Однако неоднородность исходного синтезированного материала, неидентичность условий при формообразовании и обжиге обуславливают разброс свойств готовых пьезоэлементов. Су" ществующий способ позволяет лишь частично компенсировать за счет выбора поля поляризации разброс в свсйствах пьезокераь в ческих заготовок. Уменьшение разброса свойств для пьеэокерамических элементов-резонаторов фильтровой техники при выборе поля поляризации происходит по параметру резонансного промежутка. В готовых пьезоэлементах повышается выход годных по параметру резонансного промежутка, но сохраняются значительные разбросы по другим параметрам, например по величинам сопротивления, добротности, емкости, резонансной частоте резонаторов.

Цель изобретения вЂ” уменьшение разброса параметров пьезоэлементов по емкости и резонансной частоте.

Указанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления пьезокерамических элементов .путем механической обработки заготовок и сортировки инфракрасным излучением по величине пропускания на групИзобретение относится к производству керамических пьезоэлементов из материалов на основе кислородсодержащих сегнетоэлектриков, применяемых в радиотехнике, электронике, гидроакустике.

Известен способ изготбвления пьезокерамических элементов, включающий формование, обжиг, механическую обработку, металлизацию и поляризацию, после чего производят измерение характеристик и выбор годных изделий с заданными свойствами (1).

Недостатками этого способа являются неоднородность заготовок и 15 разброс параметров готовых пьеэоэлементов. г

Наиболее близким к предлагаемому является способ изготовления пьезо- Я керамических элементов, в котором после механической обработки заготовки пьезоэлементов облучают инфракрасным излучением, сортируют по величине линейного коэффициента поглощения на 25 группы, проводят металлизацию и поляризацию, причем поляризацию каждой группы заготовок проводят напряжением, выбранным в соответствии с этим коэффициентом (Я . ЗО. (61) Дополнительное к авт, свнд-вувЂ” (22) Заявлено 020779 (21)2788795/29-33 () + 4Л.

823348 пы, металлизации и поляризации, пос ле сортировки заготовок на группы проводят дополнительную механическую обработку каждой группы заготовок до размеров, определяемых по экспериментальной зависимости емкости и резонансной частоты от величины пропускания, при этом сортировку заготовок ИК-излучением на группы и механи ческую обработку каждой группы заго1 товок повторяют двукра".сно, а для сортировки используют ИК-излучение в диапазоне края полосы поглощения пьезо.керамических элементов.

По известному способу при изготовлении пьезоэлементов в соответствии с коэффициентом поглощения инфракрасного излучения выбирают только напряжение поляризации каждой группы заготовок,. обеспечивающее уменьшение разброса по резонансному-промежутку, по предлагаемому способу в соответствии с коэффициентом поглощения

ИК-излучения диапазона края полосы поглощения проводят также и механическую обработку пьезоэлементов до размеров, обеспечивающих уменьшение разброса по величине емкости„ .

По известному способу ИК-просвечивание проводится при регистрации широкого спектра ИК-излучения, по предлагаемому способу регистрируется узкий диапазон излучения, лежащий по краю линии поглощения, Заготовки пьезоэлементов для фильтров, в которых используются радиальные моды колебаний; шлифуют до определенной толщины, сортируют по величине ИК пропускания на группы, каждую группу пьезоэлемейтов до шлифовывают до толщйны, обеспечивающей заданную емкость и определенной в соответствии с величиной пропускания диапазона края полосы поглощения, Заготовки металлизируют и поляризуют напряжением, выбранным в соответствии с величиной пропускания, затем группы заготовок дошлифовывают по диаметру до размеров, определенных в соответствии с величиной пропускания и обеспечивающих заданную резонансную частоту.

На фиг. 1-3 представлены графики, иллюстрирующие предлагаемый способ.

Кривые на фиг. 1 представляют со-. брй экспериментально определенные связки емкости С (пф) резонаторов из материала ЦТС-22, резонансной частоты резонаторов К„(кГц) и резонансного. промежутка дй (кГц) резонаторов с величиной пропускания Т ИК-излучения неметаллизированными заготовками резонаторов толщиной 0,6 "сои мм и ди амет ром 5 7 1 0,02

Указанные заготовки после металлизации поляриэовались напряжением, выбранным в соответствии с величиной пролускання, поэтому величина,резонансного промежутка заготовок практически одинакова для всех групп.

Сравнительные результаты изготовления пьезоэлементов по известному н предлагаемому способам приведены на фиг, 2 и 3

На фнг. 2 приведены кривые распределения по величине емкости пьезоэлементов двух партий, изготовленных по известному способу (кривая 1)

:и предлагаемому способу (кривая 2) . о На фиг. 3 приведены кривые распреде ления по величине резонансной частоты пьезоэлементов двух партий, изготовленных по известному (кривая 1) и предлагаемому (кривая 2) способам.

15 Кривые распределения по величине емкости и резонансной частоты резонаторов, изготовленных по известному способу (кривые 1),характеризуются в 2-3 раза большим разбросом, 2()чем кривые распределения по величине емкости и резонансной частоты резонаторов, изготовленных по предлагаемому способу (кривые 2), Пример . Изготовление резона.торов толщинных колебаний по предлагаемому способу.

Заготовки пьезоэлементов для фильтров ФП1П-049, в которых используются толщинные колебания, шлифуют до тол« щины 0,6 мм, металлиэируют (покрывают никелем), поляриэуют, дошлифовывают до толщины 0,280 О мм, сорти35 руют по величине HK пропускания диапазона края полосы поглощения на группы. Каждую группу ньеэоэлементов дошлифовывают до толщины, обес- . печивающей .заданную частоту в соответствии с величиной пропускания, 4О затем на них иапыляют рабочие электроды определенной конфигурации, Формула изобретения

1. Способ изготовления пьезокера" мических элементов путем механической обработки заготовок, сортировки инфракрасным излучением на группы по у величине пропускания, металлиэации . и ноляризации, о т л и ч а ю щ и .йс я тем, что, с целью уменьшения разброса параметров пьезоэлементов

*о емкости и резонансной частоте, 55 после сортировки заготовок на группы осуществляют дополнительную механическую обработку каждой группы заготовок до размеров, определяемых по экспериментальной зависимости емкости и резонансной частоты от ве60 личины пропускания.

2.Способ изготовления пьезокерамических элементов по п. 1, о т личающийс ятем, чтосортировку заготовок инфракрасным излу65 чением на группы и механическую

823348

М» фгь

4% ИЦ

Ю обработку каждой группы заготовок повторяют двукратно.

3. Способ по пп, 1 и 2, о т л ич а ю шийся тем, что испольэуют инфракрасное излучение в диапазоне .края полосы поглощения пьеэокерамических элементов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Глоэман И.Я. Льеэокерамика И.» Энергия ., 1972, с 159-179.

2, Авторское свидетельство СССР

9 475052, кл, С 04 В 35/00,.1973 °

823348

ФАЗ

Составитель Н.фельдман

Редактор A.Õèì÷óê Техред Н.Келушак Корректор Г.Решетник

Эаказ 1994/29 Тираж 660 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

ll3035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д, 4/5 т филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул, Проектная, 4