Установка для напыления изделий из синтетической двуокиси кремния

 

Союз Советскнк

Соцналнстнческнк

Реслублнк

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-вуР 899504 (22) Заявлено 06 ° 05. 81(21) 3287156/29 33 t><) М. КЛ с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

С 03 В 19/00

С 03 С 3/06

Государственный комитет

СССР оо делам изобретений и открытий

Опубликовано 231182. Бюллетень ¹ 43 (53) УДК 666. 189 (088. 8) Дата опубликования описания 23,1182 (72) Авторы изобретения

П.М. Стефаненко, И. Г. Косенко и П.М. Стефаненко (71)заявители (54) УСТАНОВКА ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ ИЗ СИНТЕТИЧЕСКОЙ

ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ

Изобретение относится к устройствам для изготовления методом напыления изделий из синтетической двуокиси кремния и может найти применение на предприятиях полупроводниковой подотрасли Министерства цветной металлургии СССР.

Известна установка для напыления труб иэ синтетической двуокиси кремния, состоящая из рамы, которая установлена на тележке с возможностью перемещения в горизонтальной плоскости, вала для крепления оправыформы и горелок-распылителей, которые смонтированы с возможностью перемещения в вертикальной плоскости на штоке (1) .

Недостатком данной установки яв ляется то, что у нее возвратно-поступательное движение штока с горелками-распылителями в вертикальной плоскости осуществляется сложным для иэ гото вле ни я и эксплуатации кулачково-рычажным механизмом, требующим частого ремонта, При изготовлении иэделий сферической формы горелки-распылители, перемешаясь возвратно-поступательно в вертикальной плоскости параллельно оси оправы-формы изделия, находятся на различных расстояниях от образующей оправы-формы изделия: в нижнем положении — на оптимальном расстоянии, в верхнем — в несколько раз больше.

При нахождении горелок-распылителей в верхнем положении получается большой раэ брос напыляемых продукт0 тов, в результате чего увеличивается время напыления изделия и повышается расход напыляемых продуктов.

По основному авт. св. 9 899504 иэ— вестна установка для напыления изделий иэ синтетической двуокиси кремния, включающая горелки-распылители, устройство для перемещения их параллельно образующей оправы-формы изделия, пневматический подъемник и

20 узел вращения о ав -4ð (2) Недостатком установки является сложность устройства для перемещения горелок-распылителей параллельно образующей оправы-фор ы иэделия, что

25 затрудняет эксплуатацию установки.

Кроме того, конструкция этого устройства позволяет напылять изделия только такой высоты, на которую переме— щается шток пневматического подч.ем30 ника.

975604

Целью изобретения является упрошение конструкции установки и ее эк;.плуатации, а также обеспечение возможно ти напыления иэделий раэли ч ной высоты и профиля .

Поставленная цель дости гается тем

« что н установке для напыления изде,>-.ий иэ синте гической двуокиси кремния устройство для перемещения горе— лок--аспылителей параллельно образуюшей оправы-формы иэделия выполнено в ниде съемных пластин с направляюшими пазами и расположенной B них осью, а также шарнирного приспособления и тяги--толкателя, при этом шарнирное приспособление внизу прикреплено к што- 5 ку п>одьемника«вверху — к тяге — толкателю, соединенной с осью, а горелки-ра-.пылители при крепле Hb; к последней .

На чер»еже представлена предлагае- 2О мая устaновка для напыления иэделий иэ синтетической днуокиси кремния. > còàíîâêà состоит из основания 1, каркаса ?, цилиндра пневматического п>одъемника 3, штока 4, стоек 5, плас- 25 тин 6 с пазами ",, оси 8, шарнирного приспособления 9 с осями 10 — 12, тяги — ;-олкателя 13, штанг 14, горелок=.„«спылигелей 15, трубопроводов 16, к ора, >, .- пр н.:--ф.;рмы 20 напыляемого

-,-1 с. и; > ...-.»р: =,..." "=но";ки же с:тко прикреп. =: с - -.кю 1 „. а . : нему — ци..и .: ..:. ".....»:« >Eско О под> емника 3 со . "> ком::::-. тыре стойки 5 (по

35 с об«<-и«.:горов цилиндра 3), к воэможностью снятия при:.. е „.=:; д»е пла=.тины 6 с пазами 7, которые H:"»e>" профиль, параллельный

».=>, .. уюшей î Ipriны-формы 20. 40

В>;,:з ах,> гластины 6 размещает,—. я, » 8, . оторой крепя т ся с во э. —.тью и -о>-.мешения штанги 14 с ,. о»эл B.ми-р:-. пыли» åëÿìè 15 и трубо,«г водами ..6 . ФЭ

Вижн.-.=-: о".ü 10 шарнирного приспособления 9 =.акреплена на цилиндре 3, а . ь» 1 шарни1эногo приспособления 9::a. >»то,=à =4 подьемника. К верхней .:-и 12 шарнирного приспособления. 9

: .,ни: кон.-,ом подвижно закреплена тя, 3, BTQphIM KO нцом г . олкатегь > 3 жестко прикреплена

8 .

