Кассета-спутник

 

Союз Советсиик

Социапистичюсиик республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ- СВИДЕТЕЛЬСТВУ (ii)963120 (6 l ) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 31.03.81 (21) 3269174/18-21 с присоединением заявки М (23) Приоритет (51)М. Кл.

Н 01 L 21/00

i Н 01 I 21/68

9жударотвкииый комитат бсср ао долам иаабратаиий и открытий (5З) УДК 621.

° 328.2(3) (088.8) Опубликовано 30 ° 09. 82. Бюллетень pg 36

Дата опубликования описания 30 . 09 .82

В.А. Зенькович, Г.М. Иванушко, В.А. Зайцев и A.П. Токарев (72) Авторы изобретения (7l) Заявитель (54) КАССЕТА- СПУТНИК

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть применено для закрепления, растягивания и фиксации в растянутом состоянии эластичного носителя полупроводниковой пластины, разделенной на отдельные кристаллы на операциях визуального контроля, разбраковке и посадке кристаллов в корпус.

Известна кассета-спутник для закрепления и растягивания эластичной пленки, с разделенной нв кристаллы полупроводниковой пластиной, содержащая основание с цилиндрическим выступом, эластичную пленку, подвижное кольцо для растягивания носителя, зажимную крышку и фиксаторы.

При работе с эластичными пленками различной упругости и неоднородности толщины возникает необходимость зна-. га чительно растянуть и надежно зафиксировать ее (1 ), Недостатком известной кассеты является неравномерность растягивания

2 эластичной пленки при различных ее толщинах в различных сечениях.

Наиболее близкой к предлагаемой является кассета-спутник для разделенной на кристаллы полупроводниковой пластины, содержащая основание с цилиндрическим выступом, на котором размещена эластичная пленка, зажимные кольца для нее, фиксаторы (2 J.

Недостатком известной кассетыспутника является невозможность изменения величины растяжения пленки во время работы, так как эта величина постоянна и зависи. от профиля и раз" меров выступа дополнительного кольца.

Пленка может быть растянута только на одну определенную величину и в таком положении зафиксирована. Однако величина растяжения пленки должна регулироваться в зависимости от вели" чины кристаллов, полупроводниковой пластины, а также в зависимости от количества снятых в процессе работы с пленки кристаллов и от типа, тол3 96312 щины пленки, при этом в любом растянутом положении пленка должна надежно фиксироваться, Другим недостатком является низкая производительность и неудобство работы с кассетой-носителем.при ее сборке и разборке, при пользовании фиксаторами, выполненными в виде зацелок. В связи с большими усилиями при сборке и разработке требуется дополнительное специальное технологическое приспособление.

Цель изобретения — улучшение экс- плуатационных возможностей за счет регулирования натяжения эластичной пленки.

Указанная цель достигается тем, что кассета-спутник, преимущественно для разделенной на кристаллы полупроводниковой пластины, содержащая основание с цилиндрическим выступом, 20 на котором размещены эластичная плейка и зажимные кольца для нее, и фиксаторы, она снабжена механизмом растяжения эластичной пленки, содержащему установленные на цилиндрическом выступе основания втулку и обойму, прурическому выступу 2 основания 1, фик- саторы 7, втулку 8, нижняя часть которой несет обойму 9, а верхняя зажимные кольца 5 и 6 и фиксаторы жины и кольцо, с гнездами на его цилиндрической поверхности, в которых размещены тела качения, при этом на внутренней стороне втулки выполнена фигурная проточка с плоской и конус. ной поверхностями, в которой установлены кольцо с телами качения с возможностью взаимодействия тел качения с конусной поверхностью фигурной про35 . точки и пружины, каждая из которых одним концом соединена с плоской поверхностью фигурной проточки, а дру" гая — с кольцом, при этом зажимные

40 кольца для эластичной пленки и фиксаторы размещены на втулке со стороны, противоположной размещению обоймы.

На фиг. 1 изображена предлагаемая кассета -спутник; на фиг. 2 -. втул45 ка в замкнутом состоянии; на фиг.3то же, в разомкнутом состоянии.

