Устройство для разрезания хрупкихматериалов

Авторы патента:

H01L21/78 - с последующим разделением подложки на несколько отдельных приборов (резка, изменяющая физические свойства поверхности или форму полупроводниковых элементов,H01L 21/304)

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскнх

Соцналистмчесинх

Республик (iii836707 (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.12.78 (21) 27047 86/18-21 (51)M. Кл. с присоединением заввки Рй (23) Приоритет

Н 014 21 78

Государственный комитет

СССР

Опубликовано 07.06.81, Бюллетень Рй 21 (53) УДК621.

382(088 8) по делам изобретений и открытий

Дата опубликования описания 10.06.81 (72) Авторы изобретения

В. И. Захаров, А. В. фунтиков и Л. А. Мананникова (7! ) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАЗРЕЗАНИЯ ХРУПКИХ

МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано. при разрезании хрупких материалов, преимущественно кварца, в процессе изготовления подложек приборов. . HGBecTHo устройство для .разрезания хрупких материалов, содержащее шпиндель с режушим инструментом и узел подачи обрабатываемого кзатериала Х). В этом устройстве шпиндель размещен в подшипниках качения, поэтому качество разрезания заготовок из хрупкого материала невелико вЂ” нри большой частоте вращения шпинделя возникает вибрация режущего инструмента.

Извество устройство для разрезания хрупких материалов, наиболее близкое по технической сущности к изобретеиию, содержащее пневмошпиндель с режущим инструментом,. размещенный в аэростатических опорах с соплами для подвода воздуха, узел подачи обрабатываемого материала и пневмоснстему (2J. Для

2 оперативного контроля режимов обработки . в данном устройстве применены электрон пая схема управления с регистрирующими датчиками.

Применение пневмошнинделя as аэроста . тических опорах позволяет устранить ви» брапию режущего инструмента. Однако при использовании данного устройства качество обработки остается невысоким, поскольку применяемая схема унравления недостаточно. чувствительна к изме нению режимов обработки, определяемому свойствами обрабатываемого материала, глубиной резания износом инструменте. и др. факторами.

Белью изобретения является повыше, ние качества обработки.

Достигается это тем, что в известном устройстве аэростатнческие опоры снабжены дополнительнымн соплами для от-. вода воздуха, а пневмосистема - превмологическим элементом и пневмоусилите-. лем, при этом дополнительные сопла для отвода воздуха соединены с узлом

36707 4

5 l0

3 подачи обрабатываемого материала пс средством пневмологического элемента и пневмоусилителя. При изменении режима обработки изменяется давление в аэроста» тических опорах (подшипнике) пневмошпинделя при его смещении из центрального положения. Используя эпюры давления в смачном слое, сигнал от изменения давления в подшипнике пневмошпинделя через систему - дополнительные сопла подшипника - логический пневмоэлемент - пневмоусилитель поступает на узел подачи стола с закрепленным на нем обрабатываемым мате риалом. Управление подачей обрабатываемого материала на режущий инструмеят путем предложенной системы ооратноа связи возможно только при наличии высокой чувствительности к исполнению команд, поэтому узел подачи стола также выпблнен на аэростатических опорах.

На фиг. 1 приведена схема устрой» ства, на фиг. 2 - аэростатический под» шипник и его разрез A-А.

Устройство состоит из пневмошпинделя 1, размещенного в аэростатическом подшипнике 2, рабочего стола 3, перемещаемого в рабочую зону пиевмоноршнем 4. На рабочем столе закреплен абра батываемый материал 5, на пневмошпинделе 1 - режущий инструмент 6: И аэро« статическом подшипнике 2 выполнены сопла 7 для подвода воздуха из пневмосистемы 8 и дополнительные сопла 9, которые связаны с системой управления пневмопоршнем 4 посредством последовательного соединения пневмологического элемента 10 с пневмоусилителем 11, клапаном сброса давления 12 и смазочным слоем 13.

Устройство работает следующим образом. Из пневмосистемы 8 через сопла

7 подают воздух в аэростатический подшипник 2 и приводят во вращение пневмошпиндель 1 с закрепленным на нем режущим инструментом 6.

Обрабатываемый материал . 5 закрепляют на рабочем столе 3, который с помощью пневмопоршня 4 путем давления на него воздуха из, пневмосистемы 8 перемещают относительно режущего HHструмента 6.

