Датчик давления

 

О П И С А Н И Е (960559

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Х АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (6! ) Дополнительное к авт. свнд-ву М 679835 (22)Заявлено 25.02.81 (2!) 3252270/18-10 с присоединением заявки ¹вЂ” (23)приоритетОпубликовано 23.09.82. Бюллетень № 35

Дата опубликования описания 29.09.82 (51 ) М. Кл.

Cj 0 1 !. 9/04

3Ъеудвротвеиный комитет

СССР йо делом изобретений н открытий (53) УДК 531.787

"(О 88.8) Л. B. Беликов, Ю, А. Васильев, Г, H. Вязенкин, А. E. Муравьев, Е. П. Трофимов и Ю. А. Mayer (72) Авторы изобретения

Всесоюзный научно-исследовательский институт прироцных газов (7! ) Заявитель (54) g АТЧИ К Д АВЛЕНИ Я

Изобретение относится к измерительной технике, а точнее к измерению цавлений жидких и газообразных срец.

По основному авт. св. М 679835 известен датчик давления, содержащий кон5 сольно закрепленную в корпусе датчика мембранную коробку в виде балки, образованную соединенными между собой мо-. нокристаллическими кремниевыми пластинами, и тензорезисторы, расположенные над, наружной поверхности коробки (1).

Нецостатком этого цатчика цавления является температурная погрешность, выз.ванная различием коэффициентов линейноI

Го расширения материалов кристалла, на которых сформирована электронная схема, и изолирующей подложки, HB которой смонтирован этот кристалл.

Цель изобретения — повышение точности за счет уменьшения температурной nor20 решности цатчика.

Указанная цель цостигается тем, что в цатчике давления электронная схема тензорезисторов расположена на наружной по2 верхности балки на расстоянии от места закрепления 2-3 в, гце в- толщина балки.

На чертеже приведэн один из вариантов датчика цавления..

Датчик давления состоит из корпуса, включающего в себя подложку 1 и соеат. ненный с ней кожух 2, мембранной коробки в вице балки, образованной монокристаллическими пластинами 3 и 4. .На наружной поверхности мембраны сформированы тензорезисторы 5 и элект ронная схема 6, соециненная электровывоцами 7. Мембранная коробка через промежуточную пластину 8 соединена с подложкой 1. Через патрубок 9 в пространство, образованное поцложкой 1 и кожухом

2, поцается измеряемое давление Р.

Датчик работает слецующим образом.

Через патрубок 9 поцают измеряемое цавление. ОН0 деформирует мембрану, вьэзывая тем самым изменение сопротивления тензорезисторов 5, которое схемой 6 преобразуется в уцобный цля использова« ния выходной сигнал.

3 . 960559 4

Изменение температуры окружвкацей Формула изобретения среды не приводит к возникновению допол- Датчик давления по авт. св.М 679835, ннтельных деформаций. коробки иэ-за раэ- о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с цености коэффициентов линейного расширения лью повышения точности измерений эа материалов, коробки и пластины 8, если р счет уменьшения температурной погрешэлементы электронной схемы расположены ности, q нем электронная схема тензорена рмхтоянии от места закрепления 2-3 в зисторов расположена на наружной noh областях нулевых деформаций, где в - верхности балки на расстоянии от места тыпцина балки. закоепления 2-3 в, гдз в «толщина балки.

Таким образом, при использовании 10 Источники информации изобретения изменение температуры окру принятые во внимание при экспертизе жакщей среды не влияет на результат 1. Авторское свидетельство СССР измерений, что приводит к увеличению .. > 679835, кл. G 01 4 9/04, точности измерений. 18.06.76 (прототип).

Составитель B. Казаков

Редактор А, Козориэ Техред М. Надь Корректор Л. Бокшан

Заказ 7249/46 Тираж 887 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035,Москва, >К35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4