Способ определения толщиныпокрытия

 

Союз Советскик

Социалистическмк

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ (u>815485

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 25. 06. 79 (21) 2783516/25-28 с присоединением заявки Но (23) Приоритет—

Опубликовано 230381 Бюллетень Но 11

Дата опубликования описания 23. 03. 81 (51)М. Кл

6 01 В 11/06

Государственный комитет

СССР ио делам изобретений и открытий (53) УДК 531. 717.11 (088 ° 8) (72) Авторы

В. A. Агеев, A. Т. Градюшко, С. Г. Комиссаров, (54) СПОСОВ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к технике измерения и контроля толщин покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной и машиностроительной промышленности.

Известен способ определения толщины покрытия, заключакщийся в том, что лазерное излучение с определенной длительностью импульса и с заданной мощностью фокусируют на поверхность исследуемого покрытия, определяют пороговую плотность потока энергии, приводящую к разрушению покрытия и определяют толщину по- 15. крытия (11.

Недостаток способа — низкая точность определения толщины покрытия, обусловленная погрешностями фокусировки лазерного излучения на по- 20 верхность исследуемого покрытия.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому является способ определения толщины покрытия, заключающий- 5 ся в том, что на исследуемое покрытие наносят вещество с известными спектральными характеристиками, производят одновременное локальное испарение вещества с известными спект 30 раль ными х ар акт ери ст и к ами ис след уемо ro покрытия и части подложки, определяют относительную интенсивность свечения пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу с известными спектральными характеристиками,а вторая — веществу подложки, и определяют толщину покрытия (2 ).

Недостаток способа — низкая точность контроля, обусловленная плохой воспроизводимостью характеристик электрического разряда, с помощью которого осуществляется локальное испарение, а также необходимость построения градуировочных графиков для каждого типа измеряемых покрытий, что значительно удлиняет процесс контроля.

Цель изобретения — повышение точности и сокращение времени определения толщины.

Указанная цель достигается тем, что в качестве вещества с известными спектральными характеристиками используют фольгу с известной толщиной, а в качестве второй спектральной линии

1 в паре :спектральных линий выбирают линию, принадлежащую веществу исследуемого покрытия. . Определение толщины покрытия со815485

Формула изобретения

Составитель О. Фомин

Редактор В. Еремеева Техред Н.Бабурка Корректор Л. Иван

1011/бб Тираж 642 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ

Филиал ППП "Патеит", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 гласно способу осуществляется следующим образом.

Фольгу известной толщины, изготовленную из материала с известными спектральными характеристиками, накладывают на исследуемое покрытие. Осуществляют одновременное локальное испарение вещества фольги, покрытия и части подложки, например с помощью сфокусированного на поверхность фольги излучения импульсного лазера. Регистрируют спектр излучения образовавшейся плазмы, например, с помощью спектрографа. Определяют относительную интенсивность свечения пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу фольги, а вторая — веществу покрытия, при этом относительная интенсивность свечения выбранной пары спектральных линий, при данных материала и толщине фольги, зависит только от толщины Щ исследуемого покрытия. Определяют толщину покрытия по известному значению относительной интенсивности свечения спектральных линий.

Применение изобретения повышает 25 точность определения толщины покрытия благодаря исключению влияния источников возможных погрешностей, а также сокращает время определения толщины покрытия эа счет того, что отпадает необходимость построения градуировочных графиков, охватывающих весь диапазон применяемых толщИн покрытия данного типа.

Способ определения толщины покрытия, заключающийся в том, что на исследуемое покрытие наносят вещество с известными спектральными характеристиками, производят одновременное локальное испарение вещества с известными спектральными характеристиками исследуемого покрытия и части подложки, определяют относительную интенсивность свечения пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу с известными спектральными характеристиками, и определяют толщину покрытия, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью повышения точности и сокращения времени определения толщины, в качестве вещества с известными спектральными характеристиками используют фольгу с известной толщиной, а в качестве второй спектральной линии в паре спектральных линий выбирают линию, принадлежащую веществу исследуемого покрытия.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Левинсон Г. P и др,-"Физика и химия обработки материалов", 1971„

Р 4, с. 124. 2. Авторское свидетельство СССР

Р 99388, кл. G 01 В 11/06, 1952 (прототип).