Массовый расходомер

 

О п И С А Н И Е 872331

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. саид-ву (5I )M. Кл. (22) Заявлено 060230 (21) 2878852/18-10

G 01 F 1/64 с присоединением заявки М (23) Приоритет

Кюауаарстаевный камнтет

СССР ао делам нэабратехих и открытий

Опубликовано 301Q81. Бюллетень № 40 (53) ygg 681, ) 21 (088.8) Дата опубликования описания 30.103 1 (54) МАССОВЫЙ РАСХОДОМЕР

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерений мгновенного и (или ) суммарного массового расхода газов или перегретых паров и автоматического поддержания заданного значения расхода.

Известен массов и расходомер, содержащий датчик объемного расхода и датчик плотности, выполненный. в виде конденсатора, образованного двумя полукруглыми неподвижными (секторными) пластинами, размещенными на поверхности полого диэлектрического барабана, вращающегося между неподвижными пластинами, и периоди15 чески изменяющими емкость.

Величина емкости конденсатора измеряется емкостным мостом, в измери- . тельной диагонали которого возникает напряжение, модулированное с частотой вращения барабана, а амплитуды (максимальная и минимальная) этого напряжения определяются величиной диэлектрической проницаемости вещества в потоке, т. е. его плотностью (1 J

Наиболее близким к предлагаемому является расходомер, состоящий из четырех идентичных емкостных преобразователей, электрически соединен-, ных попарно для измерений объемного расхода и плотности газа. Преобразователи выполнены в виде многопластиичатых плоских конденсаторов, включенных в рабочие.и компенсационные плечи двух измерительных автоматических квазиуравновешенных трансформаторных мостов, измеряющих соответственно объемный расход протекающего потока и его плотность. Реверсивные электро" двигатели этих трансформаторных мостов соединены с резистивными преобразователями, которые включены в про-. тивоположные плечи автоматического мостового резистнвного аналогового умножителя $2) .

Известный расходомер имеет недостаточную точность измерения за счет

87733 г влияния потерь давления на входе и выходе плоских каналов проточного конденсатора, а также достаточно сложную конструкцию.

Цель изобретения — повышение точности измерений при упрощении конструкции.

Поставленная цель достигается тем, что в массовом расходомере, содержащем датчики объемного расхода и плот- 10 ности, состоящие из многопластинчатых плоских конденсаторов, включенных в плечи измерительных трансформаторных мостов, и мостовой аналоговый умножитель, причем конденсаторы датчика объемного расхода расположены последовательно в проточном канале, а его укороченные пластины установлены последовательно с охранными электродами, конденсатор датчика плотности установлен в проточном канале, причем часть его пластин выполнена укороченными и последовательно с ними на входе и выходе конденсатора установлены охранные электроды, при этом величина зазора между пластинами конденсатора плотности определена по формуле

<<о оо

"1 с1в где Ео — диэлектрическая проницаемость вакуума; емкость конденсатора датчика плотности в вакууме1

Н, b u Во - за э ор между плас тинами, ширина и длина укороченных пластин конденсатора датчика плотности, а зазоры между пластинами конденсаторов датчиков плотности и объемного расхода выбраны из соотношения (и, = Л РТ6 у, где Н„=Я - .зазор между пластиМ

1> нами конденсатора датчика объемного расхода; и Qy — расходы газа через

Р конденсаторы датчиков плотности и объемного расхода> — емкость конденсатора датчика объемного расхода в вакууме.

ЭО

Э5

I

4 установлен конденсатор переменной емкости.

На фиг. I представлен датчик расходомера, продольный разрез, на фиг. 2 — вид А на фиг. 1; на фиг.3 сечение В-Б на фиг. 11 на фиг. 4— сечение В-В на фиг. 1; на фиг, 5разрез Г-Г на фиг. 21 на фиг. 6— схема измерительных трансформаторных мостов и мостового умножителя; на фиг. 7 — схемы одиночных щелевых проточных каналов измерительных . онденсаторов объемного расхада и плотности, а также графики изменения давления пбтока в них (а и Б соответственно) °

Датчик расходомера (фиг.1) состоит из набора плоских прямоугольных пластин 1-11, размещенных в прямоугольных вырезах фланцев 12, Последние приварены к цилиндри ескому корпусу IЗ.Пластины 1-5 и 7-10 покрыты со всех сторон электроизоляционным слоем материала с весьма малыми проводимостью и смачиваемостью (например фторопластом) . Пластины 6 и 11 выполнены из нержавеющей стали. Пластины 2-5, а также 9, 7, !

