Устройство для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскнх

Соцналнстнческнх

Республик

«ii 964489.Ф

4, б/:.г (61) Дополнительное к авт. саид-вуии 838444 (22) Заявлено 17.04.80 (21) 2912147/18-10 с присоединением заявки №вЂ” (28) Приоритет(51)М. Кд.

G 01 1 1/22

Государствсииый комитет

СССР

Опубликовано 07,10.82. Бюллетень ¹37

Дата опубликования описания 07.10.82 по делам изобретений и открытий (53) УДК 531.781 (088.8) .". . ОЮЗИь.fi / п инииискии 1

ЪНБИ йОТЕМА (72) Автор изобретения.М. А. Тихонов (7 l ) Заявитель Куйбышевское агрегатное производственно-конструкт объединение (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ОСТАТОЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЙ

ПРИ НЕПРЕРЫВНОМ ТРАВЛЕНИИ

Изобретение относится к измерительной технике, в частности для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении образцов.

По основному авт. св. Н 838444 известно устройство для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении, используемое для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении образца; помещаемого в одну из двух сообщающихся ванн с реактивом и закрепляемого в располагаемом над ванной приспособлением для его крепления, содержащее датчик деформации, прибор, по показаниям которого судят о толщине. стравливаемого слоя, и регистрирующую аппаратуру, в качестве прибора по показаниям; которого судят о толщине стравливаемого слоя, Hcli0Jlb30BRHbl аналитические весы, с одним из плеч коромысла которого связан образец-анод, и фотокиноприставка, фиксирующая показание шкал. Устройство также содержит ванну с водой и поворотный стол, на котором установлены указанные ванны (1).

Недостатком устройства является неудобство в работе, связанное с необходимостью уравновешивания образца в ванне с водой и введением поправки, учитывающей разницу плотности воды и электролита. Кроме того,. в уст5 ройстве имеется погрешность измерения деформаций, связанная с температурными напряжениями при электрохимнческом травлении.

Цель изобретения — повышение . точности измерения и удобства в работе.

Указанная цель достигается тем, что в него введены образец-катод с датчиком деформаций, связанный с вторым плечом коромысла весов и размещенный в дополнительной ванне с реактивом, и второй измеритель деформации.

На чертеже изображено устройство общий вид. На столе 1 находятся сообщающиеся ванны 2 .с реактивом, снабженные заслонкой

3. Над ваннами с реактивом устанавливаются аналитические весы 4, к коромыслу которых через нити 5 подвешиваются образец-анод б и образец-катод 7, снабженные датчиками 8 деформаций, сигналы с которых доступают

964489

ВНИИПИ Заказ 7617/22 Тираж 887 Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 на регистрирующие приборы 9 и 10 и счетчик 11 времени. Одновременная регистрация шкалы аналитических весов, измерителей деформаций и счетчика времени осуществляется фотокиноприставкой 12. Вес, размеры и материал образца-катода выбираются соответствующими образцу-аноду.

Устройство работает следующим образом.

К коромыслу аналитически весов падвешиваются образец-анод и образец-катод, снабженные датчиками деформации, и опускаются в сообщающиеся ванны с электролитом.

- Включением тока начинают процесс травления и одновременно открывают заслонку сообщающихся ванн, устанавливая ее в соответствии с выбранным током (скоростью травления), что определяется предварительной градуировкой.

По деформациям образца, толщине снятого слоя и времени травления производят расчет осталовых напряжений. В процессе травления регистрируется деформация образца-анода и образца-катода, что позволяет учесть температурную погрешность измерения. Кроме того, увеличение веса образца-катода, пропорциональное уменьшению веса. образца-анода, равноценное увеличению цены деления шкалы аналитических весов в два раза, приводит к уменьшению ошибки измерения снятого слоя.

Формула изобретения

10 Устройство для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении по авт. св. Х 838444, о т л и ч и ю щ е ес я тем, что, с целью повышения точности измерения и удобства в работе, в него введены образец-катод с датчиком деформации, связанный с вторым плечом коромысла весов и размещенный в дополнительной ванне с реактивом, и второй измеритель деформации.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свццетельство СССР Р 838444, кл. G 01 1 1/22, 13.12.80.