В процессе разрезания обрабатываемого материала, вследствие изменений его структуры, износа режущего инстру мента и других причин происходит изменение режима обработки1 что вызывает ухудшение качества обработки. При изменении режима обработки пневмошпиндель

1 смешается в аэростатическом подшипнике 2, что приводит к изменению давления в смазочном слое 13. Сигнал от изменения давления в смазочном слое

13 через дополнительные сопла 9, пневмологический элемент 10, пневмоусили тель 11,клапан сброса давления 12 поступает на пневмопоршень 4, вследствие чего режим обработки стабилизируется, при этом улучшается качество обрабожиУстройство опробовано в производственных условиях. При разрезании кварцевых заготовок диском с алмазной внутренней режущей кромкой точность сохранения кристаллографической ориентации реза составляет g30", значительно улучшено качество: реза (число инте ференционных колец Й =4). ф .о р м у л а и з о б р е т е н и я

Устройство для разрезания хрупких материалов, преимущественно кварца, содержащее пневмошпиидель с режущим . инструментом, размещенный в аэростатических опорах с соплами для подвода .. воздуха, узел подачи обрабатываемого материала и пневмосистему, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью улучшения качества обработки, аэростатические опоры снабжены дополнитель ными соплами для отвода воздуха, а пневмосистема - пневмологическим элементом и пневмоусилителем, при этом дополнитегй ные сопла для отвода воздуха соединены с узлом подачи обрабатываемого материала посредством пневмологического элемента и пневмо усилителя.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Инструкция по эксплуатации:отрезного станка модели А$М - lOC".

Перевод 34 U-43955, Всесоюзный центр переводов. - М., 1976.

2. Зарубежная электронная техника, М 11, июнь 1978, с. 18 (прототип).

836707

Составитель О. Бочкин

Редактор E Гончар Техред М. Голинка Корректор Н. Стен

Заказ 3124/40 Тираж 784 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж35, Раушская наб., д. 4/5 .Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Устройство для разрезания хрупкихматериалов

Устройство для разламывания полупроводниковых пластин на кристаллы // 587533

Способ разделения полупроводниковой пластины на кристаллы // 545020

Устройство для отделения модулей интегральных схем с консольными выводами от пленочного носителя // 515419

Способ разделения многослойных пластин // 459817

Способ разделения пластины на отдельные элементы // 351267

Способ разделения проскрайбированных полупроводниковых пластин на кристаллы // 298015

Способ изготовления полупроводникового фотоэлектрического генератора // 288160

Способ изготовления селеновых выпрямительных элементов // 126195

Интегральная схема и способ ее изготовления // 2117418

Способ обработки структур "кремний на сапфире" // 2185685

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и может быть использовано при создании структур "кремний на сапфире", предназначенных для изготовления дискретных приборов и интегральных схем, стойких к воздействию дестабилизирующих факторов, например к радиации

Способ изготовления микросхем // 2244364

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в производстве микросхем

Прибор для поверхностного монтажа // 2316846

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в производстве электронных приборов и интегральных схем

Способ изготовления полупроводниковых приборов // 2321101

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при изготовлении чувствительных элементов датчиков давлений

Способ изготовления чипов мощных нитридных свч-транзисторов // 2339116

Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и может быть использовано при изготовлении мощных СВЧ-транзисторов с использованием гетероструктур на основе нитридов III группы

Запоминающее устройство с диэлектрическим слоем на основе пленок диэлектриков и способ его получения // 2343587

Изобретение относится к области полупроводниковой нанотехнологии и может быть использовано для прецизионного получения тонких и сверхтонких пленок полупроводников и диэлектриков в микро- и оптоэлектронике, в технологиях формирования элементов компьютерной памяти

Способ получения тонких монокристаллических полупроводниковых слоев на изоляторе или другом полупроводниковом материале // 2071145

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в новом технологическом процессе: изготовлении структур кремний на изоляторе или кремний на арсениде галлия (через окисел) путем прямого соединения полупроводниковых пластин

Способ изготовления датчиков давления // 2075137

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при изготовлении малогабаритных полупроводниковых датчиков давления

Способ изготовления полупроводниковых кристаллов // 2001467