Устройство для дозированной подачи абразивной суспензии

 

Союз Соеетскив

Социалистические

Ресттублии

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВЫДЕТЕЛЬСТВУ (и 895631 (6I),дополнительное к авт.саид-ву

Р2) Заявлено 12 ° 11 ° 79 (21) 2837762/25-08 с присоединением заявки М (23) Приоритет

Опубликовано 07.01.82. Бюллетень М1

Дата опубликования описания 10. 01. 82 (51)М. Кл.

В 24 В 57/00

9вударетеекыЮ квинтет

СССР ао делам нзабретеикк н открытки (53)УДК 621..924. 1.079 (088.8) (72) Авторы изобретения

И. В. Кириченко, и В. К. Кучеров (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОЗИРОВАННОЙ ПОДАЧИ

АБРАЗИВНОЙ СУСПЕНЗИИ

Изобретение относится к области чистовой обработки деталей методом доводки или полирования.

Известно устройство для дозированной подачи абразивной .суспензии, содержащее расположенное вертикально подводящее сопло, соосную ему сливную трубку и связанный с приводом отводящий желоб, установленный с возможностью периодического контакта со струей суспензии, поступающей из подводящего сопла (1).

Известное устройство не обеспечивает достаточно высокое качество фракционного состава отводимой в зону об- т работки суспензии, Целью изобретения является повы.шение качества отводимой суспензии по составу входящих в нее фракций.

Указанная цель достигается тем, что привод желоба выполнен в виде механизма качательного движения, плоскость качания которого проходит по оси подводящего сопла и сливной трубки, при этом обращенный к соплу конец желоба выполнен по дуге, радиус которой равен радиусу отверстия подводящего сопла.

На чертеже изображено устройство для дозированной подачи абразивной суспензии, общий вид.

Устройство содержит корпус 1 с подводящим соплом 2 и сливной трубкой 3, соединенными между собой через бачок 4 и насос 5 посредством трубопровода 6. Подводящее сопло 2 соединено с тягой 7 с приводом 8 перемещения.

Устройство снабжено питающей во". ронкой 9, подающей суспензию в зону обработки. Внутри корпуса 1 установ лен отводяций желоб 10, жестко закрепленный на оси 11, смонтированной на боковых стенках корпуса 1. Ось 11 соединена с приводом.12 качательного движения, выполненным, например, в виде эксцентрика, жестко эакреплен 895631

15 ного на валу электропривода (на чер" теже условно не показан).

Конец желоба 1О, расположенный вблизи (напротив) сопла 2, выполнен по дуге с радиусом, равным радиусу отверстия сопла 2. Сопло 2 и питающая воронка 9 могут быть снабжены средствами термостатирования 13 и 14, например водяной рубашкой, соединенной трубопроводами с термостатами, в о частности, типа TC-24A (условно не показаны), Устройство работает следующим образом.

Абразивную суспензию заливают в бачок 4, из которого с помощью насоса g ee перекачивают по трубопроводу 6 в подводящее сопло 2, откуда она вытекает струей и вновь попадает в бачок 4. Основная масса суспензии циркулирует по этому пути, а часть ее отбирается отводящим желобом 10 из струи и направляется в питающую воронку 9, а затем — в рабочую зону обработки, например, на полировальный стол станка для обработки полупроводниковых пластин. При этом желоб 10 coBBpUJBE. качательное движение в плоскости, проходящей по оси сопла 2 и сливной трубки 3, вместе с осью 11, качающейся от привода 12.

Во время опускания конца желоба

10, имеющего форму дуги, вниз из струи суспензии отбирается ее часть

35 по секторному сечению, и поэтому в части содержится пропорционально

1 как обогащенная твердыми компонентами суспензия, так и обедненная.

Пропорциональный отбор обеспечивается, во-первых, за счет быстрого ввода и быстрого вывода отводящего желоба из струи и некоторой задержки его в положении наибольшего отбора суспензии (что достигается экспериментальным путем в процессе настройки); во-вторых, благодаря тому, что кривая распределения плотности суспензии симметрична относительно оси сопла в любом продольном сечении, поэтому при выбранной форме конца же-.. лоба в последний попадают строго пропорционально как обедненные, так и обогащенные области суспензии.

° Формула изобретения

Устройство для дозированной подачи абразивной суспензии, содержащее расположенное вертикально подводящее сопло, соосную ему сливную трубку и связанный с приводом отводящий желоб, установленный с возможностью периодического контакта со струей суспензии, поступающей из подводящего сопла, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества фракционного состава отводимой в зону обработки суспензии, привод желоба выполнен в виде механизма -.à÷àòåëüного движения, плоскость качания которого проходит по оси подводящего сопла и сливной трубки, при этом об" ращенный к нему конец желоба выполнен по дуге, радиус которой равен радиусу отверстия подводящего сопла.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР 99930, кл. 8 24 B 57/00, 1953.