Проекционный объектив с увеличением 0,1х

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

СОЦнвинстнческнх

Республнк (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.1179 (21) 2844252/18-10 (51) + КЛ

G 02 В 13/24 с присоединением заявки HP (23) Приоритет

Государственный комнтет

СССР по делам нзобретеннй н открытнй

Опубликовано 151081.бюллетень " 38 (5Ç) ÀK 771. 351. .7(088.8) Дата опубликования описания 151081 левская

Э.С. Гуревич, Г.И. Тихончук, Л.Д. П и С.Б. Манвелян (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54 ) ПРОЕКЦИОННЦЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ 0, 1

Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования.

Известен объектив для ультрафиолетовой области спектра, с увеличением апертурой 0,2. Объектив содержит

40 два трехлинзовых склеенных компонента, разделенных диафрагмой f1) .

Известен также объектив для видимой и ультрафиолетовой областей спектра с увеличением - вЂ, апертурой

0,25. Он состоит из трех компонентовг первый компонент — плоско-вы- 15 пуклая линза, а второй и третийтрехлинзовые несклеенные компоненты (2) .

Однако оба эти объектива предназначены для микроскопа, и не могут быть 20 использованы в проекционных системах экспонирования для получения субмикронных элементов из-за малых апертур, поля зрения, а также недостаточной коррекции аберраций. 25

Наиболее близким к предлагаемоМу является объектив, содержащий пять компонентов, из которых первый и второй - положительные двухлинзовые склеенные компоненты, третий - одиночная положительная линза, четвертый — положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, пятый — двухлинзовый склеенный отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов и диафрагму, расположенную между парами и вторым компонентами. Объектив работает с увеличением 0, апертурой 0,3 полем зрения 50 мм f3) .

Недостатком объектива является невозможность использования его для получения субмикронных элементов при экспонировании в ультрафиолетовой области спектра из-эа недостаточной апертуры, неисправленных аберрацйй в эТой области спектра и наличия линз, выполненных из материалов, непрозрачных в ультрафиолетовой области спектра.

Цель изобретения — улучшение аберрационной коррекции в ультрафиолетовой области спектра.

Поставленная цель достигается тем, что в объектив, содержащий расположенные одна за другой три положительные линзы и два мениска, обращенных вогнутостью к плоскости изображения первый из которых положительный и диафрагму, расположенную между первой

873195 и второй линзами, введены два отрица- тельных мениска, расположенных между первой линзой, представляющей собой положительный мениск, при этом первый иэ отрицательных менисков обращен вогнутостью к иэображению и расположен от плоскости диафрагмы на расстоянии ,8 фокусного расстояния объектива, торой обращен вогнутостью к предмету и расположен в непосредственной близости к диафрагме, а последний из менисков также выполнен положительным. tp

На чертеже представлена принципиальная оптическая схема объектива.

Объектив состоит из семи компонентов, разделенных диафрагмой.

Первый ."компонент: положительный 15 мениск 1, обращенный вогнутостью к предмету 2, выполнен из флюорита с соотношением радиусов 4,92:1.

Второй компонент: отрицательный мениск 3, обращенный вогнутостью к щ иэображению 4 и выполненный из кварца- с соотношением радиусов 1,44:1, расположен от плоскости диафрагмы 5 на расстоянии 0,8 фокусного расстояния объектива.

Третий компонент: отрицательный мениск 6, обращенный вогнутостью к: предмету 2, выполненный из кварца с соотношением радиусов 0,51:1 и расположенный в непосредственной близости к диафрагме 5. 30

Четвертый компонент: двояковыпуклая положительная линза 7,выполненная из флюорита с соотношением радиусов

7,78:1.

Пятый компонент: двояковыпуклая 35 положительная линза 8, выполненная иэ флюорита с соотношением радиусов

083831.

Шестой компонент: положительный мениск 9, обращенный выпуклостью к пред-4р мету и выполненный из флюорита с соотношением радиусов 0,2:1

Седьмой компонент: положительный мениск 10, обращенный вогнутостью к изображению 4, выполненный из кварца с соотношением радиусов 1,42:1. 45

Предлагаемай объектив рассчитан для ультрафиолетовой области спектра при высокой степени коррекции аберраций, что дает возможность получать . субмикронные элементы порядка 0,5 мкм.

Таким образом, применение данного объектива позволяет повысить произвЬдительность труда при использовании его в проекционных системах экспонирования.

Формула изобретения

Проекционный объектив с увеличением 0,1", содержащий расположенные одна за другой три положительные линзы и два мениска, обращенных вогнутостью к плоскости изображения, riepвый из которых положительный, и диафрагму, установленную между первой и второй положительными линзами, о т л.и ч а ю шийся тем, что, с целью улучшения аберрационной коррекции в ультрафиолетовой области спектра и увеличения апертуры до 0,45, в него введены два отрицательнйх мениска, расположенных между первой положительной линзой, представляющей собой положительный.мениск, и диафрагмой, при этом первый иэ отрицательных менисков обращен вогнутостью к изображению и расположен от плоскости диафрагмы на расстоянии 0,8 фокусного рас-. стояния объектива, второй обращен вогнутостью к предмету и расположен в непосредственной близости к диафрагме, а последний иэ менисков также выполнен положительным.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Панов В.А.,и Андреев .Л.Н. Оптика микроскопов . Л., 1978, с. 416.

2. Панов В.A.,è Андреев A,Н. Оптика микроскопов г Л., 1978,с.127.

3. Авторское свидетельство СССР

Ю 254315, кл. 6 02 В 13/24, 1968 (прототип). 973195

Составйтель В. Ванторин

Редактор Н. Воловик Техред Л.Пекарь Корректор О. Билак

Заказ 9044/74 Тирак 542 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж,35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4