О расположены последовательно по длине одна за другой, Пластины 1 и 8 имеют одинаковую длину, равную длине этих групп пластин 2-5 и 9, 7, l0. Группы пластин 9, 7, 10 и пластины 1 и 8 размещены так, что зазоры между ними и пластинами 6 и Il в несколько раз меньше, чем зазоры между группами пластин 2"5 и пластинами 1 и 6. Все группы пластин 2-5, а также 9, 7, 10 совместно с пластинами I, 8, 6, ll образуют плоские длинные щели, в которых устанавливается ламинарный режим течения измеряемой среды, подводимой (и отводимой) к датчику через фланцы 14 и конусные насадки 15. Фланцы 14 приведены к конусным насадкам 15 и к фланцам 16, которые с помощью .болтов 17, гаек 18 через фторопластовую прокладку 19 плотно прикрепляются к фланцам 12 корпуса 13. Датчик фланцами j4 соединен с трубопроводом (не показан), по которому транспортируется измеряемый гаэ (перегретый nay). Поток измеряемого газа в датчике течет в направлении А.

При этом в смежном плече трансформаторноro моста, измеряющего плотность, В прямоугольных вырезах фпанцев

12 (фиг.2) размещены несущие пластины 20, имеющие со внутренней, обращен8773

25

5 ной к потоку стороны, продольные пазы 21 и 22, в которые плотно вставляются соответствующие пластины 1-5 и 7-10, покрытые фторопластом и тем самым электрически изолированные от заземленных несущих пластин 20.

В последних, крбме того, выполнены пазы 23, в. которые вставлены металлические пластины 6, разделяющие поперечное сечение проточной части дат- щ чика на три проточных канала. В центральном канале размещены пластины 1-5, а в периферийных - пластины

7-10. На гранях пластин 20 также выполнены пазы 24, в которые уложены металлические пластины 11, плотно прикрепленные (например пайкой) к пластинам 20.

Пластины 1-5, 7-10, 6 и 11 и 20 зафиксированы во фланцах 12 от продольного смещения фторопластовыми прокладками 19 (фиг.l) и фланцами 16, имеющими также прямоугольные вырезы, но внутренние их размеры меньше, чем размеры прямоугольных вырезов во фланцах 12 на толщину пластин

11 и 20. Длина пластин 2 и 9 обусловлена предельным значением критерия Рейнольдса так, чтобы на ней ста" билизировался ламинарный режим тече30 ния потока с образованием в узких щелях между пластинами эпюры скоростей параболической формы. Эти пластины заземлены. Аналогично пластины

5 и 10 имеют такую длину, чтобы на ней проходило нелинейное падение .давления за счет выходных потерь. Эти пластины также заземлены.

Пластины 3 и 4 имеют одинаковую длину и расположены одна за другой.

Пластины i и 8 имеют длину, равную суммарной длине пластин 2-5, пластина 7 — длину, равную удвоенной длине пластины 3 (или 4). В щелях между пластинами 1 и 3 и 1 и 4, а. также 7 и 8 имеет место линейное паде45 ние давления измеряемой среды за счет вяэкостного трения.

Пластины 1 и 3 и 1 и 4 образуют два, последовательно размещенные в потоке, конденсатора для измерения объемного расхода. Пластины l для них являются общими. Пластины 3 и 4 (а также 2 и 5) размещены в центральной части поперечного сечения проточной части датчика попеременно с пластинами 1 (фиг.1, 3 и 4). Все пластины 2 и 5, расположенные в пазах 21 (фиг.2) перед и за пластинами 3 и 4,, электрически соединены между собой и с корпусом 13 (т.е. заземлены).

Аналогично все пластины I, 3 и 4 электрически соответственно соединены между собой, образуя три иногопластинчатых электрода двух измерительных конденсаторов, Пластины 7 и 8 образуют один многопластинчатый конденсатор, размещенный в двух периферийных частях (фиг.1, 3 и 4) поперечного сечения проточной части датчика. Этот конденсатор предназначен для измерения плотности протекающего потока. Все пластины 9 и 1 О, расположенные в пазах 22 (фиг.2) перед и за пластинами, электрически соединены между собой и с корпусом 13 (т.е. заземлены).