Кассета-спутник содержит основание 1 с цилиндрическим выступом 2, размещенную на нем эластичную пленку 3, с разделенной на кристаллы полупроводниковой пластиной 4, закрепленную в зажимных кольцах и 6, установленных концентрично цилиндВтулка 8 установлена на цилиндрическом выступе 2 основания 1 с возможностью перемещения вдоль его оси и на ее внутренней стороне втулки выполнее на фигурная проточка 10 с плоской поверхностью 11 и конусной поверх" ностью 12, В фигурной проточке 10 расположено кольцо 13 с гнездами 14, в которых размещены тела 15 качения, кинематически замыкаю цие втулку 8 и цилиндрический выступ 2 и выступами 16, взаимодействующими в момент размыкания с обоймой 9. При этом кольцо 13 посредством пружины 17 кинематически связано с плоскостью 11 втулки 8. Эластичная пленка 3 с полупроводниковой пластиной 4 устанавливается между коническими поверхностями зажимных колец g и 6 и помещается на втулку 8 таким образом, чтобы фиксирующие выступы (не показаны) зажимного кольца 5 зашли под фиксаторы 7, поворотом которых пленка 3 занимается между зажимными кольцами и 6, фиксируемыми одновременно от вертикального перемещения относительно втулки 8, находящейся в верхнем замкнутом положении. Замыкание втулки 8 яа цилиндрическом выступе 2 осуществляется заклиниванием тел

15 качения между конической поверхностью 12 втулки 8 и цилиндрической поверхностью выступа 2 путем действия пружин 17 на кольцо 13, в котором размещены тела 15 качения.

Устройство работает следующим образом.

Для растяжения эластичной пленки

3 втулка 8 перемещается вниз относительно цилиндрического выступа 2, для чего необходимо нажать на обойму 9, при этом кольцо 13 с телами 15 качения при воздействии обоймы 9 на выступы 16 перемещается вверх, размыкая втулку 8 на цилиндрическом вы-, ступе 2. При перемещении втулки 8 эластичная пленка 3, огибая торец цилиндрического выступа 2, растягивается до требуемой величины. Для замыкания втулки 8 в требуемом положении.отпускают обойму 9, при этом кольцо 13 с телами 15 качения под действием пружин 17 перемещается вниз, замыкая втулку 8 на цилиндрическом выступе 2 основания 1.

В процессе работы (сьема кристаллов с эластичной пленки 3) растяжение эластичной пленки 3 может быть, изменено на необходимую величину и

5 9631 надежно фиксироваться в этом положении, при выполнении действий, указанных выше, т.е. перемещением втулки 8 относительно цилиндрического выступа 2 основания 1. 5

Внедрение предлагаемой кассетыспутника на операции кассетирования кристаллов и их монтажа позволит увеличить производительность труда до

1,.3 раза. о формула. изобретения

Кассета-спутник, преимущественно для разделенной на кристаллы полупроводниковой пластины, содержащая основание с цилиндрическим выступом, на котором размещены эластичная пленка и зажимные кольца для нее и фик- 0 саторы, отличающаяся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей путем регулирования натяжения эластичной пленки, она . снабжена механизмом растяжения эластичной пленки, содержащем установ20 ленные на цилиндрическом выступе основания втулку и обойму, пружины и кольцо с гнездами на его цилиндрической поверхности, в которых разме-. щены тела качения, при этом на внутренней стороне втулки выполнена фигурная проточка с плоской и конусной поверхностями, в которой установлены кольцо с телами качения с возможностью взаимодействия тел качения с конусной поверхностью фигурной проточки и пружины, каждая из которых одним концом соединена с плоской поверхностью фигурной проточки, в другом - с кольцом, при этом зажимные .. кольца для эластичной пленки и фиксаторы размещены на втулке со стороны, противоположной размещению обоймы.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Великобритании

И 1488150, кл. В 5Е 8, 1977.

2 ° Авторское свидетельство СССР

V 758960, кл. Н 01 L 21/00, 1980 (прототип).

9б3120 Ф Ю 7

Тираж 761 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 7528/78 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель Л. Гришкова

Редактор l0. Середа Техред С.Мигунова Корректор Г. Решетник