Токосъемное устройство для контроля электрических параметров микросхем

 

Союз Советскмк

Соцмапмстмческми

Республик (112., К АВТОРСКОМУ СВИЯЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 25.05. 79 (21) 276о378/24-07 с присоединением заявки М— (23) Приоритет—

Опубликовано 15.02.82. Бюллетень ме 6/

Дата опубликования описания 1 7. 02. 82 (51)М. Кл.

Е1 01 Н 29/04

Гаоударствеииый комитет

СССР

IIo делам изаоретеиий и открытий (5Ç) УДК 621. 316. .542(088.8) Д.Е, Михайлов, Е.В. Никольский и А.Б. ивчиков--! (72) Авторы изобретения 1, . с

В инст тут связи:-Ленинградский электротехнический им. проф. N.A. Бонч-Бруевича (71) Заявитель (54) ТОКОСЬЕМНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ

Э1!ЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ МИКРОСХЕМ характеристик.

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для контроля электрических параметров электросхем.

Известно токосъемное устройство для контроля электрических параметров

S микросхем, содержащее токоподводящий элемент, взаимодействующий с контактной площадкой микросхем.и выполненный в виде иглы, изготовленной из

IÎ бронзы, которая с некоторым усилием устанавливается на контактной площадке (! 1.

Недостатком такого устройства явля ется нестабильнос ть к онтак тных

IS характеристик, обусловленная нестабильностью контактного нажатия, притуплением иглы, образованием царапин на контактной площадке, наличием

Окисных пленок, как на самой игле, так и на контактной площадке и т.д.

Целью изобретения является обеспечение стабильности контактных

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве, содержащем токподводящий элемент, взаимодействующий с контактной площадкой микросхемы, указанный токоподводящий элемент выполнен в виде герметичного сосуда с капиллярной трубкой,на конце, заполненного жидким металлом, а контактная площадка микросхемы покрыта . пленкой пироуглерода.

На чертеже представлено конструктивное выполнение устройства.

Устройство состоит из токоподводящего элемента, выполненного в виде герметичного сосуда 1 с трубкой капиллярного сечения на конце. Сосуд

1 заполнен жидким металлом 2, в которьп": погружен своим концом электрод 3, другой конец которого подключен к измерительной аппаратуре.

Давление в сосуде 1 регулируется любым извесным способом. Жидкий металл 2 взаимодействует с контакт905968 ной площадкой 4 микросхемы через пленку пироуглерода 5, Устройство работает следующим образом.

3 исходном состоянии жидкий металл 5

2 полностью находится в капиллярной трубке сосуда и контактная система разомкнута. Для замыкания системы увеличивают давление в сосуде с помощью устройства .для регулирования 10 давления. При этом на конце капилляра образуется капля жидкого металла, с помощью которого осуществляется электрический контакт с контактной площадкой 4 микросхемы через защит- 15 ную пленку пироуглерода 5, При этом ток течет через контактную площадку

4, жидкий металл 2, твердометаллический электрод 3 к контрольно-измери тельной аппаратуре. 20

После снятия необходимых электрических параметров уменьшают давление в сосуде 1, капля втягивается в капилляр, и контактная система приходит в исходное состояние. 25

На конце капиллярной трубки в месте непосредственного контакта жидкого металла с атмосферой образуется окисная пленка, которая разрушается в момент контактирования с площадкой микросхемы за счет увеличения площади поверхности капли, что приводит к контактированию через чистый жидкий металл. С другой стороны, пленка пироуглерода, которая наносится в вакууме на контактную площадку микросхемы, не позволяет окисляться последней и предохраняет ее от химичес— кого взаимодействия с жидким металлом. Совокупность указанных признаков позволяет осуществлять неразрушающий контроль микросхем и обеспечить стабильность контактных характеристик.

Формула изобретения

Токосъемное устройство для контроля электрических параметров микросхем

t содержащее токоподводящий элемент, взаимодействующий с контактной площадкой микросхемы, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью обеспечения стабильности контактных ха рактеристик, токоподводящий элемен выполнен в виде герметичного сосуд, с капиллярной трубкой на конце, заполненного жидким металлом, а контактная площадка микросхемы покрыта пленкой пироуглерода.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Смирнов В,И., Иатта Ф.!9. Теория и конструкция контактов в электронной аппаратуре. И., "Советское радио", 1974.

h NÎíï pþëüèðU5iYPPQwpëüíî аппаратуре

Бу ноя

Составитель A. Голосов

Редактор Т. Веселова Техред А.Бабинед Корректор Л. Бокшан

Заказ 388/69 Тираж 757 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР < по делам изобретений и открытий !

13035 Иосква Ж-35 Раушская наб. д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4