Аналогично все пластины 7 и 8 электрически соответственно соединены между собой.

Для такого электрического соединения пластин 1-10 в несущих пластинах 20 (фиг.2) выполнены поперечные пазы 25 (фиг.4 и 5). Концы пластин, выходящие из пазов 21 и 22 в паэьф

25, освобождены от фторопластового покрытия и к ним присоединены (например пайкой) электропроводники

26-28 (соответственно к пластинам

1, 3 и 4) и 29 и 30 (соответственно к пластинам 7 и 8) (фиг.4). Эти электропроводники подключены к пяти электровводам (фиг.5), состоящим из реэьбовых гаек 31, фторопластовых уплотнений 32, коаксиальных стержней

33 и нажимных резьбовых втулок 34.

Резьбовые гайки 31 приварены к корпусу 13. Через отверстия в нем к стержням 33 присоединены электропроводники 26-30 (фиг.5). Снаружи от электровводов отходят пять коаксиальных радиочастотных кабелей (не показаны) к вторичным приборам.

Корпус 13 датчика с фланцами 12 и 16 и конусной насадкой 15 (фиг. l ) теплоиэолируются и имеют температуру трубопровода и измеряемой среды.

Для точных измерений датчик термостатируется.

Для измерений разности емкостей проточных конденсаторов объемного расхода, составленных иэ пластин

1 и 3 и I и 4(фиг.1, 4 и 5) приме-. нен автоматический квазиуравновешеиный трансформаторный мост (измеритель объемного расхода).

77331 8

7 8

Мост 35 (фиг.б) содержит rенератор 36 синусоидального напряжения, трансформатор 37 напряжения, имеющий две мультифилярные обмотки 38, селективный усилитель с фаэовым дискриминатором 39, имеющим биполяр-. ный выход, усилитель 40 постоянного тока, который управляет реверсивным электродвигателем 41. В плечи моста

35 включены проточные конденсаторы

42 и 43, составленные соответственно из пластин 1 и 3 и 1 и 4. Компенсация увеличенной (при расходе потока) емкости измерительного конденсатора

42 осуществляется линейным переменным конденсатором 44, связанным с валом электродвигателя 41, который также связан со стрелкой 45, указывающей на шкале объемный расход, и точным резистивным преобразователем 46.

Для измерения емкости проточного конденсатора плотности, составленного из пластин 7 и 8 (фиг.1, 3 и 4) применен трансформаторный мост 47 (фиг.6), аналогичный мосту 35. Этот мост содержит генератор 48 напряжения, трансформатор 49 напряжения с обмотками 50, селективный усилитель 51, усилитель 52 постоянного тока, электродвигатель 53. В плечи моста 47 включен проточный конденсатор 64, составленный из пластин 7 и 8 и высокоточный стабильный и настраиваемый конденсатор 55. Компенсация уве.— личения емкости проточного конденсатора 54, зависящая от плотности измеряемого газа, осуществляется линейным конденсатором 56 переменной емкости, связанным с валом электродви.гателя 53. К нему также присоединены стрелка 57, указывающая на шкале плотность измеряемого потока, и точ-, ный резистивный преобразователь 58 °

Резистивные преобразователи 46 и

58 включены в противоположные плечи резистивного моста 59, содержащего также постоянный резистор 60 и реохорд 61, управляемый валом электродвигателя 62, подключенного к выходу усилителя 63. Вал электродвигателя

62 связан также со стрелкой 64, указывающей на шкале массовый расход.

В пластинах 11 выполнены отверстия

65 (фиг.1) для заполнения пространства между корпусом 13 и пластинами .11 и 20 измеряемой средой.

Расходомер работает следующим об" разом.

t0

При постоянной температуре датчика (и пластин 1-11) (фиг.1) и при отсутствии расхода и давления, т.е. в вакууме, диэлектрическая проницае" мость среды в датчике равна единице и емкости конденсаторов 42 и 43 (фиг.б), составленных из пластин

1 и 3 и 1 и 4 (фиг.1), одинаковы.

Трансформаторный мост 35 (фиг.6), находясь в равновесии, показывает нулевое значение объемного расхода.

Емкость конденсатора 54, составл нного из пластин 7 и 8, равна емкости настраиваемого конденсатора 55. Транс" форматорный мост 47 при равновесии, показывает нулевое значение плотности. Резистивный мост 59 при этом балансируется на нулевом показании расхода.

