Стекло для защиты кремниевыхпластин

 

Союз Советских

Социалистических республик

0ll АНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ 796196

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6! ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.03.79 (2 I ) 2742044/29-33 с присоединением заявки РЙ (23) Приоритет

Опубликовано 15.01.81. Бюллетень М 2

Дата опубликования описания 15.01,81 (5E)M. Кд;

С 03 С 3/10

Гееудеретееииый кемитет

СССР ао делам изебретеиий и открытий (53) УДК 666.112. .7:666.117.4 (088.8) Н. М. Павлушкин, P. Я. Ходаковская, В. Ф. Маркачева, О. И. Бротиковский и С. М. Чернцов (72) Авторы изобретения

1 (7l) Заявитель

Московский ордена Ленина н ордена Трудового Красного

Знамени химико-технологический институт им. Д. И. Менделеева (54) СТЕКЛО ДЛЯ ЗАЩИТЫ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН

Таблица 1

Составы, масс.%

Окислы

SiOg

ВзОз

42,0 32,0 31,5

6,5 0,0 5,8

30,9

8,3

35,8

5,8

30,0

2,0

Изобретение относится к составам стекол для производства защитного покрытия полупроводниковых устройств.

Известно стекло (1 l используемое в качестве покрытия полупроводниковых устройств, включающее PbO, B<0, .2пО, SiO, А1 0 в сле5 дующих количествах, мол.%: Pb0 50 — 66; В Оа

4,5 — 22; ZnO 6 — 15,5; $10 3 — 21; А! 0 6 — 155.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемому

10 изобретению является стекло 121 используемое в качестве покрытия по кремнию, следующего состава, вес.%: PbO 65 — 90; ZnO 0 — 15; ВВОЗ

5 — 30; SiO 0 — 20; Аl 0 0 — 15. Известное стекло имеет ТКЛР в пределах, (42—

55) 10 град и используется для покрытия !

5 кремния при температурах ниже 600 С.

К недостаткам йзвестных стекол относятся высокие значения коэффициента линейного термического расширения (КЛТР) и малый температурный интервал использования защитного покрытия.

Цель изобретения — снижение КЛТР стекла.

Предлагаемая цель достигается тем, что стекло, включающее SiO>, В О, Al 03, РЬО, ZnO, содержит указанные компоненты в следующем соотношении, масс.%:

Si0з 30 — 42

В2 О.з 2 — 10

А1з,0 з 4 —. 15

PbO 35 — 45

ZnO 8 — 15

Конкретные составы стекол приведены в табл.1.

796196

П одолжение табл. 1

Составы, масс. о

Окислы

А1зОз

15,0

8,9

6,5

4,0

7,5 11,5

40,0 36,2

10,5 15,0

РЬО

45,0

42,0

39,5

35,0

12,4

Zn0

8,0

9,9

12,5

Таблица 2

КАТР, сг 10, рад

Состав стекла, номер

39,9

35,1

35,9

38,8

44,6

32,2

Состюитель М. Шойтов

Техред Н. Граб Корректор Н. Бабинец

Редактор Е. Кинив

Заказ 9699/34 Тираж 529 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений. и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Эти составы варятся при температуре 1500 С в печах любой конструкции в условиях окислительной среды. В табл. 2 приведены свойства стекол.

Предлагаемый состав стекла для защитного, покрытия поверхности кремниевых полупроводников имеет низкие значения КЛТР и может использоваться в широком температурном интервале (до 850 С) . Использование полученных стекол для пассивации выводов р-и переходов кремниевых полупроводников позволяет заменить дорогостоящий корпус из цветного металла на.более дешевый.

Формула изобретения

Стекло. для защиты кремниевых пластин, включающее $iОз, 8з03, А1зО., PbO, ZnO, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью снижения коэффициента линейного термического расширения, оно содержит указанные компоненты в следующем соотношении, масс.%;

Si 0 30 — 42

ВзОз 2 — 10

A1„O 4 — 15

PbO 35 — 45 пО 8 — 15

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США Р 3551355, кл. 252-514, 1970, 33

2. Патент Франции N 2329602, кл. С 03 С 3/12, 1978.