Устройство для контроля микросхем

 

Союз Советскик

Социалистических

Республик

ОП ИСАЙИ Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ к авторском свидипльствю

Н 01 С 17/Ooi

Н 05 К 13/08 с присоединением заявки М

Государстесииый комитет

СССР (23) Приоритет ло делам изабретеиий и открытий

Опубликовано 23. 09. 81 Бюллетень,% 35

Дата опубликования описания 03. 10. 81 (53) УДК 621ф 315. ,684 (088.8) (72} Авторы изобретения

В,A.Сокол, О,С,Катернога, и.) Минский радиотехничес (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ МИКРОСХЕМ

Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной промышленности и предназначено для зондового контроля электрических параметров .результатов и конденсаторов микросхем.

Известно устройство для эондовых и измерений неразрезанной подложке динамических параметров интегральных схем, содержащая оптическую систему, fO предметный столик, механизм крепления зондовых и маркировочных головок, механизм шаговых перемещений и манипулятор.

Оптическая система устройства представляет собой стереоскопический микроскоп, используемый для визуального контроля установки токопроводя- щих эондовых головок на контактные площадки микросхем. Для зондовых измерений к устройству подключен автоматический прибор контроля динамических параметров интегральной схемы 1.11.

Недостатком. этого устройства является невозможность испольэовать его в производственном цикле, для контроля отдельных плат интегральных схем и для контроля гибридных инте— гральных схем с дискретными пассивными и.активными компонентами.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройство для контроля и подготовки величины сопротивления тонкопленочных резисторов, содержащее стереоскопический микроскоп, предметный столик, зондовую головку с одной парой зондов и контрольно-измерительный прибор, Контрольно-измерительный прибор этого устройства представляет собой цифровой вольтметр, при помощи индикатора которого визуально считываются величины сопротивлений. Стерео-.. скопический микроскоп использован для визуального контроля установки зондов и для микростереоскопических исследований 21.

86658

45

Недостатком известного устройства является то, что затруднено наблюдение микросхемы через микроскоп и одновременный визуальный контроль величины сопротивления контролируемого резистора этой микросхемы по индикатору контрольно-измерительного прибора, так как индикатор и окуляры микроскопа не находятся в поле зрения одновременно, что не обеспечивает необходимых 10 эксплуатационных удобств.

Цель изобретения — повьппение производительности.

Эта цель достигается тем, что устройство для контроля микросхем, содержащее зондовую головку, стереоскопический микроскоп, предметный столик и контрольно".измерительный прибор с индикатором, снабжено проекционным и поворотным зеркалами и линзовой системой, причем проекционное зеркало размещено под углом в поле зрения микроскопа, а поворотное зеркало— на оптической оси проекционного зерлинэовой системы H индикатора 25 контрольно-измерительного прибора, На фиг. 1 изображена схема предлагаеМого устройства; на фиг. 2 — изображение в поле зрения микроскопа, Устройство для контроля микросхем содержит последовательно установленные и оптически связанные стереоскопический микроскоп 1, проекционное зеркало 2, поворотное зеркало 3, линзовую систему 4, а также контрольноизмерительный прибор с индикатором

5, помещенным в поле зрения линзовой системы 4, и предметный столик 6 с зондовой головкой 7, на котором крепится контролируемая микросхема 8, 40

Микроскоп 1 состоит из штатива с головкой, скачкообразного переключателя увеличения, бинокулярной стереоскопической насадки и осветителя. Зондовая головка 7 состоит иэ двух токопроводящих зондов, выполненных в виде игольчатых щупов.

Проекционное зеркало 2 находится под объективом микроскопа 1, занимает часть поля зрения микроскопа и расположено под углом к плоскости объектива.

Поворотное зеркало 3 установлено на оптической оси проекционного зеркала 2, а линзовая система 4 распо" ложена на одной оптической оси с пово- 55 ротным зеркалом 3 и индикатором 5, Вследствие переотражений от поворотного 3 и проекционного 2 зеркал

3 4 изображение индикатора 5 попадает в поле зрения микроскопа 1. Одновременно в поле зрения микроскопа i находится предметный столик 6 с зондовой головкой 7, на котором расположена микросхема 8. Причем контрольно-измерительный прибор электрически соединен с зондовой головкой 7.

Устройство работает следующим образом.

Контролируемую микросхему 8 кладут на предметный столик 6. Устанавливают увеличение объектива микроскопа

1 и фокусируют его на микросхему, Затем при помощи регулирования положения отражающей говерхности проекционного 2 и поворотного 3 зеркал и линзовой системы 4 вводят в поле зрения микроскопа 1 изображение ин-, дикатора 5 контрольно-измерительного прибора 5, Для этого линзовой системой 4 проекцируют резкое изображение индикатора 5 контрольно-измерительного прибора на плоскость поворотного зеркала 3. Затем выполняют ввод спроекцированного на плоскость поворотного зеркала 3 изображения в плоскость проекционного зеркала 2, для чего измеряют угол поворота плоскости поворотного зеркала 3, Проекционным зеркалом 2 определяют площадь зоны наблюдения индикатора 5, для чего изменяют угол поворота зЕркала 2, После ввода изображения индикатора 5 в поле зрения микроскопа йачинают контролировать электрические параметры элементов микросхемы с помощью зондовой головки 7. При этом в поле зрения микроскопа одновременно находятся изображения зондов на контактных площадках микросхемы и индикатора 5 контрольно-измерительного прибора с информацией о электрическом параметре контролируемого элемента микросхемы.

Расположение проекционного зеркала под объективом микроскопа не мешает качественно проводить микростереоскопическое исследование и контроль микросхемы, а возможность одновременного наблюдения в поле зрения микроскопа контролируемой микросхемы с установленными зондами и изображения, индикатора повышает удобство обслуживания и производительность работы оператора.

Формула изобретения

Устройство для контроля микросхем содержащее зондовую головку, стереофиг,1

Фиг.g

Составитель Л Прокопенко

Редактор О.Черниченко Техред И.Асталош

Корректор М.Шароши б

Заказ 8084/72 Тираж 787

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раущская наб,, д, 4/5

Подпис но е

Филиал ППП "Патент", r, Ужгород, ул, Проектная, 4

5 86658 скопический микроскоп, предметный столик и контрольно-измерительный прибор синдикатором, о тли ч ающее с я тем, что, с целью повышения проиЗводительности, оно снабжено проекционным и поворотным зеркалами и линзовой системой, причем проекционное зеркало размещено под углом в поле зрения микроскопа, а поворотное зеркало — на оптической оси проекцион- 10

3 6 ного зеркала, линзовой системы и индикатора контрольно-измерительного прибора.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Авторское свидетельство СССР

Р 274232, кл. Н 01 L 21!66, 1969.

2. "Электроника", 1967, В 23; с. 86 (прототип).