При заполнении трубопровода и датчика измеряемым газом с давлением и постоянной температурой, соответствующим требуемому режиму, но при отсутствии потока газа (при нулевом расходе), диэлектрическая проницаемость газа между всеми пластинами датчика одинакова и больше единицы.

Емкость конденсаторов 42 и 43 (фиг.6) при этом также одинакова и мост 35 дает нулевые показания объемного расхода. Емкость же конденсатора 54 становится больше емкости конденсатора

55 н трансформаторный мост 47 автоматически балансируется за счет увеличения емкости линейного конденсатора 56, Стрелка 57 моста 47 при этом отклоняется по шкале пропорционально плотности измеряемого газа и изменяет величину реэистивного преобразователя 58, Вследствие этого резистивный мост 58 балансируется при ненулевом показании стрелки 64 на шкале.

Чтобы подготовить расходомер к измерениям, настраиваемым конденсатором 55 (фиг. 6) трансформаторный мост 47 балансируется на нулевом по-. казании стрелки 57 по шкале этого моста. В результате этого резистивный мост 59 дает нулевые показания.

При наличии потока газов в трубопроводе они поступают в датчик, сочлененный фланцами 14 (фиг.1) с ответными фланцами трубопровода.

Поток газов через конусную насадку

15 входит в узкие длинные щели между пластинами 1 и 2-5, 6 и 2-5, а также между пластиками 9, 7, 10 и

8; 6 и 9, 7, 101 11 и 9, 7, 10, В

8 этих узких щелях устанавливается ламинарный режим течения с вязкостным трением. Максимальная величина расхода газов (или перегретого пара) должна соответствовать предельному значению критерия Рейнольдса (т. е.

2300) для ламинарного режима в щелях между пластинами измерительных конденсаторов объемного расхода, т.е.

1и25.

На начальном участке между пластинами 1 и 2, 2 и 6, 8 и 9, 6 н 9, 9 и 11 происходит нелинейное изменение давления за счет имеющихся потерь на входе (фиг,7). Затем здесь режим движения начинает стабилизироваться и по толщине зазора начинает устанавливаться параболическое распределение скорости потока..

Ламинарный поток поступает на участки щелей (фиг.1) между пластинами 1-3, 1-4, 6-3, 6-4 и, соответственно, 7-8, 6-7, 7-11. Здесь имеют место линейное изменение давления текущей среды, описываемое законом

Пуазейля, и часть нелинейных потерь давления, затрачиваемых на образование параболического профиля скорости.

Суммарный перепад давлений, возникающий -в зазорах на длине пластины

3 и 4, пропорционален объемному расходу протекающего потока с учетом поправок на потери давления. Эта же величина объемного расхода пропорциональна соответственно меньшим перепадам давлений, возникающим на меньшей длине каждой пластины 3 и 4.

3а счет наличия переладов давления на этих пластинах.3 и 4, в щелях между пластинами 1 и 3 и 1 и 4 уста" навливаются неодинаковые средние давления. Причем среднее давление на пластине 3 больше, чем среднее давление на пластине 4. Этим средним давлениям соответствуют неодинаковые средние плотности и диэлектрические проницаемости в конденсаторах, составленных из пластин 1 и 3 и 1 и

4. Средняя диэлектрическая проницаемость в конденсаторе из пластин 1 и 3 больше, чем в конденсаторе из пластин 1 и 4. Соответственно увеличивается емкость конденсатора 42 (фиг.6) из пластин 1 и 3, расположенного первым по направлению движения ламинарного потока, по сравнению с емкостью конденсатора 43 из пластин

1 и 4, размещенного вторым в потоке.

Вследствие возникающей разности ем77331 10 костей этих конденсаторов 42 и 43 нарушается баланс трансформаторного моста 35 с трансформатором 37 напряжения, в плечи которого включены эти емкости. Разность емкостей кон" денсаторов 42 и 43 компенсируется увеличением емкости уравновешивающего конденсатора 44, управляемого электродвигателем 41. После автоматической балансировки моста 35 стрелка 45 указывает на шкале результат измерений объемного расхода.

