Способ удаления покрытия с поверхно-сти подложек

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОИ:КОМУ СВИ ИВЛЬСТВУ

Союз Советских

Социаамстмчеасих

Ресвубюж (11835980 (6I) Дополнительное к авт. свид-вук 509550 (22) Заявлено 300579 (21} 2789264/29-33 (51.)М. Кл з

С 03 С 23/00

Г 11 0 1/40 с присоединением заявки Йо

Гоеударетвеввмй квинтет

СССР ло яеаан изобретения в открыткй (23) Г1рнорнтет—

Опубликовано 07.0681. Бюллетень Нх 21 (53) УДК 666. 293.

35(088 8) Дата опубликования описания 07.0681 (72) Авторы изобретения

Р

Г» М.Г.Кривенко, В.И.Зелионкайте, С.A./Ãàóðàé и И.Д.Б.Сидаравичюс!

J !

IP

Научно-исследовательский институт электрбграфии и Каунасский политехнический институт ь»

P ! !

1 ! ! (71) Заявитель (54) СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ПОКРЫТИЯ С ПОВЕРХНОСТИ

ПОЦЛОЖЕК

Изобретение относится к полупроводниковой технике, а именно к области электрографии.

По основному авт. св. В 509550 известен способ, когда покрытия халькогенидных стекол удаляют их растворением в водных растворах этилендиамина при концентрации не менее

ЗОВ j1 ).

При использовании известного способа поверхность отдельных участков. растравливается разбавленными растворами и соот !етственно понижается класс чистоты.

Кроме того, в определенных условиях при удалении покрытий происходят нежелательные изменения поверхности подложек из алюминия и его сплавов, а именно: образование цветных пленок (от черных и темнокоричневых до золотистых и зеленоватых, радужных) при сохранении класса чистоты поверхности прежним, в пределах 10-11 классов.

Образование цветных пленок при удалении покрытий в концентрированных растворах этилендиамича происходит: только при высоких температурах, выше 60-65 С. При работе промышленного оборудования совокупность факторов способствует образованию таких пленок, а именно: контакт растворов, особенно свежих, не бывших в употреблении, с посторонними металлами, например, со стенками реактора из нержавеющей стали, входящей в состав оборудования, возможно, также несколько повышенное давление при проведении процесса в загерметизированном реакторе и длительном воздействии растворов на подложку. Такие пленки удаляются только полированием, хотя в этом случае требуется менее интенсивная механическая обработка поверхности, чем при растравливании подложки, т.е. ее повреждении.

Целью изобретения является повышение качества подложек.

Цель достигается тем, что перед растворением покрытий к водному раствору этилендиамина добавляют силикагель, н,количестве 0,05-10 вес.Ъ и выдерживают его в течение 2-600мин.

В зависимости от концентрации водного раствора этилендиамина, количества силикагеля и температуры раствора для достижения того же эффекта требуется различное время выдержки раствора с силикагелем. Эффективность обработки увеличивается

835980 с повышением температуры раствора и количества силикагеля. Более разбавленные водные растворы этилендиамина требуют более интенсивной обработки силикагелем. Например, с понижением концентрации раствора этилендиамина от 70% до 15-20% необхо5

:димо соответственно увеличить количество силикагеля от 0,05 до 0,5% при том же времени кипячения раствора (десятиминутном), а при выдержке растворов при более низких температурах, например, при комнатной, требуется от 1 до 5% силикагеля.

Силикагель даже при кипячении в растворах этилендиамина значительно в них не растворяется, так как сохраняется на дне реактора в том же количестве, не изменяя своего внешнего вида, лишь слегка набухая.

Подготавливая раствор этилендиамина к удалению в нем покрытий, доста- 29 точно один раз обработать его силикагелем. Эффективность обработанных растворов не уменьшается во время их хранения или эксплуатации.

При удалении покрытий.с подложек в концентрированных растворах этиленДиамина, предварительно обработанных как мелкопористым .так и крупнопористым силикагелем, даже при длительном кипячении подложек в растворе в стек- З лянной емкости или в реакторе из нержавеющей стали на поверхности подложек йе обра"уются цветные пленки и какие-либо иные нежелательные дефекты.

