Испытательные тесты для контроля микроскопов
Pk 9!875
Класс 42h, 35))
СССР
®
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИР
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Ф. Л. Бурмистров
ИСПЫТАТЕЛЬНЫЕ ТЕСТЫ ДЛЯ КОНТРОЛЯ МИКРОСКОПОЗ, 3())н)Г)()IIO 1 ) октя»ря 15) (Г) Г.:!c),Х (0,)7;);) я Го« "(x))I.! T (. (:С."
ПРЕДЛаГавтСЯ ИСПЫтатЕЛ ЬНЫЕ ТЕСТ! ):(Г)5! К()птРО Ici Х! ИКР()(КОНО!3.
ВЫПОЛНЕННЫЕ В ГП!ДЕ Снст(.Х(1! IIITj)IIXO)3, НаНЕС (IIILIX На I PO.)j) )
ОT. I ИЧ I I(. ОП(!СЫВ сl(.. )I 1>I < 1(С!iЫТcl l Е, I>I(I>i Х Т(СТО!3,;) 151 К()1 1 ТРО 1 5! Х(I! c(j)()
CIiOII0f3 наКЛ!ОЧаЕТС5! В ) 0. CI, IT0 01!ТН>)Ее Ксl)! ТОЛ!i(!i!1<1 1)С(. llj pltXOi) 0.)i(Нсl КО!>с) 1! ОТ 1ИЧ аСТС51 О i OI! 1 I I ×(1<0 f1 Т(). 1 (i(ii! I j>J I i >Ро >(Е)К ) Т((1>, li I) 0:! Гil !еСкая ТО;!(Инна каЖ:!0! 0 IIIÒp!IX 1 (3(III(l, !1!Ull;I !!СреХ(i!!I(,II но l)CCII (Г()
Д;1 И!! С, 1(ЛИ ЖС, !3 СЛ>, Ч с)(1)Ы I)0,11! C(i)I Я Т С СТO!3 > Вlt;c(P ".C(10ЛО:К(1! I IЫ Х
1 Н а Х . >1 а Т I I 0)cf Н 0 Р Я Д!" (I I O, 1(l l, С 0 C (, . I I И (> l i 0. 151 Т(С! а П Х! (> Ют Р <) ЗЛ Н Ч П > 10 ()!! тич(cI() è толп())н)л ! с)1(И(. ИСП)>)ТаТЕ Il>Hf>l(130(ТI>I;l
1 )) >>(СГ)3(C Ã!) JI.! <1 P I II!>I (!! (ТОН .(, 15i Il ), lif К l l !! К()НТj) 0, )Я () I) 30 !)l I Х Хl )>!,P((. 1 0li0I3 Н Ilj))IC! IOC00;i(.Ili; Il.
j (с1 (!) Иl . Н:30 ) !рс))К(1 1 (Н ЫТа 1 " 1!.1 >: " (("> (. (>)()(">>01! "1 i j) fi %()13, >) <)С— !
1О !ОЖ(lilil>l) РУ)(на Н il0 " -)(Р" !I!! IIРан I(1115! . !i
C f1(."ТЕХ(ОЙ jj jTpll. ОВ, j) cl(. I IOЛО:! (. Нll i:: Х 1 () (Н 1)<). Н (.)!10! () I I i) Il l> c) l>Л Н!))j; !i )
Ы(! Г. — — ТССТ С C IIC I i c(0 I II ТI) Н ХО(3, j) ñl() 10. )(, ЖЕI! Ill >f (i) !1;;: X. >" Тl. 0. c!,1()Р i. кс.
