучка, сфокусированного первой электростатической цилиндрической линзой ортогональна плос2S кости симметрии магнитной линзы, то из-за поворота изображения пучок на экране фокусируется не оптимально, а в направлении, соответствующем фокусирующему лейст Ц вию магнитной линзы. При услзвик

790035 гауссовой фокусировки обеими линзами точечного источника, изображение

vro в этом случае имеет вид штриха.

Это уменьшает общую разрешающую способность, а также приводит к уменьшению плотности тока н пятне, пос-. кольку площадь пятна оказывается большей, чем в том случае, когда точечный источник отображается фокусирующей системой в точку.

Цель изобретения — повышение разрушающей способности.

Указанная цель достигается тем, что сфокусированный первой линзой пучок поворачивают против вращения изображения, создаваемого второй линзрй, на угол, прямо пропорциональный расстоянию от точечного источника до второй линзы.

На фиг. 1 представлена схема ЭОС, продольное сечение, на фиг. 2 — то же, поперечное сечение.

ЭОС содержит катод 1, модулятор

2, ускоряющий электрод 3, электрически соединенный с парой параллельных пластин 4, которые образуют первую цилиндрическую электроакустическую линзу 5 совместно с пластинами

6. BtopoA цилиндрической линзой янляется электромагнитная катушка 7.

Плоскость симметрии электростатической линзы 5, являющаяся н частном случае и плоскостью, относительно которой фокусируют пучок 8 электронов на выходе первой линзы, повернута относительно вертикали плоскости симметрии магнитной линзы 7 на угол

Способ фокусировки осуществляется следующим образом.

В иммерсионном объективе, образованном катодом, модулятором и ускоряющим электродом формируется аксиально-симметричный расходящийся пучок

8 электронов. Далее этот пучок попадает в область действия электростатической линзы 5 и фокусируется этой линзой на экране в штрих, который повернут на угол ф от вертикали к плоскости симметрии магнитной линзы.

Затем пучок попадает в одинарную магнитную линзу, которая осуществляет окончательную фокусировку пучка на экране.

При наличии укаэанного угла раз— ворота магнитной линзы по ходу вращения изображения в ней, пучок на экране фокусируется в виде эллипса с осями, пропорци .нальными коэффициентам линеиного увеличения соответствующих линз. Тожчный же источник электронов в этом случае отображается на экране в точку.

Угол разворота отсчитывается от вертикали к продольной плоскости симметрии магнитной линзы против вращения изображения в этои линзе. Вращение изображения, обусловленное магнитной линзой, происходит по часовой стрелке на угол $ (фиг. 2).

В качестве первой цилиндрической линзы используется электростатическая линза либо магнитная н виде постоянного магнита, либо магнитная и виде многосекционной катушки со встречно включенными секциями. В этом случае плоскость, относительно которой фокусируется пучок, и плоскости симметрии линз совпадают, $5 т. е. линзы развернуты одна относительно другой от угла в 90О строго на величину угла разворота Ф

Если же первая цилиндрическая линза выполнена в виде одинарной элек«щ тромагнитной катушки, то необходимо учитывать поворот изображения, который имеет место в первой линзе.

Технико-экономический эффект изобретения заключается в повышении разрушающей способности электроннолучевых приборон. При этом уменьшается мощность, необходимая для создания требуемой напряженности фокусирующего поля по сравнению с известными способами, где необходимо ис30 пользование, по крайней мере, двойной фокусирующей катушки со встречным включением токов в секциях.

Формула изобретения

Способ получения изображения в электронно-оптической системе, содержащей две цилиндрические линзы, заключающийся в том, что пучок электронов фокусируют в первой линзе н одном направлении, затем фокусируют пучок в другом напранлении во второй линзе, являющейся одинарной магнитной линзой, и создают на экране иэображение точечного источника, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности, сфокусированный первой линзой пучок поворачивают против вращения иэображения, создаваемого второй линзой, на угол, прямо пропорциональный расстоянию от точечного источника до второй линзы..

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.. Lubs zynr y Н. G. Неи а 62electrostatic v id iron", Proc.7 ЕЕ, ч. 116, 9 3, р. 339, 1969.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке 9 2549557/18-25, кл. Н 01 J 29/48, 05.12.77 (прототип).

Фиг. 1

Составитель В. Гавркшин

Редактор Л. Кеви Техред Е.Гаврилешко Корректор О. Ковинская

Заказ 904б/52 Тираж 844 Подписное

BHHHfIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.. 475

Филиал tlIIII "Патент ". г. Ужгород, ул. Проектная, 4