Способ определения профиля концентрации легирующей примеси в полупроводниках

Авторы патента:

H01L21/66 - испытания или измерения в процессе изготовления или обработки (после изготовления G01R 31/26)

G01N27/22 - путем измерения электрической емкости

Способ определения профиля концентрации легирующей примеси в полупроводниках, основанный на измерении вольт-фарадной характеристики МДП-структуры и определении профиля концентрации легирующей примеси расчетным путем, отличающийся тем, что, с целью расширения пределов определения профиля концентрации легирующей примеси, перед измерением вольт-фарадной характеристики к МДП структуре прикладывают через ограничивающий ток резистор линейно возрастающее напряжение до возникновения в диэлектрике проводимости от 10^-11до 10^-9(Ом·см)^-1 .

Устройство для измерения нелинейностей вольт-амперной характеристики точечного контакта // 892361

Устройство для измерения характеристик излучающего @ - @ - перехода // 890845

Устройство для электролюминесцентных измерений внешнего квантового выхода излучающих полупроводниковых структур // 886623

Способ измерения s-параметров вч и свч транзисторов // 881630

Устройство измерения электрофизических характеристик полупроводников // 873166

Способ контроля степени совершенства металлических монокристаллов // 871692

Устройство для контроля подложки микросхемы,преимущественно при анодировании в ванне с электролитом // 871260

Способ отбраковки полупроводниковых приборов // 871104

Способ определения концентрации глубоких примесей в полупроводниках // 867239

Устройство для измерения влажности материалов // 890216

Емкостный первичный преобразователь влажности // 890215

Устройство для измерения влажности в потоке // 890214

Устройство для контроля неоднородностей слоев материалов // 890213

Способ измерения малых концентраций водяного пара в газе и устройство для его реализации // 890212

Устройство для исследования углеводородных смесей // 881598

Емкостный первичный преобразователь // 881597

Емкостной датчик влажности // 873096

Емкостный датчик // 868524

Способ определения зольности угля // 868523

Устройство с кондуктометрическим датчиком // 2100802

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в устройствах контроля состава веществ, их идентификации, а также определения наличия в них примесей с аномальной электрической проводимостью