j (CÒ ((()(,., j ) 1l)l((1 а, )(Х!(Il I i ., Нl>1110,! I>(!1! l l>I . !И,, ("! I((1 (\)! I
IIlTj)IIX0Il О:(НнаК0130 ) (. Ilji! Ic!1!. НО Р(IC!10ËO)(Oil!i!;iX I !)) I;IIC > 11() I 1! i ре:)(Н <) Н!рс). 3.!(il ll5! .,i li Ill lip! i l К((;Т «, lcе.» Н c, 1 .; ->Г)С. c c, Н л. .1(Н 5! с " я ч Ге):.,Iс Г;:;(:; к;)й llj)()l p. Г, !Иl., е(": I ()ill, ) )I,я,; ", (::.. н:,>1)нс. 1)<»
С аГIC!>IC (. Гc))ЯI(В И)Н(Е :) Гjl(i (ЛНН()(>1. j!11 i)!)Х()Н, <)! 1 ;: !Е,(ак i 0,!C(!КН, К. то )!! Х OT () "110ÃO КОН нсl .(j)) I (!)I C jl",). (Н 5)е I <51 !IË, 1!! ii0 (ф:! >cc,:l! >i:-„ I:;:! ) . с) II!! p!!:I-. НI 1!)! Х>)13 ОT Гp". !! Ы i; Г) 1:li i 33!(! i:. (, C!I:3 ):: (Л)1(i,, -,, К )>, П j)()i J)i ((Ii. .. > (() (ф > i . ) >! ())КЕТ ()Ы) (> (, >)!!(., Ili(! i )) )3) >(ll! Х<я, . :0! . (). к !. » Эт<> )i < л(, < а<. !)Се К";! >Рc) i НКН ДО,!ic Н! 0)» С!» 0,(но <););) -: .:(!),i il (. (.: (° ). (:, j: -, i C 0: I ГО, lil(! i!i!>I, ) а l!CC ТC Ò(1 Х i) cl С - Т05 I i !i :() . . "." : . ".. i : (i .. нс> коl><)!i t1 i I I p I III!>l !ра 131 1 i>I !! I! p 1 I!le !(01 р llkcf ll ° ()1 !;13<1 jj) 1 1.(i :. 1(>j)!3,! :! (((! И) . j ) сл)ж l! l (;! я кон ) p0 15! (j)<, 301!!) I 0 к()н тj>, ic Г;) О, ) > :: Г к" ) :> », ) -. )! ) . .
Jgo () l 870 увеличений п "раз(4ай разрешающей способности, второй тест (фиг. 2) служит для п(эОBÐpl(è ОГlтпческОЙ толп(инl>1 фазОВОЙ пл3стинк(1 ilзГОтовлснного м!(кроскопа (каждыЙ Объектив имеет cl3010 Г!)упп) шт})и ков), 3 тре.кийжевт (фиг. 3) служит для наладки фазовы.;:)!Ик!)Оскопов It приспособлений 1(ри пх эксплуата((пи.
Одинаковая сп>тпчсска)1 толщина на элементак тестов первого и треп его полу>(ается*травлением слабой (не выше 5"о) плавиковой ((ис;>ОтоЙ и.>(и Bhlflle:(3«иванием слаоыми p3cTBop3ìè дру(их l ис;!От (азотной, серной, уксусной и;(p.), а фазовой клин на штри.(ак второго ТссТ3 получается полированием с изменением Времени полировки
IIcl3t)Ilo оТ копна к конпу. ! р))влснис, Выше t;(«if«3111(c и полирование производятся по рисункам пз металлического )<рома, конденсированного В вакууме !ш ф ОТ О B l ) 3 ф И Ч С C l(110 11:) O () P 3 i(< C I I f I H T C C I O B f l cl . ; Р О М И >Р О В а Н Н 1>! >. С, 1 0 SI X К ();!, 101! Ов Il;III смог(..дру! II(. слои (Воск II ))азли>IHBI(Гр; пты) llpll необходимом длитс;п,ном травлсн:ltt и осооенпо выпгслачивапи(t îl erato! от с«кла, а постепенным опусканием 13 к!пелоту фазового 1<;li!II;1 lie (п)лу I3ЮтСЯ II3-Зcl JIPIICTI)IIЯ КаПИЛЛЯРНЬ(X CIIЛ Н3 СМаЧ(ШаСМОСГВ CTÅÊË3 В
\ ЗК(!. . I I РО .>(Сif(X! Ка. : t((BЖ 1 \ (IIÒP I IX 3 t>I I I. ) (,P) I ИС !>(Е ()ЛЛ!>1,",. 1 и IIO. !If P(>!)а . пия фазового клина также н(гOд»тся пз-за исдостато>п(о!! Нх тверДOCTI I.
