Способ получения четыреххлористого кремния
Авторы патента:
1. Способ получения четыреххлористого кремния хлорированием трихлорсилана, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода целевого продукта, хлорирование проводят в газовой фазе при температурах 32 - 380oC.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что трихлорсилан используют в виде отходов производства четыреххлористого кремния или кремнийорганических производств.
Похожие патенты:
Спосособ получения дихлорсилана // 656967
Способ очистки хлоридов кремния // 504699
Способ очистки тетрахлорида кремния // 327782
Способ получения силанов // 2152902
Изобретение относится к технологии получения поликристаллического полупроводникового кремния из природных кремнийсодержащих концентратов
Способ получения кремния // 2415809
Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано при производстве кремния
Способ получения тетрахлорсилана // 953798
Изобретение относится к способам получения соединения кремния, в частности тетрахлорсилана
Способ получения гексахлордисилана // 987916
Способ получения четыреххлористого кремния // 1007320
