Кассета

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<1809436 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 2604.79 (21) 2758094/18-21 с присоединением заявки Мо (23) Приоритет

Опубликовано 28.02.81. Бюллетень Н9 8

Дата опубликования описания 280281 (51)М Кл 3

Н 01 (, 21/70

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621. 382 (088.8) Н.M.Мытарев, В.С.Корзинкин, В.Л.Воробьев (72) Авторы изобретения

B. Ж, Жуфавов":, „(71) Заявитель (54 ) KACCETA

Изобретение относится к кассетам, % применяемым, например, в микроэлектронном производстве для термообработки полупроводниковых пластин в высокочастотной плазме.

Известна кассета для размещения пластин при проведении диффузии легирующей примеси в пластины кремния при высокой температуре, содержащая два основания, между которыми размещаются обрабатываемые пластины, прижим .и ограничители пластин (11 .

Недостатком кассеты является отсутствие свободного доступа реагента к обрабатываемым поверхностям пластин и получения фасок по их периметру, необходимых для дальнейшей обработки их методом шлифовки, полировки и доводки пластин при подготовке к операции фотолитографии.

Цель изобретения — повышение выхода годных.

Поставленная цель достигается тем, что кассета, преимущественно для обработки полупроводниковых пластин в высокочастотной плазме, содержащая прижим и два основания, между которыми расположены ограничители для пластин, снабжена выполнен-, ными по форме полупроводниковых

2 пластин экранами, на торцах которйх4. выполнены фаски, а ограничители для пластин установлены с возможностью поворота и фиксации.

На фиг. 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 — сечение A-A на фиг. 1, момент загрузки пластин, на фиг. 3 — то же, момент центрирования пластин и экранов после их загрузки, на фиг. 4 - то же, положение пластин, экранов и ограничителей после подготовки устройства к работе.

Устройство состоит из верхнего

1 и нижнего 2 оснований, стяжек 3, 15 ограничителей 4 для пластин 8, прижима 5„ фиксаторов 6 и экранов 7.

Установка пластин н кассету происходит следующим образом.

Прижим 5 отводят вверх до упора

20 в верхнее основание 1, ограничители

-4 пластин поворачивают, устанавливают в положение (фиг.2) и фиксируют фиксаторами 6. Затем поочередно устанавливают до упора в ограничители

25 4 пластин экраны 7 и пластины 8, после чего их центрируют ограничи телями (фиг. 3) и зажимайт прижимом 5.

После прижатия пластин ограничители 4 отводят в положение (фиг.4)

30 .и фиксируют фиксаторами 6.

8094 36

Предлагаемое устройство обеспечивает центровку пластин и экранов, а также за счет свободного доступа реагента к: обрабатываемым поверхностям пластин, обусловленного наличием фасок и отводом от торцов пластин им ограничителей, позволяет получать на обрабатываемых пластинах фаски размером 0,7 20", наличие которых увеличивает процент годных при дальнейших операциях шлифовки, полировки и доводки полупроводниковых пластин и повышает качество их поверхностей перед операциями фотолитографии.

Формула изобретения

Кассета, преимущественно для обработки полупроводниковых пластин в высокочастотной плазме, содерж щая прижим и два основания, между которыми расположены ограничители для пластин, о т л и ч а ю ц а я с я тем, что, с целью повышения выхода годных, она снабжена выполненными по форме полупроводниковых пластин экранами, на торцах которых выполнены фаски., а ограничители. для пластин установлены с возможностью поворота и фиксации.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент CQlA Р 3956036, кл. 148-188, опублик. 11.05.76 (прототип).

8094 36

4-4

4-А

Pvc. Я

A-A

ô3èc. 3

Puc. V Составитель Л.Гришкова

Техред Ж. Кастелевич Корректор М. Коста

Редактор Т. Мермелштайн

Заказ 445/72 Тираж 79 5 . Подпкс ное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 т

Филиал ППП "Патент", r. ужгород, ул. Проектная, 4