Вакуумная установка

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических, Республик

«»850909 (61} Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 3011.79 (21) 2845467/25-06 с присоединением заявки М (23) Приоритет

®1М. Kn.

F 04 В 37/02

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий

Опубликовано 300781, Бюллетень Н9 28 (53) УДК 621. 528. 1 (088.8) Дата опубликования описания 300781 (72) Авторы изобретения

Г.П.Глазунов, Н.А.Косик и В.Б. Юферов (71) Заявитель (54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

Изобретение относИтся к вакуумной технике.

Известна вакуумная установка, содержашая вакуумную камеру, криогенный насос и размещенный между ними палладиевый насос, откачные элементы которого выполнены в виде трубок $1).

Такое расположение элементов известной вакуумной установки приводит к повышенному расходу хладагента при откачке больших количеств водорода и его изотопов, что снижает экономичность всей установки.

Цель изобретения — повышение экономичности. . Указанная цель достигается тем, что палладиевый насос снабжен двумя диафрагмами, образующими замкнутую полость, и торцы трубок вакуумноплотно соединены с последним.

На фиг. 1 изображена предлагаемая установка, продольный разрез ° на фиг. 2 †огкачивающие элементы алладиевого насоса.

Вакуумная установка содержит вакуумную камеру 1, криогенный насос

2 и размещенный между ними палладиевый насос 3, откачные элементы которого выполнены в виде трубок 4. Палладиевый насос 3 снабжен двумя днаф- - ® рагмами 5 и 6, образующими замкнутую полость, и торцы трубок.4 вакуумноплотно соединены с последними.

Установка работает следующим образом.

Откачиваеьхтй газ .из вакуумной камеры 1, попадает на внутреннюю поверхность палладиевых трубок 4. Водород и его-изотопы откачиваются путем диффузии через палладий и химическим связыванием кислородом на обратной стороне поверхности трубок 4.

Поскольку в вакуумной установке весь откачиваемый газ, прежде, чем попасть на откачивающфю поверхность криогенного насоса, проходит через откачной элемент палладиевого насоса, практически весь водород откачивается палладиевым насосом и в криогенный насос поступают лишь легкоконденсируемые газы, теплопроводность которых в несколько раз ниже, чем-у водорода. Поэтому расход хладагента в предлагаемой вакуумной установке по сравнению с известными существенно уменьшается.

Формула изобретения

Вакуумная установка, содержащая вакуумную камеру, криогенный насос!

350909

Филиал ППП Патент

i .ужгород, ул.Проектная, 4

Рис с

f. г мещенныи мсжду ними н. к.ос, откачные элементы вып лиепы в виде трубок, ю щ а я с я тем, что, повыщения экономичности, выл насос снабжен двумя д образующими з амк нутую пол палладиевый которого о т л и с целью налладиеиафрагмами, ость и торцы трубок вакуумноплотно соединены с последними.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент CUA Р 3149775, кл. 417-49, опублик. 1964.