1 Г) С Д .">I (T П 3 0 () 1) С 1 С Il И и
l . И (I I >1 ;1 1<Г гl h l (hl (T (c J>I д. 1 и к О п т P 01 и !> I f к P o c t(o f I G B, ! l>(1! 0 л н с l IИЫС l ВПДС СИСтСМЫ ШтРИЫ)ВК Ilcl(ICCCII(IBIX Ii3 ПРОЗРа«НУ!О ОСНОВУ И
P3CI10Л0ЖB1!BhlX Г()УНП3:)!И IIO ICTB(РЕМ 113IIPBBЛЕНИЯМ В КЗЖДОй
Г!) > Ill((, 0 !.:1 П 3 Ю П(И С С и (С<1, ЧТО, С ((С,(I>10 KOIITPO,»1 фазово!.О
voIiTpflcT3 В ф))зов(1:< м((кpÎc!(o! Iclx и фазовык приспособления(, G!T lI (СC К)1» Т();! >! (Пп c(ВС(> : ПIТP II OВ В!>1!1();П!С!((1 ОДИ 1(31 Оноf! 1! ОТ;(11>(ПОИ
ОТ 0ll! И (СС1:,О!! 1 ОЛ Ппи(Ы П PO (С К>Л(КОВ.
2. Ви loll«ìñll(llll< I спыт п(л iif tx тест(ГВ для I
П):0) P(I >f1(). IO <)CIIO3) lt >Р(1С ПО 1ОЖСН П(>! > ГP), II II 3Ì((О (IIOI О Пи П)) (11)ЛСП ПЯ, О !,1 Н 1 cl IO tll ((. С и 1(. . >1, >Г(O С 1(С.II>10 1(POBPPI(ll OI!TIIЧЕСКОЙ ТОЛИ(illlhl (J) fI30i3OI I f;(3 CTI I I (!
It, (ав!!() Из.;!(>и я lон(сll(. » 1 .О B< (:(с o J 1(и((.
,-), Видо(!Змспсппс ilc !Вггатсл(и(hix Тестов;(ля контроля микросl(0
110!3 по )I. 1, BI>i пo. И(IIII I>1. В 13 I I fc P3ñïî 10)к(>н Il hix 1! 3 I!P0ç)) 3 liloil осl!01 Р 1 ill;! XXI el) 11<)XI ПОП» (КС НО.I Il, ОДII!131<(;HO!(П IИ Pc!311011 ГСО>(Е1 Рпческой фор >!hi, о т л if и lo I!I с c я т(м, Г! о, с пслню IIH 13дк;(фаз<)-!
,!>Ix XI I! l(Poet«)1l0 I If (l) l:loBI>I x 11)! I fc1locoo,(сп пи Il P I I аксп;1) clTcl tf! 111 соС(. . (111!(> ПОЛ и Т<С 13 It (СЮТ Ра ЗЛ((« t tX 10 Оi(i 1! ЧC CКУIО Т()Л П(ППМ,, ll1II g ) Я С Д
В °
° ° а а и а
° (° °
° °
° °
Э
0 а а
В а о и P
В с о е
О °
В а
° В а
Э 0
° а
0 0
В О с с °
В И
° °
° е
° °
° °
° °
° °
C °
О °
° 4
° В
° °
° О
° 4
4 °
В °
Ф °
° 4
6 4
° °
° 4
В и
° С
6 C
° °
6 °
° °
° °
° °
В °
C В
° В
° а
0 а
Ф ° ь
° ° й
6 а
I ° а с а
Ф 1
° а
0 а
4 1 е
Ф °
° °
° °
° О
° В с
° °
° C
4 °
0 Ф
4 °
4 4 с иг /.;(«««««;!",)
= Р,:ф ьс, ),).
