Светосильный объектив для ультрафиолетовой области спектра

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ (6! ) Дополнительное к авт. сеид-ву(22) Заявлено 140879 (21) 2798021/18-10 с присоединением заявки H9— (51)М. Клз

G 02 В 13/14

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 15,1081. Бюллетень 1о 38 (53) УДК 771.3Û..7(088.8)

Дата опубликования описания 1 1081

М.N. Русинов, И.Л. Анитропова, П.Д. Иван в и В.Ф. Ванторин

1 (72) Авторы изобретения

Ленинградский институт точной механики,и оптики (71) Заявитель (54) СВЕТОСИЛЬНЫЙ ОБЪЕКТИВ ДЛЯ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЙ

ОБЛАСТИ СПЕКТРА

Изобретение относится к оптике,. к классу светосильных объективов и может быть использовано в микроэлектронике как проекционный объектив в установках басшаблонной технологии ..

Известен светосильный объектив, содержащий шесть компонентов: двояковыпуклую линзу, положительный ме- . ниск, обращенный вогнутостью к изображению, отрицательную линзу, склеенную из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, двояковыпуклую линзу, отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к изображению и отрицательную линзу Смита (1) . 15

Известен также объектив, содержащий четыре компонента: три первых из которых склеенные положительные, причем первый иэ них склеен из двояковыпуклой линзы и отрицательного ме- 20 инска, обращенного вогнутостью к предмету, а два других склеены иэ двояковыпуклой и двояковогнутой линз, а четвертым служит одиночная отрицательная линза Г2) . 25

Недостатками данных систем является небольшое поле зрения, небольшой размер кадра (диагональ кадра равна 21.мм), невозможность работать в ультрафиолетовой (УФ) области спект- 30 ра, что ограничивает выбор источника света в установках басшаблонной технологии.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является объектив, содержащий два компонента, первый иэ которых состоит иэ двух линз, причем передняя выполнена склеенной из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, а задняя — положительный мениск, обращенный вогнутостью к изображению, а второй компонент содержит одиночную положительную линзу (3).

Недостатком этой системы является малое поле зрения 2м = 12, малый разрез кадра (диагональ кадра 21 мм), невозможность получения достаточно аберрационной коррекции в УФ области спектра.

Цель изобретения — увеличение угла поля зрения с одновременным улучшением качества аберрационной коррекции.

Поставленная цель достигается тем,. что светосильный объектив для ультрафиолетовой области спектра, содержащий два компонента, первый из которых выполнен из двух линз,а второй включает одиночную положительную линзу, снабжен расположенным за вторыми

873194 компонентом третьим компонентом, выполненным из одиночных положительного мениска, вогнутостью обращенного к изображению, двояковогнутой и плосковогнутой линз, при этом первая линза первого компонента выполнена одиночной, а вторая его линза - отрицательная, а второй компонент дополнен двумя одиночными положительными линзами, последняя из которых выполнена в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению. 30

На чертеже представлена принципиальная оптическая схема объектива.

Объектив содержит три компонента

1-3. Компонент 1 состоит из двух линз

4 и 5,линза 4 — положительная, линза 5-1Я отрицательная. Компонент 2 содержит две положительные линзы 6 и 7 и мениск 8 обращенный вогнутостью к изображению.

Компонент 3 выполнен из положительного мениска 9 и двояковогнутой 10 и плосковогнутой 11 линз.

Компонент 1 является коррекционным и служит для коррекции комы и сферической аберрации в объективе, что и определяет форму его линз: — линза

4 — одиночная двояковыпуклая, а линза 5 — отрицательная плосковогнутая.

Компонент 2 является силовым и обеспечивает увеличение поля зрения и размера кадра объектива за счет того, что позади его первой положитель- 30 ной линзы 6 размещены положительные линзы 7 и 8, последняя из которых линза 8 выполнена в виде мениска, обращенного вогнутостью к изображению, что позволяет получить поле зрения 35

24U = 30 при относительном отверстии объектива 1:1 и увеличить диагональ кадра до 75 мм, кроме того, компонент 2 служит для коррекции аберраций QlHpoKHx наклонных пучков а так 4р же астигматизма.

Компонент 3 является силовым и кор- рекционным одновременно.В качестве силового он обеспечивает увеличение угла поля зрения и размера кадра в объективе при высоком относительном отверстии, а как коррекциониый — служит для исправления остаточной отрицательной кривизны поля зрения и тонкой коррекции комы в широких наклонных пучках, это достигается тем, что он выполнен из положительного мениска 9, двояковогнутой 10 и плоско- вогнутой 11 линз.

Все линзы объектива выполнены одиночными и материалом для них,служит кварцевое стекло с н„ = 1,47455, и

4 = 67,96.

Это объясняется необходимостью работы объектива в УФ области спектра.

Объектив обладает следующими техническими преимуществами: у4зеличение поля зрения в 2,5 раза;. увеличением размера кадра более чеМ в 3 раза, при относительном отверстии 1:1 и улучшенном качестве аберрационной коррекции для УФ участка спектра.

Формула изобретения

Светосильный объектив для ультрафиолетовой области спектра, содержащий два компонента, первый из которых выполнен из .двух линз, а второй, включает одиночную положительйую линзу, о т л и ч а.ю rq и и с я тем, что, с целью увеличения угла поля зрения с одновременным улучшением качества коррекции аберраций, он снабжен расположенным за вторым компонентом третьим компонентом, выполненным из. одиночных положительного мениска, вогнутостью обращенного к изображению, двояковогнутой и плосковогнутой линз, при этом первая линза первого компонента выполнена одиночной, вторая его линза - отрицательной, а второй компонент дополнен двумя одиночными положительными линзами, последняя из которых выполнена в виде мениска, вогкутостью обращенного к изображению.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Франции Р 2339872, кл. С 02 В 9/06, опублик. 1977.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке 9 2536533/18-10, кл. G 02 В 9/64, 1977.

3. Авторское свидетельство СССР

Р 634222, кл. 6 02 В 11/34, 1977 (прототип), 873194

Составитель М. Лебедев

Редактор Н. Воловик Техред Л.Пекарь. Корректор О. Билак

Закаэ 9044/74, Рираж, 542 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4