Устройство для химического трав-ления изделий по заданному рисунку

 

Союз СоветскихСоциалистических

Республик ()809435

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное и авт. свид-ву (22) Заявлено 040778 (21) 2640743/18-21 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 280281.Бюллетень № 8

Дата опубликования описания 280281

Р )М. Кл.

Н 01 4 21/70

С 25 D 17/06

Государствеииый комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.3.049, .75(088.8) (72) Авторы изобретения

И.В. Берг, Б.М. Большаков и M.C.. Лурье (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

ИЗДЕЛИЙ ПО ЗАДАННОМУ РИСУНКУ

Изобретение относится к приборостроению и электронной технике, в частности к оборудованию,для изготовления микросхем.

Иэнестно устройство для химичес кого травления изделий, преимущественно заготовок микросхем по задан- ному рисунку, содержащее корпус с держателем микросхемы, в котором выполнены каналы для подачи и вывода травильного раствора (1), Однако известное устройство имеет недостаток, заключающийся в том, что рисунок подвергаемых обработке изделий вытравливается недостаточно точно и воспроизводимо.

Цель изобретения — повышение точности и воспроизводимости рисунка, по кторому вытравливается обрабатываемое изделие.

Указанная цель достигается теме что устройство для химического травления, преимущественно заготовок микросхем по заданному рисунку, содержащее корпус с держателем микросхемы, в котором выполнены каналы для подачи н вывода травильного раствора, снабжено смотровым окном и кольцевыми проточками, сообщающимися с каналами и расположенными одна над другой аксиально-симметрично относительно центральной оси корпуса, причем смотровое окно корпуса снабжено прозрачной пластиной, внутренняя поверхность которой размещена в травильном растворе над изделием.

На чертеже изображено устройство для химического травления изделий по заданному рисунку, общий нид в разрезе.

Устройство для химического травления изделий по заданному рисунку содержит разъемный корпус 1, внутри которого размещен держатель 2 микросхемы, н котором выполнены каналы

6 и 7 для подачи и вывода травильного раствора.

В корпусе 1 выполнены кольцевые проточки 3 и 4, расположенные одна

20 над другой аксиально-симметрично относительно центральной оси корпуса, смотровое окно 5 с прозрачной пластиной, внутренняя поверхность которой размещена над держателем 2 микросхемы.

Устройство работает следующим образом.

Для проведения химического трав. ления изделие устананлинается в

30 держатель 2 корпуса 1.

809435

Формула изобретения

ВНИИПИ Заказ 444/71 Тираж 795 Подписное

Филиал ППП "Патент",г.ужгород,ул.Проектная, 4

В корпус 1 подается травильный раствор через кольцевую проточку 3, а через кольцевую проточку 4 травильный раствор выводится из корпуса 1, Такая конструкция расположения проточек 3 и 4 обеспечивает направленный и воспроизводимый поток травителя относительно обрабатываемого иэделия, Процесс травления производится при неперывном контроле через смотровое окно 5 и может быть прекращен на любом этапе травления подачей вместо травильного раствора через кольцевые. проточки 3 и 4 воды для предварительной промывки-изделия. 15

Наличие в.корпусе 1 кольцевых проточек 3 и 4 указанной конструкции позволяет исключить случайный характер вихревых потоков травильного раствора. Это облегчает возможность 7О математического моделирования условий проведения процесса травления и создания потока травильного раствора с воспроизводимыми заданными характеристиками, что уменьшает неоднородность травления в пределах площади одного обрабатываемого изделия.

Наличие заглубленного в корпус смотрового окна исключает оптически неоднородную свободную поверхность агрессивного травильного раствора, что позволяет для контроля процесса травления использовать вне корпуса 1 любые инструментальные средства контроля и управления, например-микроскоп с оптоэлектриче<-.— кими преобразователями для передачи увеличенного изображения на экран телевизионного устройства и автоматического управления подачей травильного раствора в кольцевые проточки 3 и 4 корпуса 1.

Предлагаемая конструкция обеспечивает уменьшение разброса растрава рисунка приблизительно в 2 раза по сравнению с известным устройством.

Устройство для химического травления, преимущественно заготовок микросхемы по заданному рисунку,содержащее корпус с держателем микросхемы, в котором выполнены каналы для подачи и вывода травильного раствора, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и воспроизводимости рисунка, в корпусе выполнено смотровое окно и кольцевые проточки, сообщающиеся с каналами и расположенные одна над другой аксиально-симметрично относительно центральной оси корпуса, причем смотровое окно корпуса снабжено прозрачной пластиной, внутренняя поверхность которой размещена в травильном растворе над изделием.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 392152, кл. С 25 D 17/00, (прототип) .