Способ обработки электровакуумных приборов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски к

Социалнстичесиих

Рес ублии (и1898536 (6l ) Дополнительное к авт. саид-ву— (22)Заявлено 07.12.79 (21) 2848893/18-25 (51)M. Кл.

Н 01 > 9/04 с присоединением заявки At (23) Приоритет 02. 02 ° 79

3ЪеударетеенныИ квинтет

CGGP ао делам изобретений и открытий

Опубликовано 1 g, 01 . 82, Бюллетень М 2

Дата опубликования описания15.01.82 (53) УДК621.38 (088.8) (72) Авторы изобретения

А.Б.Киселев и Н.И.Гурьянов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ

ПРИБОРОВ

Изобретение относится к технологии изготовления электровакуумных приборов (ЭВП), в которой предусмотрена или целесообразна обработка откачиваемого прибора с напуском водорода в откачиваемый прибор.

Такая обработка позволяет провес" ти дополнительную финишную очистку внутренних поверхностей прибора от загрязнений, что приводит к повышению стабильности параметров (в первую очередь параметров катода на сроке службы) . Кроме того, обработка прибора с напуском водорода позволяет в ряде случаев сократить вре1S мя обезгаживания приборов на посту.

Известны способы обработки ЭВП с напуском водорода в откачную систему, когда водород напускается непрерывно 111, "разбавляя" атмосферу откачиваемых газов, или порциями j2) периодически "вымывая" выделяю щиеся газы.

Эти способы широко распространены, но они не обеспечивают достаточную воспроизводимость эмиссионных параметров катодов, поскольку напус.каемый водород расходуется, главным образом, на очистку откачной системы и лишь частично на очистку откачиваемого прибора, при этом продукты реакции (водяные пары, летучие окислы) могут попадать на обрабатываемый катод.

Известны способы обработки ЭВП путем пропускания из источника водорода сквозь прибор на этапе откачки.

Прибор специально приспособлен для такой технологии, имеет два штенгеля: сквозь один из них водород вводится в прибор, сквозь другой откачивается, очищая таким образом сначала поверхности прибора, а затем уже поверхности откачной системы (3 ).

Воспроизводимость эмиссионных параметров катодов обрабатываемых приборов возрастает, но на уровне вы 898536 соких параметров она остается недостаточной, т.е. полностью очистить прибор удается не всегда.:.(р;.;;. ;ого, наличие двух штенгелей увеличивает габариты прибора и, соответственн снижает процент выхода их по гер .1етичности, увеличивает стоимость прибора, расхо: материалов и т.д. Цля осушествления этого способа необходимы откачные посты со специальной конст- 1О рукцией гребенки,. имеющей по два гнезда под каждый откачиваемый прибор; штангели от прибора удлинены и изогнуты, что увеличивает сопротивление вакуумпровода и, соответственно, удли 15 няет время откачки, Затруднена также напайка и отпайка прибора на посту.

Приборы, имеющие только один штенгель, обрабатывать известным способом нельзя.

Целью изобретения является повышение стабильности эмиссионных параметров прибора и упрощение технологии откачки.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу обработки ЭВП путем пропускания водорода из источника водорода сквозь прибор на этапе откачки источник водорода вводят в прикатодное пространство прибора и выводят из него после .окончания обработки.

Предлагаемый способ осуществляется на крупногабаритных приборах,тех; вЂ. ло -ия изготовления которых преду;.,атривает бесштенгнельную ("камер;-.ую откачку,, вводя генератор водоприкатодное пространство обраб-.,==; — гого прибора, которое на40 ходи ;-,,е::.ду катодом и ближаишим электродо т него, а затем извлекая генератор после окончания обработки.

Осу " е ..:;....... =длагаемый способ мо.ж.-.::,; —...:::,-...,;. . вом предвари тел ь45 ,-.л-о насыщения деталей катодного узла водородом„, который, выделяясь при термической обработке узла, способствует очистке прибора в целом.

