Интерферометр для измерения перемещения

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

<») 947636 (61) Дополнительное к авт. саид-ву(22) Заявлено 22.12 ° 78 (21) 2699559/25-28 сприсоединениемэаявки ¹(51) М. Кп.з

G 01 В 9/02

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) ПриоритетОпубликовано 30.07.82. Бюллетень № 28 () УДК 531. 715. 1 (088 ° 8) Дата опубликования описания 30 ° 07. 82 (72) Автор. изобретения

A.Ë. Старков (71) Заявитель

Институт электроники AH .Белорусской (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМИЦЕНИЯ

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения перемещения °

Известен интерферометр, содержащи и источник мо нохроматиче ского и злучения, телескопическую систему, светоделительную пластину, два уголковых отражателя, две диафрагмы и два фотоприемника для регистрации интерференционной картины (1).

Недостатком интерферометра является недостаточно высокая точность измерения из-за чувствительности к разъюстировке.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и решаемой задаче является интерферометр для измерения перемещения, содержащий последовательно расположенные источник монохроматического излучения, телескопическую систему и светоделитель, делящий излучение на два потока, в одном иэ которых расположены оптически связанные диафрагма и фотоприемник, а в другом — последовательно установленные по ходу излучения отражатель, связанный с объектом, диафрагма и фотоприемник (2).

Недостатком интерферометра является недостаточная точность измерения.

Цель изобретения — повышение точности измерения.

Указанная цель достигается тем, что светоделитель и отражатель вы-. полнены идентично в виде моноблока из прямоугольной усеченной призмы с полупрозрачным отражающим покрытием на гипотенуэной грани и углом при вершине о

5 пи

1,=45 -йгсФп — т

15 где i - угол между нормалью к гипотенузной грани и направлением перемещеният

n - показатель преломления приэ20 мы, и ориентированы друг относительно друга таким образом, что для подающего излучения гипотенуэная грань одного из них является выходной, а другого — входной.

На чертеже дана принципиальная схема интерферометра.

Интерферометр содержит источник

1 монохроматического излучения, телескопическую систему 2, светодели30 т ь 3. Диафра у 4. Фото риемник 5. светоделитель 3 выполнен в виде моно-1

947636

Составитель Н. Захаренко

Редактор С. Тараненко Техред Л. Пекарь Корректор Г. Решетник

Заказ 56 13/6 1 Тираж 6 14 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. УжгорОд, ул. Проектная, 4 блока из прямоугольной усеченной призмы с полупрозрачным отражающим покрытием на гипотенузной грани, причем его выходная гипотенузная грань расположена под углом, близким

45, диафрагму б, фотоприемник 7, 5 аналогичную конструкцию и ориентацию

4имеет отражатель 8, у которого гипотенузная грань является входной и который жестко связан с перемещающимся объектом. (0

Интерферометр работает следующим образом.

Пучок света от источника 1 монохроматического излучения расширяется телескопической системой 2 и разде(5 ляется светоделителем 3 на два потока: рабочий (прошедший) и эталонный (отраженный во внутрь стекла). Рабочий поток падает на отражатель 8, преломляется на входной грани и воз- >0 вращается параллельно самому себе.

Эталонный поток, аналогично отразившись от граней полного внутреннего отражения, вновь возвращается на светоделительную поверхность, где смемивается.с рабочим потоком.

Таким образом оба потока частично направляются на фотоприемник 5, а частично — на фотоприемник 7.

ДиаФрагмы.4 и б вырезают участки интерференционных полос, сдвинутых друг относительно друга на 0,25 их ширины.

Формула изобретения

Интерферометр для измерения переиеайения, содержащий последовательно,,35 расположенные источник монохромати ческого излучения, телескопическую систему и светоделитель, делящий излучение на два потока, в одном иэ которых расположены оптически связанные диафрагма и фотоприемник, а в другом - последовательно установленные по ходу излучения отражатель, связываемый с объектом, диафрагма я фотоприемник, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точности измерения, светоделитель и отражатель выполнены идентично в виде моноблока иэ прямоугольной усеченной призмы с полупрозрачным отражающим покрытием на гипотенузной грани и углом при вершине си сЯ4п и где 1 - угол между нормалью к гипотенузной грани и направлением перемещениями

n - показатель преломления призмы, и ориентированы друг относительно друга таким образом, что для подающего излучения гипотенузная грань одного из них является выходной, а другого - входной.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Коломийцев Ю.В. Инте рферометры.

Л., 1967, с. 191.

2. Патент ФРГ 9 2207722, кл. G 01 В 9/02, 1975 (прототип).