Емкостный манометр

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗО6РЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соввтсиик

Социапистнчвсиик рвспубпнк

<п 834258 (61) Дополнительное к авт. свнд-ву (22)Заявлено 15 07,80 (21) 29 8070/18-10 с присоединением заявки М (23) Приоритет (51)M. Кл.

G 01 L 9/12

Ркуаарстеснкы11 квинтет

СССР вв делам ваебретенке к отерыткй

Опубликовано 07.06.8?. Бюллетень Рв 21

Дата опубликования описания 07. 06. 82 (53) УДК 531.787 (088.8) f, В.С. Моисейченко, С.Г. Шипулин и В.Е. Евдо имов (72) Авторы изобретения! а

Ленинградский политехнический институт им. Й.ЪТ Метяимыыа / (71) Заявитель (54) ЕМКОСТНЫЙ МАНОМЕТР

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления.

Известны емкостные датчики давления, у которых преобразование перемещения упругого чувствительного элемента, воспринимающего давление, производится с помощью обратного преобразователя (1).

Недостатком этих устройств является низкий уровень измеряемых дав10 лений.

Наиболее близким к предлагаемому устройству по технической сущности является преобразователь давления, 1$ содержащий корпус, подвижный заземленный электрод, с двух сторон которого установлены два других электрода, включенные в мостовую схему 121.

Недостатком, этого устройства яв20 ляется низкий уровень измеряемых давлений, ограниченный величиной пробойного напряжения менду электродами емкостного преобразователя, 2

Цель изобретения - расширение верхнего предела измерения давления.

Поставленная цель достигается тем, что в емкостном манометре,содержащем корпус с упруго подвешенным в нем подвижным заземленным электродом, с двух сторон которого установлены два других электрода, включенные s мостовую схему, один иэ крайних электродов выполнен в виде упругой защемленной по контуру мембраны, подвод давления осуществлен со стороны ее внешней поверхности,а ее жесткость больше жесткости упругого подвеса подвижного электрода.

На чертеже приведена принципиальная схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит корпус 1 с упруго подвешенным в нем подвижным электродом 2, который эаземлен. По обе стороны электрода 2 на изоляционных прокладках 3 и 4 установлены электроды 5 и 6, включенные в мостовую измерительную схему. Элек934259

Формула изобретения.I «1 FU ) о

1 я 1 ь— жесткости электродов 5 и 2 соответственно; диэлектрическая постоянная воздуха, зазор между электродами 5 и 2, 2 и 6.

ВНИИПИ Заказ 3913/34 Тираж 887 Подписное

Филиал ППП "Патент", г.Ужгород, ул.Проектная,4

3 трод 5 выполнен в виде защемленной по контуру мембраны и сообщается своей внешней поверхностью с измеряемым давлением 1 .

Устройство работает следующим образом.

Измеряемое давление Рх воздействует на электрод 5 (мембрану), который прогибается на величину Х, Емкостный мост, в который включены электроды 5 и 6, выходит из равновесия. его выходное напряжение 0О прикладывается к электродам 5 и 6, которые создают компенсирующее усилие, под действием которого электрод 2 прогибается на величину Х. Абсолютный прогиб электрода 5 равен Х электрода 2 - „ = — и электрода 6Х

2 нулю, в результате чего смещения электродов 5 и 6 относительно электрода 2 равны Х к.В манометре имеет место уравновешивание (компенсация) относительных перемещений. Тогда,исходя из равенства перемещений, уравнение преобразователя можно записать в виде

Таким образом, в уравнение преобразования не входит площадь электродов 2,5 и 6, а измеряемое давление 1 V = вЂ, PK больше компенсируюЧ 1, К щего, Отношение жесткостей может быть обеспечено более двух порядков,что позволяет в такое же число раз расширить верхний предел емкостного манометра.

Емкостный манометр, содержащий корпус с упруго подвешенным в нем подвижным заземленным электродом, с двух сторон которого установлены два других электрода, включенные в мостовую схему, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью расширения верхнего предела измерения давления, один из крайних электродов выполнен в виде упругой защемленной по контуру мембраны, подвод давления осуществлен со стороны ее внешней поверхности, а ее жесткость больше жесткости упругого подвеса подвижного электрода.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Новицкий П.В. Электрические измерения неэлектрических величин.

Л., "Энергия", 1975, с. 441.

2. Авторское свидетельство СССР

< 553500, кл. С 01 L 9/12, 30.12.75 (прототип).