Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей

 

Московское ордена Ленина и ордена Трудового Красного

Знамени высшее техническое училище им. Н.Э. Баумана (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ВЫПУКЛЫХ

СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, предназначено для .контроля формы выпуклых сферических поверхностей, и может быть использовано преимущественно в производстве, занятом изготовлением крупногабаритных оптических деталей.

Известен интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей линз большого диаметра, содержащий монохроматический источник света, осветительную систему,. светоделитель объектов, компенсатор, сферическое зеркало и регистратор интерференционной картины 13.

Недостатками известного интерфе-. рометра являются сложность конструкции, обусловленная наличием больmoro количества оптических элементов, а также снижение точности контроля за счет ошибок формы неконтролируемой поверхности линзы и,неоднородности стекла, из которого она изготовлена.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является интерферометр

5 для контроля формы выпуклых сферических поверхностей, содержащий монохроматический источник светй, расположенные последовательно по ходу его лучей осветительную систему, светоделитель, объектив, выпукло-вогнутую менисковую линзу и регистратор интерференционной картины, оптически сопрягаемый через светоделитель с контролируемой поверхностьюГ2)

15.

Недостатком известного интерферометра является сложность конструкции,. обусловленная наличием объектива, диаметр которого превышает диаметр контролируемой поверхности.

Цель изобретения — упрощение конструкции интерферометра.

Указанная цель достигается тем, что менисковая линза выполнена поло911144

3 жительной и на обе ее поверхности нанесено светоделительное покрытие.

На чертеже приведена принципиальная схема интерферометра для контроля формы выпускных сферических поверхностей.

Интерферометр содержит монохроматический источник I света, расположенные последовательно по ходу его лучей осветительную систему 2, све- 10 тоделитель 3, выпукло-вогнутую менисковую линзу 4 и регистратор 5 интерференционной картины, Регистратор

5 оптически сопрягается через светоделитель 3 с контролируемой поверх- Is ностью 6, ориентируемой концентрично вогнутой поверхности менисковой линзы 4.

Менисковая линза 4 выполнена положительной, а на обе ее поверхности нанесено светоделительное покрытие.

Интерферометр работает следующим образом.

Источнйк 1 и осветительная система 2 формируют сферический волновой фронт, который проходит светоделитель

3, преломляется выпуклой поверх. ностью менисковой линзы 4, последовательно отражается от светоделитель-.. ных, нанесенных на ее вогнутую и выпуклую поверхности, и распространяется по нормалям к вогнутой поверхности. Вогнутая поверхность меннсковой линзы 4 является эталонной, а нанесенное на нее светоделительное

: 35 покрытие делит падающий по нормалям . к этой поверхности волновой фронт на две части.

Одна часть отражается от вогнутой поверхности менисковой линзы 4 и представляет собой опорнйй волновой фронт, другая часть проходит эту поверхность и представляет собой рабочий волновой фронт, который падает

4 по нормалям на контролируемую по" верхность 6, отражается от нее и ннтерферирует с опорным волновым, фронтом на вогнутой поверхности менисковой линзы 4. Получаемая интерференцн» онная картина. несет информацию об ошибках формы контролируемой поверхности 6 и фиксируется регистрато» ром 5.

Нанесение светоделительного покрытия на поверхности .менисковой линзы, выполненной положительной, позволяет упростить конструкцию интерферометра за счет исключения объекта.

Формула изобретения

Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей, содержащий монохроматический источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей осветительную систему, светоделитель, объектив, выпукло-вогнутую меннсковую линзу и регистратор интерференционной картины, оптически сопрягаемый через светоделитель с контролируемой поверхностью, о т л н ч а ю шийся. тем, что, с целью упрощения конструкции, менисковая линза выйолнена положительной и на обе ее поверхности нанесено светоделительное покрытие.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

l., Авторское свидетельство СССР

Ф 448347, кл. G 01 В 9/02, 1972.

2. Коломийцов Ю. В ., Духонел И.И.

Бесконтактный интерференционный метод контроля сферических поверхностей линз. "Оптика н спектроскопия", 1956,т.l, вып. 1, с. 94-10l (прототип } .

911144

Составитель О. Фомин

Техред Е.Харитончик Корректор В. Синицкая

Редактор Н, Рогулич

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 1099/22 Тираж 614 Подписное

ВНИИЛИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5