В щелях между пластинами 8 и 9, 7 и 10, а также 6 и 9, 7 и 10, 11 и

9, 7 и 10 конденсатора плотномера устанавливается перепад давлений, равный перепаду на пластинах 1 и

2-5. Данный перепад вызывает расход газа через щели этого конденсатора пропорционально третьей степени отношения зазоров между пластинами конденсатора плотномера и конденсатора объемного расхода. Если зазор между пластинами конденсатора плотномера уменьшен на порядок по сравнению с зазором между пластинами кс нденсатора объемного расхода, то расход газа через щели конденсатора плотномера становится меньше на три порядка, т.е. пренебрежимо мал

30 и учитывается поправкой в расчетном соотношении расходомера. 3а счет малого расхода в конденсаторе плотномера длига участка гидродинамической стабилизации потока с нелинейными потерями давления также мала и сосредоточена на длине пластин 9. Практически распределение давлений по длине пластины 8 является линейным (фиг.7) . Причем, давление в среднем сечении пластины 7 оказывается больше, чем на стыке пластин 3 и 4 конденсатора объемного расхода.

3а счет перепада давлений на пластине 7 среднее давление текущей среды по длине пластин 7 и 8 становится больше начального давления, которому соответствовала начальная (нулевая) установка баланса трансформаторного моста (фиг.6).. При возрастании срэд него давления на пластинах 7 и 8 увеличиваются средние плотность и диэлектрическая проницаемость rasa между пластинами 7 и 8 и емкость конденсатора 54 возрастает. Трансформаторыай мост автоматически балансируется путем увеличения емкости линейного уравновешивающего конденсатора 56 на необхоцимую величину.

877331

При этом стрелка 57 указывает на шкале величину плотности измеряемого газа при среднем давлении н конденсаторе 54 и соответственно изменяется величина сопротивления резистивного преобразователя 58 °

При увеличении сопротивлений резистинных преобразователей 46 и 58, резистивный мост 59 автоматически. балансируется при измененном сопро" тинлении реохорда 61. Этот мост стрелкой 64 на шкале указывает величину массового расхода, равную произведению объемного расхода и плотности. Расход газа через конденсатор плотномера 54 (фиг.6) иэ пластин

7 и 8 учитынается введением поправки в расчетную формулу.

На концевом участке щелей, между пластинами 1-5, 8-10, а также 5 и 6, 6-10, 10 и 11 имеет место нелинейное изменение давления протекающей среды эа счет выходных потерь. Поток rasa (пара) после этих плоских щелей направляется н конусную насадку !5 и затем в трубопровод, сочлененный. с датчиком фланцем !4. Пространство между корпусом датчика 13 и пластинами I! и 20 заполняется измеряемой средой через отверстия 65 (фиг.1) и находится при давлении измеряемой среды.

При движении между пластинами сжимаемой жидкости (газа или перегретого пара) за счет изотермического дросселиронания возникает увеличение объемного расхода, которое учитывается введением соответствующей поправки в расчетной формуле объемного расхода.

Шкала трансформаторного моста 35 (фиг.б) градуируется в соответствии с зависимостью объемного расхода от изменения диэлектрической проницаемости измеряемого газа, которое описывается следующим соотношением, „з/,. JJ а «QT ЪН1, llhF- К К„, 1)

V=qy где R, Т и — газовая постоянная, температура и вязкость измеряемого газа соответственно, Ь вЂ” Во - ширина и длина пластин 3 и 4; н„ средняя величина зазора между пластинами

1 иЗ(4), Р2 и Я - удельная поляризация

5 и диэлектрическая проницаемость газа при среднем давлении в каналах на стыке пластин

Зи4;

К .„ — попраночный коэффици" ент на расширение измеряемого газа! и - число параллельно включенных каналов . конденсатора объемного расхода, — попраночный коэффициент на расход газа через конденсатор плотномера.

Шкала трансформаторного моста 47 (фиг.6) градуируется в соответствии с зависимостью от величины диэлектрической проницаемости измеряемого газа, описываемой следующим соотношением, кг/м, "8 i (2) зо где Р, Е - удельная поляризация и диэлек трич еск ая проницаемость rasa при среднем давлении на пластинах7и8;

К g — попраночный коэффициент, учитывающий увеличение давления в конденсаторе из пластин 7 и 8.

Шкала аналогового умножителя 59

40 градуируется в единицах массового расхода по соотношению, кг/с:

Предлагаемая конструкция датчика массового расходомера позволяет определять величину зазоров между лластинами I и 3, 4, а также 7 и 8 (фиг.l) конденсаторов, соо тв е тс твенно, 4 2 и

43 объемного расхода и 54 плотности (фиг ° 6) электрическими измерениями, что существенно повышает точность

55 градуировки шкалы расходомера. Для этого датчик перед установкой в трубопровод вакуумируется и измеряются последовательно вакуумные емкости

13 8 конденсаторов 42 и 43 и 54 (фиг,6), составленных иэ пластин 1-3, 1-4, 7-8.

