Устройство для ориентации,преимущественно слоистых по толщине плоских деталей

 

Союз Советсиик

Социапистичесиии

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ()938337 (SI ) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 16. 05. 80 (21) 2926527/18-21 (5I)M. Кл.

Н 01 1 21/00

Н 05 К 13/02

В 23 О. 7/12

В 21 О 43/10 с присоединением заявки №вЂ”

РвуФрвтввииыМ комитет

СССР ав ввлвм изабрвтвний

II открытий (23) Прноритет—

Опублияовано23. 06 82 ° Бюллетень № 23 (53) УДК 621. 396. .67.7(088.8) Дата опубликования описания 23 ° 06.82 (72) Авторы изобретения

Е. И. Семенов, В. И. Пахомов и A. С. Щербаков «

:с

Всесоюзный заочный машиностроительный институт

Министерства высшего и среднего специального образования (7l ) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ, ПРЕИМУЩЕСТВЕННО

СЛОИСТЫХ ПО ТОЛЩИНЕ ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в устройствах для ориентации, преимущественно слоистых по толщине плоских деталей.

Известно устроиство для ориентированной подачи деталей, преимущественно кристаллов, содержащее захват,. ориентирующие элементы в виде щек, установленные с возможностью перемещения в плоскости перпендикулярной оси захвата Pg.

Недостаток этого устройства заключается в том, что при штучном отделении деталей на захвате его щеки, перемещающиеся .в плоскости, перпендикулярной оси захвата, контактируются с деталями по плоскостям, что непреемлемо для кристаллов ввиду возможного закорачивания слоя односто- 20 ронней проводимости.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому-является устройство для ориентации, преимущественно слоистых по толщине плос" ких деталей, содержащее вакуумный захват, ориентирующие планки с рабочими поверхностями, установленные с возможностью встречного возвратно-поступательного перемещения одна отно-. сительно другой, и подвижный элемент предварительной ориентации, кинематически соединенный посредством подпружиненной тяги, с одной из ориентирующих планок с возможностью возвратно-поступательного перемещения относительно нее (2).

Недостатком устройства является то, что ориентирующие планки и элемент предварительной ориентации, осуществляющие перемещения и поворот деталей на вакуумном захвате трут ся о поверхности деталей, что исключается для автоматической ориентации слоистых по толщине плоских деталей, например, полупроводниковых кристаллов.

938337

Цель изобретения - повышение надежности ориентации путем исключения контакта рабочих поверхностей ориен тирующих планок с граничными. слоями плоских деталей и уменьшения их трения.

Цель достигается тем, что устройство для ориентации, преимущественно слоисть|х по толщине плоских дета.лей, содержащее вакуумный захват, ориентирующие планки с рабочими поверхностями, установленные с вози>ожностью встречного возвратно-поступательного перемещения одна относительно другой, и подвижный элемент предварительной ориентаций, кинематически соединенный посредством под" пружиненной тяги с одной из ориентирующих планок с возможностью возвратно-поступательного перемещения относительно нее, снабжено закрепленными своими осями на рабочих поверхностях ориентирующих планок поворотными роликами, элемент предварительной ориентации выполнен в виде ролика, ось которого перпендикулярна к геометрической оси вакуумного захвата, причем ориентирующие планки расположены под острым углом к геометрической оси вакуумного захвата.

Кроме того, оси роликов снабжены элементами соединения с системой подачи сжатого воздуха и выполнены полыми с радиальнь>ми отверстиями.

Причем кинематическое соединение снабжено регулирующей резьбовой гайкой, которая установлена на свободном конце его подпружинейной тяги.

На фиг. 1 показане устройство для ориентации, преимущественно слоистых по толщине плоских деталей, общий вид, в исходном положении ориентирующих планок; на фиг. 2то же, в рабочем положении ориентирующих планок, после отделения одной плоской детали на вакуумном захвате; на фиг. 3 - разрез А-А на фиг.2 (повернуто на 90 ).

Устройство для ориентации, преимущественно слоистых по толщине плоских деталей, содержит ориентирующие планки 1 и 2 с рабочими поверхностями Б и С, установленные с . возможностью встречного возвратнопоступательного перемещения, вакуумный захват 3, ориентирующие планки

1 и 2 закреплены соответственно на штоках 4 и 5, ориентирующие планки

1 и 2 установлены под острым углом к геометрической оси V-Ч вакуумного захвата 3 и снабжены установленными на их рабочих поверхностях Б и C поворотными роликами 6..и 7, контактирующими с плоскими деталями 8 и 9 по их ребрам, и поворотными роликами

10, при этом поворотные ролики 6, 7

10 и 10 закреплены своими осями. 11, поворотные ролики 6 и 7 выполнены ци" линдрической формы, а поворотные ролики 10 являются опорными роликами, Ориентирующая планка 1 установле)5 на на подпружиненной тяге 12, подпружиненной посредством пружины 13, ориентирующая планка 2 снабжена штоком

