Комплектовщик полупроводниковых приборов

Авторы патента:

ЛУБЯНЫЙ ВИКТОР ЗАХАРОВИЧ

ШИЛОВСКИЙ ЮРИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

H01L21/66 - испытания или измерения в процессе изготовления или обработки (после изготовления G01R 31/26)

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

<11972617 (6!) Дополнительное н авт. свьф-ву (22) Заявлено 1405.80 (21) 2923023/18-21 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 07.1182. Бюллетень ¹41

Дата опубликования описания 07.11.82 (51) М. Кл

Н 01 4 21/66

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621, 382 (088. 8) (72) Авторы изобретения

В.3, Лубяный и Ю.В. Шиловс (71) Заявитель (54) КОМПЛЕКТОВЩИК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к радиоэлектронной промышленности и может быть использовано при комплектованни равных групп полупроводниковых приборов с идентичными динамическими характеристиками, например вольтфарадными характеристиками варикапов.

Известно устройство для сортировки элементов электронной техники, содержащее механизм загрузки, блок измерения и управления, приемные бункеры и сортировочный механизм, состоящий из корпуса и расположенных в-нем входного канала, направляющих рукавов с выполненными в их днище заслонками, размещенными вдоль канала, и воздушных форсунок, во входном канале сортировочного механизма расположены подпружиненные отсекатели, установленные с возможностью поворота, а вдоль направляющих рукавов между заслонками установлен ряд дополнительных форсунок (1).

В указанном устройстве сжатый воздух используется для ускоренного перемещения элементов электронной техники. Причем сжатый воздух, подаваемый через дополнительные форсунки, упреждает залегание иэделий на закрытых заслонках, но не решает задачу выдачи комплектов изделий иэ приемных бункеров.

Кроме того, каждый из исполни- тельных элементов, будь то отсекатели или форсунки, снабжен управляемым приводом, что очень усложняет устройство и снижает его надежность.

Наиболее близким по технической сущности является комплектовщик полупроводниковых приборов, содержащий механизм загрузки, транспортирующий механизм подключения, соединенный с измерительным блоком, блок управления, механизм раскладки, приемные емкости и приводной механизм (2), В известном комплектовщике обеспечена рассортировка радиодеталей на группы посредством электромагнитов-, воздействующих на сферическую пяту, но не решена задача автоматической выгрузки этих групп радиодеталей.

25 Цель изобретения вЂ” расширение функциональных воэможностей комплектовщика.

Цель достигается тем, что комплектовщик полупроводниковых прибоЗО ров, содержащий механизм загрузки, 972617

5Î

55 транспортирующий механизм, механизм подключения, соединенный с измерительным блоком, блок управления, механизм раскладки, приемные емкости и приводной механизм, снабжен приемником комплектов полупроводниковых приборов, размещенным под приемными емкоотями, при этом дно каждой приемной емкости выполнено в виде поворотной заслонки, соединенной с приводным механизмом, На чертеже представлена схема, поясняющая работу комплектовщика полупроводниковых приборов.

Предлагаемый комплектовщик состоит иэ механизма 1 загрузки с барабаном 2, несущим полупроводниковые приборы 3, входящие в соприкосновение с контактами 4 измерительного блока 5, взаимодействующего с блоком 6 управления, управляющим механизмом 7 раскладки, снабженным воронкой 8, в боковой стенке которой размещено прикрытое подвижным щитком 9 сопло 10, и соединенной с укладчиком 11 гибкой трубкой 12.

Приемные емкости 13 установ.пены в координатных отверстиях сферической детали 14 и снабжены поворотными заслонками 15 с противовесами 16..

Сопло 10 соединено с клапаном 17 трубкой 18. Под приемными емкостями

13 установлен приемник 19 комплектов, оборудованный устройством 20 выдачи комплектов.

Комплектовщик работает следующим образом.