Фиг 2 «««!!!!! «««««!! !! «i««!ill! ««««««I! Ill ««««« III! б/у Г/у //, ф
«««IIIIII ««««««IIII!Il «««IIIIIII «««««!!!!!!! «««««««I! IIIII бб/ б//р бб/ гб —= — — бб//р >i«««!IIII!II ««««««««llllIl! ««««i«ill!Ill ««««««i«!llIIIl ««««««««!!!!!!!!! бб// бГф бб// "Ф, У 48/ / /бФ -====: — Р . 66 Ъ = 7Ъ::==== k
° °
° °
° °
° °
° °
° °
° °
° °
° °
Э °
° °
° °
° а
° °
° ° а °
° ° а ° а °
° °
° °
И °
Э °
° °
° °
° с
° В
° а
° а
° °
° 1
r a
1 ° а °
° ° а °
° а
4 °
Р °
° °
В 4 а ° е э
° °
° 6
° °
° а
° °
° °
° Э
° °
° В
° °
4 °
Э
° ° а
° °
° °
° °
° и и В
В °
В
° °
° °
° °
В
° °
° °
° ° а
° °
° ° ° ° ° ° ° ° а
° ° ° ° ° ° ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° В ° °
° ° ° ° ° ° ° ° °
° ° ° Э ° ° 4 ° ° °
° ° ° ° ° ° ° 1 В
° ° ° ° ° ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° ° ° "1
° ° ° ° ° ° ° ° ° °,1., ° (° ° ° ° ° ° ° а ° ° ° ° ° ° ° ° °
° о ° ° ° ° ° ° ° а ° ° ° ° ° ю ° ° а
° ° ° ° ° ° ° ° °
° ° ° ° В ° ° ° ° °
° ° ° а ° ° ° ° °
° ° В В В ° ° ° ° °
° ° ° ° ° В ° ° °
° ° ° ° с а ° ° ° е д
° ° Г а ° ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° ° ° а ° ° ° ° ° ° ° ° В а о ° ° ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° ° h
° ° ° ° Э ° ° ° ° 4
° ° ° a ° ° ° ° ° ) 1
° ° ° Р ° ° ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° ° °
° ° ° и ° ° ° \ ° °
° ° ° ° ° ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° ° ° °
° В ° ° ° ° В ° °
° ° ° ° ° ° ° ° ° °
° В ° ° ° ° ° ° °
В ° ° ° ° ° ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° ° ° 7
° а ° ° ° а ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° ° °
° ° В ° В ° ° Э ° °
О ° ° ° ° ° 6 ° °
° ° ° ° ° Е ° ° Е °
4 ° ° ° ° Э ° ° °
° ° ° ° ° ° ° °
° ° ° ° ° °
° ° Э ° ° ° ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° ° ° 1(° ° ° ° ° ° ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° й
° э ° ° ° ° ° ° °
° ° и °
° ° ° ° ° ° ° ° °
Ф ° ° ° °
° ° ° ° ° ° ° ° В °
° ° ° ° а ° ° ° 0
Ф ° ° 4
4 ° ° 4 Ф ° 6 °
° ° ° ° В ° 0 4
4 4 ° ° и ° ° Ф °
° ° ° И ° 4 °
° 1 ° ° И ° °
° О ° э а ° ° 0 е а ° е ° и ° . "° °
° ° Ф 4 ° °
° ° ° ° ° °
C °
° ° Е ° ° Е с a ° 1 ° в а ° с а °
P Ф В
Э C 4 В 1 б Ф Ф
4 ° Э Э
° ° °
В °
6 °