Заземленные пластины 2, 5, 9 и 10 и

20 являются охранными электродами.

В этом случае шкала расходомера градуируется согласно следующему соотношению, м /с:

1

Щ (Ь).Q Q п g К0 К

1В (4) где Ео = 8,85419 ° 10 Пф/мм — диэлект-Ь рическая проницаемость вакуума;

С и С В- вакуумные емкости проточ1В ных конденсаторов 41 (42) и 54 соответственно;

bC и С p — изменения емкости конденY саторов объемного расхода

42 и 43 и конденсаторов плотности 54 и 55 соответственно при измерении расхода.

Для технических измерений поправочные коэффициенты на расширение измеряемой среды, на расход газа через конденсатор плотномера и на увеличение давления в нем определяются по соотношениям:

77331 14 точные измерения как малых, так и больших расходов. Величина расходов определяется числом параллельно включенных щелевых каналов датчика объемного расхода и зазором между ними; обеспечиваются линейная шкала расходомера и измерения расхода в пределах всей шкалы, а также имеется возможность точного измерения пульсирующих расходов за счет малых потерь давления на датчике. весьма малого времени установления емкости проточных конденсаторов и балансировки мостовых измерителей.

При измерении периодически пульсирующих расходов с периодом, большим чем время установления показаний расходомера, погрешность измерений может достигать 1,5 и менее, т.е.

20 предлагаемое устройство обеспечивает возможность точных измерений расхода газов и перегретых паров в широкой области изменений из параметров, что непосредственно определяет режим работы технологического оборудования

25 в промышленности органического си1нтеза, химической и нефтехимической, энергетической, авиационной и др., а также в исследовательских работах. где  — второй вириальный коэффициент уравнения состояния измеряемого газа1 — коэффициент потерь давле 91( ния на входе щелевых каналов;

m — число параллельно включенных каналов конденсатора плотномера;

Н вЂ” зазор между пластинами конденсатора плотномера.

Предлагаемое устройство позволяет обеспечить точные измерения массового расхода газов и перегретых паров как при высоких избыточных давлениях, так и в вакууме (1-750 мбар); (предельная относительная погрешность может составлять 0,5 и менее), Формула изобретения

Массовый расходомер, содержащий датчики объемного расхода и плотнос$5 с ти состоящие из многопластинчатых плоских конденсаторов, включенных в плечи измерительных трансформаторных мостов, и мостовой аналоговый умножитель, причем конденсаторы датчика

40 объемного расхода расположены последовательно в проточном канале, а

его укороченные пластины установлены последовательно с охранили электродами, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений при упрощении конструкции, конденсатор датчика плотности установлен в проточном канале, причем часть его пластин выполнена укорочен50 ными и последовательно с ними на входе и выходе конденсатора установлены охранные электроды, при этом величина зазора между пластинами конденсатора плотности определяетСя

55 по формуле!

5 87 где ЯΠ— диэлектрическая про- ницаемость вакуума, С - емкос ть к онден са тора датчика плотнос" ти в вакууме;

Н„; Ь и Во — зазор между пластинами, ширина и длина укороченных пластин конденсатора датчика плотности; а зазоры между пластинами конденсаторов датчиков плотности и объемного расхода выбраны из соотношения н1! н1* арф ач, где H =6о — "— зазор между пластинами

Ял

О а конденсатора датчика .объемного расхода;

7331 16

Q и Qy - расходы газа через конденсаторы датчиков плотности и объемного расхода1

Сщ — емкость конденсатора датчика объемного расхода в вакууме.

При этом в плече трансформаторного моста, измеряющего плотность, установлен конденсатор переменной емкости.

Источники информации, принятые so внимание при экспертизе

1, Авторское свидетельство. СССР

У504088, кл. G 01 F 1/00, 1974, 2. Авторское свидетельство СССР по заявке 9 2747406/18-10, кл. G 01 F 1/64, 02.04.79.

16

877331

Составитель Н.Андреева

Редактор С.Крупенина Техред А.Бабинец Корректор А.Гриценко

Заказ 9598/б3 Тираж 705 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4