Способ изготовления отражающихкопий дифракционных решеток

 

ОП ИГРАНИ Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ пщ 8192

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свпд-ву (22) Заявлено 13.04.79 (21) 2757350/29-33 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 07.03.81. Бюллетень № 9 (45) Дата опубликования описания 07.03.81 (51) М. Кл.з

G 02В 5/18

С ОЗС 17/22

Государствейный комитет (53) УДК 666.1.056 (088.8) ло делам изобретений и открытий

I. (72) Авторы

I изобретения С. А. Стрежнев, В. П. Петров, Я. К. Лукашевич и Л. Функ (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОТРАЖАЮЩИХ КОПИИ

ДЙФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК

Изобретение относится к технологии изготовления оптических элементов, в частности, отражающих копий дифракционных решеток для ультрафиолетовой области спектра и может быть широко использовано в 5 оптико-механической промышленности.

Известен способ изготовления копий дифракционных решеток путем нанесения на решетку-матрицу слоя алюминия с подслоем хрома (или титана) — защитного слоя, 10 обработки покрытия гидрофобизирующпм раствором (парами диметилдихлорсилана), нанесения слоя полимеризационноспособного материала (смолы), совмещения поверхности решетки-матрицы с подложкой копии 15 из стекла, отверждения материала и отделения изготовленной копии от решетки-матрицы (1), Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобрете- 20 нию является способ изготовления копий дифракционных решеток путем нанесения на решетку-матрицу в вакууме разделительного и защитного слоев (=/мм) приклеивания подложки из стекла, отделения копии 25 от решетки-матрицы по разделительному слою, удаления разделительного слоя, а также последующего нанесения на защитный слой отражающего покрытия, например, алюминия и фтористого магния, вольфрама, золота, платины и т. д. (2).

К недостаткам этих способов относятся низкий коэффициент отражения копий дифракционных решеток в ультрафиолетовой области спектра, что связано с изменением профиля штрихов в процессе нанесения на готовую копию отражающего покрытия, а также возможность загрязнения поверхности копии при пх изготовлении.

Цель изобретения — повышение коэффициента отражения копий решеток в ультрафиолетовой области спектра.

Зто достигается тем, что в известном способе изготовления отражающих копий дифракционных решеток путем нанесения в вакууме на решетку-матрицу разделительного и защитного слоев, приклеивания стеклянной подложки, отделения копии, удаления разделительного слоя и нанесения в вакууме отражающего покрытия, отражающее покрытие наносят на разделительный слой перед нанесением защитного слоя.

Отражающие копии дпфракцпонных решеток по предложенному способу изготавливаются в следующей последовательности.

На дпфракционную решетку-матрицу, поверхность которой защищена любым из известных способов, наносят в вакууме разде811192

Формула изобретения

Составитель М. Шойтов

Техред А. Камышникова

Корректоры: О. Силуянова и О. Тюрина

Редактор И. Квачадзе

Заказ 519/17 Изд. Хв 246 Тираж 553 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 лительный слой, например маннит, высокоотражающее покрытие, например вольфрам для копий, работающих в области спектра короче 110 нм, фтористый магний — для области более 110 нм, покрытие, например 5 слой алюминия, приклеивают подложкукопии, отделяют изготовленную копию от решетки-матрицы по разделительному слою, а затем удаляют разделительный слой с копии решетки. 10

Ниже приведен конкретный пример выполнения описываемого способа.

Проводили изготовление отражающих копий дифракционных решеток для ультрафиолетовой области спектра. На дифракцион- 15 ную решетку-матрицу 1800 штр/мм, изготовленную на слое алюминия и защищенную одним из известных способов в вакууме, последовательно наносили разделительный слой — маннит, высокоотражающее по- 20 крытие — фтористый магний, защитное покрытие — слой алюминия толщиной порядка 1 мкм. Затем приклеивают подложку копии из стекла, отделяют изготовленную копию от решетки-матрицы и удаляют разде- 25 лительный слой с копии решетки.

Нанесение высокоотра>кающего покрытия в вакууме на разделительньш слой перед нанесением защитного покрытия обеспечивает выполнение профиля штрихов копий решеток, полностью соответствующих профилю штрихов решеток-матриц. При этом коэффициент отражения копий решеток в ультрафиолетовой области спектра увеличивается.

Способ изготовления отражающих копий дифракционных решеток путем нанесения в вакууме на решетку-матрицу разделительного и защитного слоев, приклеивания стеклянной подложки отделения копии, удаления разделительного слоя и нанесения в вакууме отражающего покрытия, отличаюшийся тем, что, с целью повышения коэффициента отражения копий решеток в ультрафиолетовой области спектра, отражающее покрытие наносят на разделительный слой перед нанесением защитного слоя.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

¹ 404036, кл. G 02В 5/18, 1970.

2. Патент СШЛ М 2464738, кл. 264 — 1;

1963.