Способ определения толщины оксидных пленок

 

:й 99388

Класс 42b, 11

СССР д! Qgj «g

П 4 э « «° ° «» 1jlj„1 f г, » (° « р " * ° «С«

0llHCAHVIE PI306PEtE@

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

В. П. Борзов

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК

Заявлено 22 октября 1952 г. за Х 07446, 448750

Опубликовано в «Ьюллетене изобретения» М 11 за 1954 г.

Предметом изобретения является способ определения толщины оксидного покрытия на металлических сплавах, отличающийся от известных способов тем, что толщина оксидной пленки определяется сравнением интенсивности спектральных линий химического элемента, введенного в эту пленку, с интенсивностью спектральных линий осповнсго элемента оксидированного металлического сплава.

Предлагаемый способ состоит в том, что в поры оксидной пленки вводят, например, путем окунания, паполнитель, представляющий собой соль какого-либо химического элемента, пе содержа1цегося в оксидированном сплаве и имеющего удобные спектральные линии в используемой области спектра (например, соли бария, стронция и др)

Затем измеряют отноа тельную интенсивность пары спектральных линий, из которых одна является линией элемента, входящего в состав наполпителя, а другая — основного элемента сплава, EIB который нанесена оксидная пленка.

После этого по градуировочному графику. построенному по 3 — 4 эталонам, охватывающим интервал встречающихся толшин оксидпой пленки, спределяют толщину этой пленки.

Для возбуждения спектра оксидного покрытия могут быть применены искровой и дуговоп разряды небо. jbIIIOil мощности от стандартны х генераторов.

Предмет изобретения

1. Способ определения толщины оксидных пленок на металлическ1 х сплавах, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что пленку насыщают солью элемента, не содержапюгося в оксидированном сплаве, и определяют толщину пленки по интенсивности спектральных линий этого введенного в пленку элемента.

2. Прием выполнения способа но и. 1, отличающийся тем, что интенсивность спектральных линий введенного в пленку элемента определяют сравнением с интенсивностью спектральны., линий основного элемента сплава, на который нанесена пленка.

Способ определения толщины оксидных пленок 

 

Похожие патенты:

Фотометр // 49362

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости

Изобретение относится к вспомогательной аппаратуре для спектральных приборов и предназначен для измерения расстояний между спектральными линиями (далее СЛ) в единичном спектре и между СЛ и интерференционными полосами (далее ИП), расположенными в смежных спектрограммах, спектроинтерферограммах протяженных длин (3 м и более)
Наверх