Сканирующий интерферометр

 

(72) Авторы изобретения

В. Л. Макаров, И. Ф. Гимушин и С. А. Дранту ЬЗй --Ф

1 (7l ) Заявитель (54) СКАНИРУЮЩИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР

Изобретение относится к области оптического приборостроения, в частности к интерференционным приборам, предназначенным для сканирования спектра, и может быть использовано, в частности, в качестве сканирующего интерферометра Фабри — Перо и в Фурье-спектрометрах.

Известен сканирующий интерферометр, содержащий неподвижное зеркало и подвижное зеркало, связанное с приводом, в котором обеспечивается параллельность зеркал при перемещении с помощью упругих мембран или плоских пружин {1}.

Недостатком этого интерферометра является высокая чувствительность к вибрациям.

Наиболее близким к изобретению является

15 . сканирующий интерферометр, содержащий неподвижное .и подвижное зеркала, цилиндрический упругий элемент с двумя фланцами на концах, один из которых жестко закреплен, 20 а на другом установлено подвижное зеркало и привод перемещения подвижного зеркала.

Подвижное зеркало связано с приводом его перемещения. Цилиндрический упругий, элемент

2 с продольными гофрами соединен на концах с двумя фланцами (2).

Недостатком этого сканирующего интерферо метра является отсутствие механической однородности упругого элемента (изменение линейных размеров, механических свойств материала в местах соединения крайних гофр цилиндра и крепления к его торцам фланцев), что приводит к неодинаковой деформации всех гофр в средней части цилиндра и отклонению подвижного зеркала от параллельности при сканировании. Для обеспечения строгой параллельности зеркал интерферометра при перемещении подвижного зеркала необходимо, чтобы упругий цилиндр обладал высокой механической однородностью по всей цйлтптдрической поверхности, особенно в местах крапле» ния фланцев. Такая однородность в случае гофрированного цилиндра, имеющего сварные птвы вдоль образующей цилтпщра и в местах соединения фланцев, отсутствует..Кроме того, крепление к гофрированному цилиндру фланцев с равномерным распределением гофр требует сложной технологической оснастки.

4 происходит либо под действием упругих сиЛ перемычек при отключенном приводе 4, либо изменением направления действия привода.

Цилиндрический упругий элемент со сквозными окнами может быть изготовлен на обычных металлорежущих станках с высокой точностью. Однородность механических свойств, точность расположения фланцев обеспечивается тем, что он изготавливается из одного куска материала. Такое выполнение элемента 3 позволяет сохранить устойчивость к вибрационным помехам и обеспечивает строгую параллельность зеркал при перемещении подвижного зеркала.

Величина угла закручивания одного фланца относительно другого зависит от толщины стенки и от числа сквозных окон.

Таким образом, предлагаемый сканирующий интерферометр по сравнению с известными позволяет повысить точность измерений при сканировании спектра оптического излучения.

Все эти недостаткй снижают точность скант рования.

Целью изобретения является повышение точности сканирования.

Поставленная цель достигается теьч, что на цилиндрической поверхности упругого элемента выполнены сквозные окна, направленные вдоль образующей и расположенные равномерно по окружности, а фланец составляет с цилиндром одно целое.

На фиг. 1 изображена принципиальная схемасканирующего интерферометра; as фиг. 2-разрез А — А фиг. 1.

Сканирующий интерферометр содержит неподвижное зеркало 1, расположенное параллельно подвижному зеркалу 2, которое установлено на подвижном фланце цилиндрического упругого элемента 3.

Подвижный фланец упругого элемента 3 соединен с приводом 4 его перемещения. Неподвижным фланцем цнлиндрическии упругий

20 элемент жестко укреплен на основании 5. На цилиндрической поверхности элемента 3 выполнены сквозные окна, направленные вдоль образующей и расположенные равномерно по окружности. Материалом для элемента 3 может

25 служить любой упругий материал, фланцы выполнены заодно с упругим элементом из одного куска материала.

Сканирующий интерферометр работает сле- . дующим образом. 30

Поступательное перемещение подвижного зеркала 2, необходимое для сканирования спектра, осуществляется при повороте подвижного . фланца цилиндрического упругого элемента вокруг его оси н скручивании цилиндра относительно неподвижного фланца. При этом деформируются перемычки между окнами и за счет изменения диаметра упругого элемента 3 происходит перемещение подвижного зеркала 2

s осевом направлении. Возвратное перемещение

Формула изобретения

Сканирующий интерферометр, содержащий неподвижное и подвижное зеркала, цилиндричес. кий упругий элемент с двумя фланцамИ на концах, один иэ которых жестко закреплен, на другом установлено подвижное зеркало, и при-. вод перемещения подвижного зеркала, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения точности сканирования, на цилиндрической поверхности упругого элемента выполнены сквозные окна, направленные вдоль образующей и расположенные .равномерно по окружности, а фланец составляет а циюппщром одно целое.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидеаельство СССР Ю 360561„ кл. G 01 J 3/06, 1971.

2. Авторское свидетельство СССР Ф 535453, кл. 6 01 В 9/02, 1975 (прототип).

870915

Составитель Л. Лобзова

Техред М. Гергель

Кoрр р.О. S

Редактор Ж. Рожкова

Подписное

Заказ 8415/9

Тираж 645

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам, изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4