Стол вакуумный

 

P2) Авторы иэобретеиия

В. И. Ситников и А.М. Копытин

P3) Заявитель (54) СТОЛ ВАКУУМНЫЙ

Изобретение относится к станкостроению.

Известен стол вакуумный, выполнен- . ный в виде плиты с присосами,. соединенными с .вакуумной магистралью иуплотни-э тельным кольцом, размещенным в пазу рабочей поверхности плиты .(11 .

Недостатком этого устройства является низкое качество обработки вследствие изгиба обрабатываемой пластины 1О по периметру.

Цель изобретения — повышение качества обработки.

Укаэанная цель достигается тем, что уплотнительное кольцо выполнено из 15 .пористого материала и между его наружным диаметром и стенкой паза имеется зазор, в котором под давлением циркулирует жидкость.

На чертеже изображен вакуумный 20 стол.

Стол выполнен в виде плиты 1 с присосами 2, расположенными по концентрическим окружностям, и с кольцевой канавкой 3, соединенной соответствен-". 25 но с источником подачи воды и ее сливом, причем внешний диаметр. канавки

3 на 1-2 мм меньше диаметра обрабатываемой детали 4. В канавке 3 размещено ,кольцо 5, выполненное из пористого 30 материала, например микропористой керамики, внешний периметр которого образует зазор с внешним периметром канавки 3.

Вакуумный стол работает следующим образом.

Обрабатываемая деталь 4 укладывается на присос стола, после чего каналы подключаются к вакуумной магистрали, а в канавку 3 производится подача воды под давлением. После полного заполнения канавки 3 водой плита 1 поМе- щается в зону обработки станка.

При использовании вакуумного стола, например, на станке химико-механической полировки подупроводниковых пластин в зону обработки подается суспензия, представляющая собой смесь химически активных жидкостей с абразивным порошком.

Наличие расположенного на стальной плите 1 уплотнительного элемента значительно ограничивает область распространения микрочастей между базовой поверхностью детали 4 и плитой 1.

Указанная область распространения микротечей; в данном случае составляет не более 1-2 мм, что практически определяется величиной перекрытия 795866

Формула изобретения

Составитель Е. Щеславская

Редактор С. Тараненко Техред A,À÷ Корректор С. Ыекмар

Ъ

Заказ 9558/18 Тираж 779 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул. Проектная, 4

1,У и Ф б

C б диаметром детали 4 (полупроводниковой пластины) внешнего диаметра канавки 3

Предложенное конструктивное выполнение вакуумного стола позволяет исключить проникновение обрабатывающего материала, в частности полировальной суспензии, в укаэанные микротечи. Это обусловлено тем, что благодаря подаче воды под давлением в канавке 3 и пористом кольце 5 соз цается избыточное давление, препят ствующее этому йроникновению. В случае же попадания суспензии в микротечи, что практически не исключено, последняя вымывается в канавку 3, а затем через канал,6 удаляется в зону слива. .Величина зазора (0,3-0,4 мм}. между внешними периметрами пористого кольца

5 и канавки 3 определяется тем, что при закреплении тонких деталей в зоне контакта базовой поверхности детали с канавкой не должны возникать искрив ления обрабатываемой поверхности, т.е нарушения геометрии пластины,обуславливающие впоследствии возникновение дислокаций, что снижает процент выхо да годных иэделий.

Кроме того, в зазоре указанной величины образуется циркулирующий под давлением поток воды, достаточный для вымывания обрабатывающего материала, в том числе абразивных частиц, проникающих в отдельных случаях в микро.течи между базовой поверхностью детали и плиты. Размещение .в канавке пористого кольца полностью препятствует дальнейшему проникновению суспензии, что обусловлено возникновением нулевого давления на границе между внешним периметром кольца и внутренним периметром зазора, так как избыточное давление, создаваемое водой в канавке, по величине равно избыточному давлению, создаваемому .в пористом кольце.

Стол вакуумный, выполненный в виде 5 плиты с присосами, соединенными с вакуумной магистралью и .Уплотнительным кольцом, размещенным в пазу рабочей поверхности плиты, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повыше20 ния качества обработки, уплотнительное кольцо выполнено из пористого материала и между его наружной поверхностью и стенкой паза имеется зазор, в котором под давлением циркулирует жидкость

Источники информации, .принятые во внимание при экспертизе

1. Белоусов A.Ï. Проектирование. приспособлений, "Машиностроение", 1964, с.75.