Компенсатор аберраций для контроля качества оптических систем
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
< «928292 (61) Дополнительное к авт. саид-ay(22)Заявлено 18. 06. 80 (21) 2«41795/18-10 с присоединением заявки М (23) Приоритет (51)М. Кл.
G 02 В 27/00
Ввударетееииый квиитет
СССВ ае делам взабретеииХ и втирыткХ
Опубликовано 1 5. 05, 82. Бюллетень Рй 1 8
Дата опубликования описания 15.05.82 (53) УДK 535. 317 (088.8) (72) Авторы изобретения
Н. С. Шандин и Д. Г. Пу
«
Московское ордена Ленина и орденка Трудового Красного
Знамени высшее техническое училйще "им..Н.3.Баумана, » !
Ф (71) Заявитель (54) КОМПЕНСАТОР АБЕРРАЦИЙ ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА
ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ
Изобретение относится к оптическому приборостроению, а более конкретно - к компенсаторам аберраций, которые йспользуются в интерферометрах, теневых и других устройствах при компенсационном методе контроля оптических систем.
Известны компенсаторы аберраций, используемые при контроле качества асферических поверхностей, двояко" выпуклых линз, исследований оптических неоднородностей, состоящие из двух линз (13.
Однако двухлинзовые кочпенсаторы предназначены для исправления аберраций некоторого определенного диапазона параметров контролируемых оптических систем, и для каждого конкретного случая контроля компенсатор должен занимать определенное положение в контрольном устройстве как по отношению как к источнику света, так и к контролируемой оптической системе.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности является— компенсатор аберраций для контроля качества оптических систем, содержац«ий,отрицательную и положительную линзы, образуюцие афокальную систему 21.
Недостатком устройства является то, что для получения автоколлима16 ции при контроле качества оптических систем изображение источника, построенное компенсатором, должно быть в определенном месте по отношению к контролируемой системе.
Цель. изобретения " повышение качества аберрационной коррекции.
Указанная цель достигается тем, что в компенсаторе, имеющем отрицательную и положительную линзы, образуюцие а4«окальную систему, отрицательная линза выполнена в виде мениска, вогнутой поверхностью обращенного к положительной линзе, при этом передний фокус положительФормула изобретения
3 8282 нои линзы совмещен C задним фокусом отрицательной линзы,8 фокусные расстояния линз равны йо абсолютной веЛИЧИНЕ, 1(роме того, положительная линза выполнена в виде мениска, обращенНОГО вОГнутОстью к ОтрицательнОЙ линзе.
При такой совокупности существенных признаков параксиальнОе l9 изображение точечного источника света через компенсатор совпадает с положением самого источника и гри перемещениях компенсатора вдоль оси
ЭТа 838ИМОСВЯЗЬ НЕ НаРУШВЕТСЯ Т,Е с положение параксиального изображения источника не зависит от положения компенсатора.
Первой линзой может оыть как положительнаяt 78К и Отрицательная gg линзсар 37Q NB к8сается и втоРой лин зы кОмпенсатОРВр т.е. кОмпенсатОР может работать как в прямомр так и в перевернутОМ положении. Причем в прямОм и перевернутОМ ПОлОжении свойства еГО пО ОтнОшению к паракси альному изображению источника света не меняются, но Он вносит различные величин.1 аберрацийр что так жв испОльзуется для расширения еГО функциональных возможностей, На чертеже изображена оптическая схема компенсатора например,,при кОнтроле двоякОвыпуклой линзы с. автОкОллимацией От плоской пОверх
3 ности с показом хода параксиальных
JtgчеЙ оТ To4Bt4Hot"Q источника света,, Н8 чертеже приняты обозначения положительная линза компенсатора, вып - лненная нрпричер в вид менискас
2 - отрицательная линза; 3 - контрОлируемая дВОяковыпуклая линза)
Fq и Г - п рйд ий H Hзадн и фоку ы
ПЕРВОЙ ЛИНЗЫ Г И Рс ПЕРЕДНИЙ И задний ФОкусы вторОЙ линзьс; А - TQ=
4 чечный истОчник света; А - мнимОе параксиальное изображение точечноГО источника, построенное .компенсаторомр
S„ - расстояния от первой поверхности компенсатора ро А 5 - расс t "g g@ стояние от последней поверхнос-и компенсатора до А; d - суммарная тол1, щина компенсатора.
Отрицательная линза 2 выпОлнена в виде мениска, обращенного вогнутОс7ью K ПОПОжительноЙ линзес Линзы
1 и 2 образуют афокальную систему, поэтому фокусы F„ H F совмещены, фокусное расстояйие полбжительной линзы 1 равно фокусному расстоянию отрицательной линзы 2 с обратным знаком,и фокусы F и Г совмещены.
Поэтому точечный источник А совмещен с изображением А и эта взаимосвязь не нарушается при перемещении компенсатара вдоль оси, Кроме того, вывод компенсатора из пучка света также йе влияет на ход параксиальных лучей. При использовании этого свойства компенсатора упрощается процесс юстировки компенсатора и повышается его производительность.
При юстировке компенсатора, сна" чала выставляется тОчечный истОчник
А по отношению к контролируемой оптической системе. Затеи в расходящий пучок:лучей вводится компенсатор, которий не нарушает положение точечного источника А по отношению к контролируемой оптической системе. При перемещениях только одного компенсатора (источник света А и его изображение
А неподвижны находится наиболее оптимальное положение компенсатора по отношению к объекту контроля. Причем оптимальное положение компенсатора может отличаться от расчетного из-за изменения параметров контролируемого объекта (например, в преде
Л8Х ДОПУСК8).
Один предлагаемый компенсатор может заМенить несколько известных компенсаторов для различных случаев контроля оптических систем с одновременным упрощением процесса юстировки и повышением его производительности.
1. Коипенсатор аберраций для контроля качества оптических систем, содержащий отрицательную и положительную линзы, образующие афокальнУю системУр О т л и ч 8 to Щ и Й с я тем, что, с целью повышения качества аберрационной коррекции, Отрицательная линза выпОлнена в виДе менискар воГнутОЙ пОвеРхнОстью обращенного к положительной линзе, при этом фокусные расстояния линз равны по абсолютной величине, а передний фокус положительной линзы совмещен с задним фокусом ОтрицаТЕЛЬНОИ ЛИНЗЫ.
2. Компенсатор по п.1, о т л ич а ю шийся тем, что положи928292
Составитель Л. Мухина
Редактор Т.Парфенова ТехредЕ.ХаритончикКорректор H. Стец
Заказ 3233/58 Тираж 516 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Иосква, N-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 тельная линза выполнена в виде мениска, обращенного вогнутостью к отрицательной линзе.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
М 613280, кл. G 02 8 27/00, 1978.
2. Авторское свидетельство СССР
1" 640227, кл. G .02 0 17/08 1978 (прототип).