Полупроводниковые приборы 3 иэ механизма 1 загрузки захватываются барабаном 2, имеющим прерывистое движение, и подаются на контакты 4 измерительного блока 5. Результаты измерения поступают на блок 6 управления для сравнения динамических характеристик измеренного прибора с характеристиками ранее рассортированных приборов, После сравнения характеристик укладчик 11 механизма

7 раскладки управляющими сигналами с блока 6 управления устанавливается над соответствующим координатным отверстием в сферической детали 14 (элемент привода для разворота укладчика ll по двум координатам пока,зан схематично).

При повороте барабана 2 прибор 3 пфдает в одну иэ приемных емкостей

14 по каналу, образованному ворон5 о

25 зо кой 8 и гибкой трубкой 12, размещенной в укладчике 11.

В случае, когда в одну из приемных емкостей 13 загружается последний из комплектуемых в ней приборов, с блока 6 управления поступает команда на открытие клапана 17, и сжатый воздух через трубку 18 и сопло 10 отклоняет подвижный щиток 9 и по образовавшемуся каналу, соСтоящему из воронки 8 и гибкой трубки 12, поступает через координатное отверстие в сферической детали 14 в соответствующую приемную емкость

13. Под напором сжатого воздуха дно

15 отклоняется и приборы выдуваются в приемник 19 комплектов, иэ зоны которого выносятся устройством 20 выдачи комплектов, После отключения сжатого воздуха клапаном 17 дно 15 возвращается в исходное положение под действием противовеса 16, Таким образом, в течение цикла комплектования одного полупроводникового прибора осуществляется разгрузка комплекта приборов и освобождается емкость для приема очередной группы приборов, Это обеспечиваЕт более эффективное использование комплектовщика и уменьшает количество неукомплектованных групп приборов из общего массива приборов, участвующих в комплектовании.

Формула изобретения

Комплектовщик полупроводниковых приборов, содержащий механизм загрузки, транспортирующий механизм, механизм подключения, соединенный с измерительным блоком, блок управления, механизм раскладки, приемные емкости и приводной механизм,о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью расширения его функциональных возможностей, он снабжен приемником комплектов полупроводниковых приборов, размещенным под приемными емкостями, при этом дно каждой приемной емкости выполнено в виде поворотной заслонки, соединенной с приводным механизмом, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 625780, кл. В 07 С 5/06, 1977.

2, Авторское свидетельство СССР

Р 357855, кл, Н 01 С 17/00, 31.08.70.

972617

Составитель О. Кудрявцева

Редактор О. Половка Техред Л.Пекарь Корректор A. Гриценко

Закаэ 8528/46 Тираж 761 Подписное

ВНИИПИ. Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Комплектовщик полупроводниковых приборов

Устройство неразрушающего контроля полупроводниковых структур // 972421

Способ контроля электролюминесцентных p-n-структур // 971041

Иглоноситель для контроля полупроводниковых микросхем // 964556

Тестовая структура для контроля отклонений размеров элементов интегральных схем // 963121

Устройство для измерения эдс холла // 961501

Устройство для контроля радиодеталей по внешнему виду // 961005

Способ измерения э.д.с.холла // 960680

Способ измерения профиля концентрации примеси в полупроводниках // 958987

Устройство контроля пробивного напряжения мдп-структур // 958986

Устройство для определения электрофизических параметров полупроводниковых пластин // 2101721

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Устройство для измерения толщины плоского изделия и способ его реализации // 2107257

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Способ градуировки резонансного датчика параметров эпитаксиального слоя на проводящей подложке // 2107356

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Способ выявления структурных дефектов в кристаллах кремния // 2110116

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Способ регулирования величины напряжения в открытом состоянии тиристоров и диодов // 2119211

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов

Способ контроля однородности слоев пористого кремния на монокристаллическом кремнии // 2119694

Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Способ выявления структурных дефектов в кристаллах кремния // 2120683

Устройство и способ измерения поверхностного сопротивления полупроводниковых пластин // 2121732

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин

Способ контроля дефектности пленок диоксида кремния на кремниевых подложках // 2127927

Установка для испытаний на радиационную стойкость // 2128349