Приме р 1. К 1л 70%-ного водного раствора этилендиамина в стеклянной колбе добавляют 0,05Ъ гранулированного крупнопористого силикагеля, Колбу подсоединяют к обратному холодильнику и кипятят в те- 40 чение 25 мин. После чего в этот раствор помещают образец дюралиминиевой подложки электрофотографического . цилиндра (размер образца 2х25х55 мм) с покрытием триселенида мышьяка толщиной около 20 мкм и раствор.с образцом кипятят в течение 40 мин.,т.е. примерно в 4 раза дольше, чем этого требуется рля полного раствореНия покрытия. Поверхность подложки полностью сохранилась, на ней не обнаружено ни малейшего дефекта: ни цветных пленок, ни пятен, ни каких-либо заметных изменений.

П р и м е. р 2. К 5 л 70Ъ-ного раствора эхилендиамина, в реакторе из нержавеющей стали добавляют 0,054 гранулированного мелкопористого силикагеля и .раствор выдерживают 10 мин

Ф при 100-120 С в загерметизированном реакторе при конденсации паров эти- 60 лендиамина над его раствором.. Силикагель заметно не растворился и остался на дне реактора. Не удаляя силикагейь, в обрабатываемый им раствор полностью погружают электрофотографическИй цилиндр, представляющий собой дюралюминиевую цилиндрическую подложку с покрытием триселенида мышьяка, нанесенным на ее наружную поверхность, площадь около 0,1 м г

После выдерживания цилиндра в растворе в емкости из нержавеющей стали при температуре 100-120 С в течение

20 мин покрытие удалилось, а подложка полностью сохранилась. После 3-х месяцев хранения этого раствора, не

)проводя его .повторную обработку си ликагелем, удалили покрытия с еще нескольких электрофотографических цилиндров способом, аналогичным вышеописанному. Изменения поверхности подложек после удаления покрытий не обнаружено.

При понижении температуры растворов эффективность их обработки силикагелем падает; например, при выдерживании растворов в контакте с силикагелем при комнатной температуре силикагеля требуется во много раз больше,чем при кипячении (не сотые доли процента, а десятки процентов) и выдерживание раствора в контакте с силикагелем в течение нескольких часов.

Пример 3. К 1 л 70%-ного водного раствора этилендиамина, в стеклянном широкогорлом сосуде добавляют силикагеля гранулированного мелкопористого, колбу закрывают пробкой и раствор с силикагелем выдерживают при комнатной температуре в течение 5 часов. После чего силикагель отделяют, а в раствор помещают образец дюралюминиевой подложки электрофотографического цилиндра, размером 2х45х55 мм, с покрытием триселенида мышьяка (толщина покрытия около 20 мкм). Сосуд подсоединяют к обратному холодильнику, и раствор с образцом кипятят в течение часа.

Покрытие удалилось примерно после

5-7 мин кипячения, а остальное время, примерно, 40 минут, раствор воз- действовал на дюралюминиевую подложку, непокрытую слоем триселенида мышьяка, однако на поверхности подложки не обнаружено радужных пленок и каких-либо заметных дефектов.

Описываемый способ удаления покрытий, включающий в себя предварительную обработку растворов этилен— диамина силикагелем, полностью исключает порчу поверхности подложек,, возможную в условиях эксплуатации промышленного оборудования в одних случаях из-за растравливания поверхности разбавленными растворами, в иных из-за образования на поверхности цветных пленок.

Кроме того, предварительная обработка растворов этилендиамина силикагелем позволяет расширить допустимые пределы применения этих растворов при удалении покрытий, вследствие

835980

Формула изобретения

Составитель О.Самохина

Редактор В.Большакова . Техред Т.Маточка

Корректор Е. Рошко

Зака 2818/5 Тираж 520 Подписное

BHHHIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 чего нарушение режимов процесса не вызывает опасности появления брака.

Это, в свою очередь, позволяет строго. не регламентировать и не контролировать процесс, т.е. Упростить его.

Обработка силикагелем представляет собой простую операцию,поэтому не усложняет процесс, тем более, что эту обработку-введение силикагеля в раствор и выдерживание в нем - достаточно произвести лишь один раз перед удалением покрытий с первой партии. подложек и не повторять при следую ;щем использовании раствора.

Способ удаления покрытия с поверхности подложек по авт. св. е 509550, отличающийся тем, что, с целью повышения качества подложек, перед растворением покрытия к водному раствору этилендиамина добавляют силикагель в количестве 0,05-10вес.В и выдерживают его в течение 2-600мин.

10 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1 ° Авторское свидетельство СССР

9 509550. кл. С 03 С 23/00, 1973.