Дл;-: ooeñпе — »ения заданного числа . боро то в (7 5 об )мин) оправы-4>ор.и 2 ус. ановка снабжена электропри:.сдс 17 с редуктором 18. станонка цля изготовления иэдел,-.й из синтетической двуокиси крем- 60 ме годо:-" напыления включается в р,->бо»у в с.-епуюшей последовательноср або г -:. :т следуюшим образом. р вым:-: р а боту включае ся эле кт> .»:,;. и яо.. l оторый через редуктор 65

18 и нал 19 сообшает оправе-форме 20 врашательное движение .

Затем в нижнюю часть цилиндра 3 подается сжатый воздух, который перемешает шток 4 вверх. Перемешаясь вверх, шток 4 поднимает закрепленную на нем ось 11 шарнирного приспособления 9, раздвигает шарнирное приспособление 9 и перемешает вверх и его ось 12, к которой подвижно закреплена тяга-толкатель 13. С тягой-толкатепем 13 перемещается вверх ось 8 со штангами 14 и горелками-распылителями 15.

По трубопроводам 16 и горелкамраспылителям 15 подаются напыляемые продукты, при сгорании которых на выходе из горелок распылителей 15 образуется двуокись кремния, которая и напыляется на оправу-форму 20, образуя иэделие 21.

Тяга-толкатель 13, поднимаясь вверх, иэ вертикального положения переходит в наклонное положение и поворачивает ось 8, благодаря жесткому к ней креплению, а вместе с ней и закрепленные на ней»»танги 14 с -орелками-распылителями 15, тем самым наклоняя горелки-распылители 15 над верхней частью оправы-формы 20, которые и напыляют верхнюю часть оправыформы 20, образуя донышко изделия 2

Затем сжатый воздух подается в верхнюю часть цилиндра 3 и шток 4 начинает î "ó ñêà".üñÿ вниз вместе с. з акрепленной на нем осью 11, благодаря чему шарнир ое приспособление 9 скла,»дывается и опускает нниэ тягу-тол-.— катель 13, Тяга-толкатель 13, о-.>óñêàÿñü вниз, иэ наклонного положения переходит в вертикальное положение, поворачивает ось 8 в обратном направлении и переводит в горизонтальное положение штанги 14 с гооелками-распылителями

15, которые, опускаясь нниэ, напыля— ют цилиндрическую часть изделия 21.

Возвратно-поступательное движение горелок-распылителей 15 н вертикальной пло ско от и продолжает ся до те х пор, пока не будет напылена требуе— мая толшина изделия 21.

После напыления изделия 21 произ— водит ся остановка установки в следуюшей последовательности.

Прекращают подачу продуктов напыле ни я в трубопроводы 16 . Прекрашают подачу сжатого воздуха в цилиндр 3 и выклю ают электропринод 17.

Поепе остывания из» отовленное изделие 21 снимают с оправы-формы 20 и направляют его на термическую обработку-остекловывание, а установка включается для напыления нового изделия.

Для напыления иэделия другого профиля на у ст ановке прои з водят сме и у

975604

Формула иэо бретения

ВНИИПИ Заказ 8718/34 Тираж 508 Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 пластин, имеющих пазы требуемого профиля и высоты.

Предлагаемая установка проста по конструкции и в эксплуатации и позволяет напылять иэделия из синтетической двуокиси кремния различной высоты и профиля беэ изменения конструкции пневматического подъемника.

Установка для напыления изделий из синтетической двуокиси кремния по авт.св. У 899504, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью упрощения конструкции и ее эксплуатации, а так- 1 5 же обеспечения возможности напыления изделий различной высоты и профиля, устройст во для перемещения горелокраспылителей параллельно образующей оправы-формы изделия выполнено в виде съемных пластин с направляющими пазами и расположенной в них осью, а также шарнирного приспособления и тяги-толкателя, при этом шарнирное приспособление внизу прикреплено к штоку подъемника, вверху — к тяге-толкателю, соединенной с осью, а горелкираспылители прикреплены к последней.

Источники информации, принятые во виимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 361988, кл. С 03 С 3/06, 1971.

2. Авторское свидетельство СССР

9 899504, кл. C 03 С 3/06, 17.08.79 (прототип).