Однако такое решение не всегда оптимально из-эа плохой управляемости процессом и трудностями контроля (в дсталях узла трудно;.:=-пасти количество водорода,, достаточное для оорабо;ки прибо=а.,деление водорода 55 во времени спад--„=-., не обеспечивая необходимого pc:.".:; га очистки, а после окончания == .зботки неизвестно сколько водорода еще осталось в деталях узла), Наиболее предпочтительным является такое осуществление предлагаемого способа, когда водород впускают в прикатодное пространство через открытый конец трубки, соединенной с источником водорода, ко-ворую вводят в прибор на период обработки через откачной штенгель и выводят после проведения обработки.

Ь данном способе значимость операций.очистки поверхностей различна и последовательна — сначала и в большой степени очищается прикатодное пространство, затем и в меньшей степени — другие электроды и оболочка прибора и наконец — вакуум-провод откачной системы.

При использовании напуска водорода сквозь трубку удалось обрабатывать с лучшим качеством приборы, имеющие всего один штенгель, т.е. распространить технологию с "потоком" водорода на приборы, для которых такая технология не предназначена. Таким образом, несущественно изменив скорость откачки (заполнением части пространства штенгеля), можно расширить номенклатуру приборов, обрабатываемых по прогрессивной технологии, а в при. борах, использующих ее, снизить габариты и улучшить качество, удалив второй (ставший ненужным) штенгель.

Выполнение требования - впускать водород в прибор именно через открытый конец трубки, позволяет легко управлять потоком водорода, расположив нагреваемый диффузионный натекатель за пределами гнезда гребенки.

Пример, Предлагаемый способ опробовался на модернизированном откачном посту. Суть модерниэации заключается в использовании водородного натекателя, состоящего из трубки, открытым концом вводимой в прибор, а другим укрепленной на основании нагреваемого элемента., сквозь который пропускается сетевой водород.

Посредством сил ьфона трубка может перемещаться внутри штенгеля откачиваемого прибора.

Способ осуществляется в следующей последовательности.

Устанавливают прибор на пост. При этом трубка натекателя находится внутри гнезда гребенки и не мешает напайке. Длина штенгеля прибора выбирается

898536

Формула изобретения

Составитель А. Сенчихин

Техред A. Дч Корректор Л. Шеньо

Редактор И. Петрова

Заказ 11961/7.1 Тираж 757 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ЛПП "Патент",г. Ужгород, ул. Проектная, 4 такой, чтобы при вдвинутой трубке ее открытый конец попадал в прикатодную область прибора. Включают насосы и проводят откачку по заданному режиму.

Сжимают сильфон и вводят трубку своим открытым концом внутрь прибора, в его прикатодную область. Включают нагрев натекателя водорода и устанавливают поток (в нашем случае контроль

его осуществляется по заранее програ- ® дуированной зависимости потока от мощности нагрева). Осуществляют обработку прибора (с прогревом под печью, обезгаживанием электродов, активированием и т.д.) согласно технологичес- 15 кой карте на прибор. Разжимают сильфон, удаляя трубку из прибора и штенгеля. Производят отпай прибора с поста.

Предлагаемый способ позволяет повысить воспроизводимость эмиссионных параметров от прибора к прибору и увеличить их срок службы при отборе тока повышенной плотности.

Способ обработки электровакуумных приборов путем пропускания водорода из источника водорода сквозь прибор на этапе откачки, о т л и ч à ешийся тем, что, с целью повышения стабильности эмиссионных параметров прибора и упрощения технологии откачки, источник водорода вводят в прикатодное пространство и выводят из него после окончания обработки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Подкопаева Н.Н. и др. Влияние среды в процессе разложения карбонатов на свойства оксидных катодов.

"Электронная техника", сер. 4. 1973, вып. 1, с. 76-87.

2. Патент Великобритании IF852750, кл. 39(1), опублик. 1960.

3. Киселев А.б. и др. 0 применении водорода при откачке ЭВП с оксидным катодом. "Электронная техника", сер. 1, 1977, с. 80-89 (прототип) .