Способ изготовления фольговыхтензорезисторов ha металлическойоснове

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБР Й

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социэпистич9ских

Республик

815479 (61) Дополнительное к авт, свид-ву (51)М. Кл.

G 01 в 7/18 (22) Заявлено 16. 03. 79 (21)2736816/25-28 с присоединением заявки ¹

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет (53) УДК681,2,083 (088.8) Опубликовано 23.03.81. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания 23. 03. 81 (72) Авторы изобретения

Ю. М. Базжин, А. А. Цывин, С. С. Зверев,, В.

В. 3. Петрова и А. А. Плеханов

Научно-исследовательский и конструкторский .и испытательных машин, приборов и средств изме и Московский институт электронной техники (71) Заявители (54 ) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЬЖ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ

НА МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ОСНОВЕ

Изобретение относится к измере— ниям, а именно к технике изготовления тензорезисторов.

Известен способ изготовления тензорезисторов на металлической основе, заключающийся в подготовке поверхности основы, нанесении на нее подслоя жаростойкого материала, механическом закреплении материала решетки тенэорезистора на подслое, н анесений н а н аружную поверхность решетки жаростойкого цемента (1) .

Недостатком известного способа является то, что практически невоз— можно получить подслой жаростойкого материала с равномерной контролируемой толщиной. Это снижает метрологические характеристики тензорезисторов из-эа разброса свойств партии датчиков.

Кроме того, способ трудоемок и требует применения специального оборудования.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ изготовления тенэорезисторов на металлической основе, заключающийся в том, что на тензорезистивную фольгу наносят фотоэмульсию, репродуцируют и травят ее (2).

Недостатком известного способа является его трудоемкость и метрологическая нестабильность свойств жаростойкого слоя при высоких температурах.

Цель изобретения — повьааение метрологических характеристик тенэорезисторов при высоких температурах и упрощение технологии изготовления. указанная цель достигается тем, что на металлическую основу наносят

15 калиброванный по толщине слой стекла, укладывают на него тензореэистивную фольгу, соединяют их путем обработки под давлением при температуре плавления стекла и, после репроду20 цирования и травления, покрывают наружную поверхность тенэорезисторов слоем стекла.

Сущность способа заключается в том, что на одну из сторон металли25 ческой основы, например иэ сплава

Х18Н9Т толщиной 50-150 мкм наносят электрофоретическим или другим спо=обом слой стекла толщиной 10-15 мкм и размером зерна 0,5-1,0 мкм, укладыЗ0 вают на слой стекла тенэореэистивную

815479

Составитель В. Пискарев

Редактор О. Малец Техред A. Бабинец Корректор Л. Иван

Заказ 1011/66 Тираж 642 Под пи си ое

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 фольгу из сплава типа Х20Н75Ю толщиной 5-10 мкм и соединяют их между собой путем обработки под давлением при температуре плавления стекла.

Далее на наружную поверхность тензорезистивной фольги наносят фотоэмульсию, репродуцируют и травят поверхность. фольги. После удаления фоторезиста. наружная поверхность чувствительных элементов тензорезисторов покрывается калиброванным слоем стекла толщиной 10-15 мкм, температура плавления которого на 30-50 С ниже температуры плавления стекла, нанесенного на металлическую основу.

Предлагаемый способ может найти применение при изготовлении фольговых тензорезисторов на металлической основе co" стабильными метрологическими характеристиками. Использование

"различных химических составов стекол, наносимых; на -металлическую основу и наружную..:поверхность тензорезисторов, позволйт;использовать их в нужном температурном диапазоне и требуемых физико-хймических условиях.

Формула изобретения

Способ изготовления фольговых тензорезисторов на металлической основе, заключающийся в том, что на тензорезистивную Фольгу наносят фотоэмульсию, репродуцируют и травят ее, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения метрологических характеристик тензорезисторов при высоких температурах и упрощения технологии изготовления., на металлическую основу наносят калиброванный по толщине слой стекла, укладывают на него тензорезистивную фольгу, соединяют их путем обработки под давлением при температуре плавления стекла и, после . репродуцирования и травления, покрывают наружную поверхность тензорезисторов слоем стекла.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Ильинская Л. С. и др. Высокотемпературные тензорезисторы на основе жаростойких окислов. М., "Энергия", 1973.

2. Авторское свидетельство СССР

9 200859, кл. G 01 В 7/18, 1966 (прототип).