Вакуумно-плотное соединение трубопроводов

 

Союз Советсиик

Социапистичесиик

Респубяии

О П И С А Н И Е ()932082

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКЬМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ° (61) glîïîëíèòåëüíîå к авт. сеид-ву(5! )М. Кл.

F 16 L 49/00//

F 16 L 23/02 (22)Заявлено 08.02.80 (21) 2879617/29-08 с присоединением заявки J%— (23) Приоритет—

3Ъеударетвенвый кемитет

СССР

10 делам иаевретевий и еткрытвй

Опубликовано 30.05.82, Бюллетень J% 20

Дата опубликования описания 30.05.82 (53) УДК621.643 (088.8) ° э,.

li

Н.M.. Мытарев, В.С. Корзинкин и B.Ë. Воробьев

1 с

1

М

= 1 (72) Автори изобретения (71) Заявитель (54) ВАКУУИНО-ПЛОТНОЕ СОЕДИНЕНИЕ

ТРУБОПРОВОДОВ

Изобретение относится к вакуумно

„плотным соединениям, применяемым в устройствах для осаждения слоев на подложку различными методами, преимущественно при пониженном давлении, и может быть использовано в промышленности для получения микросхем.

Известно соединение трубопроводов, в котором труба и труба с буртиком уплотняются двумя упругими кольцами при помощи гибкого элемента )1) . о

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является вакуумно-плотное соединение трубопроводов, на наружной поверхности од-, ного из которых установлен уплотнитель. ный элемент, обжимаемый в радиальном и осевом направлениях, причем осевое обжатие производится посредством фланцев с кольцевыми буртиками и стягивающих элементов f2) .

Недостатком известных соединений является невозможность получения вакуумно-плотного соединения без до2 полнительной и дорогостоящей для кварца калибровки или механической обработки уплотняемого конца трубы.

Цель изобретения - исключение дополнительной обработки уплотняемых ме ст.

Поставленная цель достИгается тем, что на одном из фланцев выполнена кольцевая проточка, на другом - ограничительный упор, взаимодействующий со стенкой указанной проточки, а радиальное обжатие уплотнения производится с помощью гибкого хомутика.

На фиг. 1 представлено предлагаемое соединение, продольное сечение, на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1.

Вакуумно-плотное соединение состоит из кварцевого реактора.-трубы 1, вакуумного трубопровода 2 с фланцем

3, кольцевым буртиком 4 и направляющей кольцевой проточкой-ограничителем 5, уплотнительного элемента (упругого кольца) 6, хомутика 7, дополнительного фланца 8 с кольцевым буоти932082

Формула изобретения

3 ком 9 и ограничительным упором 10.

Фланцы соединены стягивающими элементами 11.

Получение вакуумно-плотного соединения осуществляется следующим образом.

На кварцевый реактор-трубу 1 с небольшим натягом одевается упругое кольцо 6, которое повторяет профиль уплотняемого диаметра реактора. На 10 кольцо 6 одевается хомутик 7, усилие сжатия которого определяется беззазорным повторением профиля кольца 6.

Реактор 1 в сборе с упругим кольцом

6 и хомутиком 7 вставляется до упора 15 кольца 6 в кольцевой буртик 4 фланца

3 вакуумного трубопровода 2. Затем дополнительный фланец 8 стягивающими элементами ll соединяется с фланцем

3, при этом направляющая проточкаограничитель 5 доходит до упора 10, а упругое кольцо 6 за счет взаимоцействия с кольцевыми буртиками 4 и 9 в oceaqM направлении и радиального взаимодействия между реакторомтрубой 1 и хомутиком 7 сжимается на расчетную величину и уплотняет поверхность реактора 1 и вакуумную полость трубопровода 2. Кроме того, наличие хомутика 7, беззазорно облегающего упругое кольцо 6, при овальности реактора- рубы t в пределах допуска на его диаметр позволяет получить равномерное радиальное усилие обжатия (уплотнения) по всему уплотняемому периметру.

4

Изобретение позволяет снизить стоимость уплотнения путем исключения дополнительной обработки кварцевых реакторов и использовать данное соединение при высоких температурах за счет охлаждения фланцев.

Вакуумно-плотное соединение трубопроводов, на наружной поверхности одного из которых установлен уплотнительный элемент, обжимаемый в радиальном и осевом направлениях, причем осевое обжатие производится посредством фланцев с кольцевыми буртиками и стягивающих элементов, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью исключения дополнительной обработки уплотняемых мест, на одном из фланцев выполнена кольцевая проточка, а на другом - ограничительный упор, взаимодействующий со стенкой указанной проточки, а радиальное обжатие уплотнения производится с помощью гибкого хомутика.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент ClllA N 3.233.907, кл. 277-101, опублик. 1966.

2. Авторское свидетельство СССР 46099, кл. F 16 L 23/02, 1933 (прототип) .

932082

Фиг. 1

Фиг Z

ВНИИПИ Заказ 3707/48 Тираж 98l Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4