)4 B виде винта со сферическим концом 15, а на конце подпружиненной тящ ги 12 жестко закреплена планка 16 и упор 17 s виде винта, размещенные в пазу 18 ориентирующей планки 1, планка 16 снабжена элементом 19 соединения с системой подачи сжатого

2S воздуха (не показана), который выполнен в виде штуцера на планке 16 закреплен своей осью 20 ролик 21 элемента предварительной ориентации кинематически соединенный с ориензО тирующей планкой 1 посредством подпружиненной тяги 12 и планки 16, которая выполнена полой, ось 20 выпол" нена полой с радиальными отверстиями

22, это обеспечивает создание воздушной подушки в зазоре между осью

20 и роликом 21 элемента предварительной ориентации. Ориентирующие планки 1 и 2 также выполнены полыми и снабжены элементами 23 и 24 сое40 динения соответственно с системой подачи сжатого воздуха (не показана), а оси 11 поворотных роликов б, 7 и

10 выполнены полыми с радиальными отвергтиями (не показаны), устройство

4 снабжено регулируемой резьбой гайкой 25, установленной на свободном конце подпружиненной тяги 12, ука занная гайка 25 обеспечивает ограничение хода подпружиненной тяги 12, 50 заготовки плоских деталей 8 расположены россыпью в емкости 26.

Устройство работает следующим образом.

Вакуумный захват 3, через полость

5 ..которого отсасывается воздух, зах ватывает из емкости 26 (многослойные) слоистые по толщине детали 8 и 9, участвующие в перекрытии его отвер938337

5 стия, поднимает их в зону действия ориентирующих планок 1 и 2 и останавливается.

Ориентирующие планки 1 и 2, поочередно сближаясь (по стрелкам M), перемещают плоские детали 8 и 9 поворотными роликами 7 и 6 в плоскости торца захвата 3, в результате чего на его торце остается одна ориентированная плоская деталь 8, опирающаяся также на поворотные роли- ки 10.

При указанном перемещении ориентирующих планок 1 и 2 шток 14 сферическим концом 15 упирается в торец 15 упора 17, перемещая подпружиненную тягу 12 и ролик 21 влево на отрезок а (фиг. 2) . При этом ролик 21, если на торце вакуумного захвата 3 удерживаются вертикально повисшие плоские щ детали 8 и 9, поворачивает их в плоскость торца вакуумного захвата 3, после чего ориентация их проводится так же1как и деталей 8 и 9.

Затем плоская деталь 8 транспор- 2$ тируется на рабочую позицию.

Изобретение позволяет повысить надежность ориентации, обеспечивает исключение трения-скольжения и контакта ориентирующих элементов с граничными зонами слоев деталей, ориентирующие планки снабжены роликами, продольные оси которых наклонены к продольной оси захвата под острым углом, а продольная ось установлен3S ного на одной из ориентирующих планок ролика перпендикулярна продоль" ной оси вакуумного захвата.

Это позволяет исключить как трение-скольжение о поверхности дета40 лей, так и контакт ориентирующих планок с граничными зонами слоев деталей. Кроме того, для снижения трения в осях поворотных роликов они снабжены воздушной подушкой, а для ориентации различных типоразмеров деталей ход ролика элемента предварительной ориентации выполнен регулируемым, т.е. с целью вращения роликов на воздушных подушках, их оси сообщаясь с сетью сжатого воздуха, 50 снабжены продольными каналами и радиальными сквозными каналами, перекрытыми посадочными отверстиями роликов °

Формула изобретения

1. Устройство для ориентации, преимущественно слоистых по толщине плоских деталей, содержащее вакуумный захват, ориентирующие планки с рабочими поверхностями, установленные с возможностью встречного воз; вратно-поступательного перемещения од .на относительно другой, и подвижный элемент предварительной ориентации, кинематически соединенный посредством подпружинейной тяги с одной из ориентирующих планок с возможностью возвратно-поступательного перемещения относительно нее, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью повышения надежности ориентации путем исключения контакта рабочих поверхностей ориентирующих планок с граничными слоями. плоских деталей и уменьшения их трения, оно снабжено закрепленными своими осями на рабочих поверхностях ориентирующих планок поворотными роликами, элемент предварительной ориентации выполнен в виде ролика, ось которого перпендикулярна к геометрической оси вакуумного захвата, причем ориентирующие планки расположены под острым углом к геометрическбй оси вакуумного захвата.

2, Устройство по п.1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что оси роликов снабжены элементами соединения с системой подачи сжатого воздуха и выполнены полыми с радиальными отверстиями.

3. Устройство по и.1, о т л ич. а ю щ е е с я тем, что кинематическое соединение снабжено регулирующей резьбовой гайкой, которая установлена на свободном конце его подпружиненной тяги.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

Авторское свидетельство СССР

И 226545, кл. В 21 D 43/18, 1968.

2. Авторское свидетельство СССР и 254464, кл. В 21 0 43/10, 1967 (прототип).

938337 и ct смцэщ р

Ачфж

Фиг. Ю

ВНИИПИ Заказ 4474/76 Тираж 761 Подписное филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4