Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в области акустических измерений для преобразования акустических колебаний высокой частоты в электрический сигнал.

По основному авт, св. а 913055 известно устройство для измерения перемещений объекта, содержащее по- g следовательно установленные источ. ник когерентного излучения, планарный двухлучевой интерфероментр, блок регистрации и плоский чувствительHb18 элемент с электропроводящей поверхностью 1 )..

Недостатком известного устройства является небольшой динамический диапазон измеряемых перемещений вследствие нелинейности статической характеристики преобразования устройства.

Цель изобретения вЂ” расширение динамического диапазона измеряемых перемещений.

Для достижения цели устройство снабжено йластиной из проводящего материала, один конец котарой шарнирно связан с чувствительным элементом, а другой конец вЂ” с поверхностью йланарного интерферометра через скользящий шарнир.

На фиг. 1 приведена схема устройства; на фиг. 2 вЂ” то же, вид сверху.

Устройство содержит последовательно установленные источник 1 когерентного излучения, планариый двулучевой интерферометр 2, состоящий из узла 3 ввода излучении, планар.ного волновода 4, светоделителя 5, отражателей б и 7, смесителя 8, поглотителя 9 и узла 10 вывода излучения, блок 11 регистрации, плоский чувствительный элемент 12 с электропроводящей поверхностью, ориентиро" ванный паралелльно плоскости интер ферометра, и пластину 13 иэ проводящего материала, один конец которой шарнирно связан с чувствительным элементом 12, а другой конец -- с поверхностью планарного интерферометра 2 через скользящий шарнир (не показан).

Устройство работает следующим образом.

Оптическое излучение от источника

1 излучения с помощью узла 3 ввода излучения вводится s планарный волновод 4, разделяется светоделителем

5 ka два луча, объединяемых на смесителе 8. С помощью узла 10 вывода

991154

Формула изобретений

ВНИИПИ Заказ 107/54 Тираж 600 Подписное

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4 объединенный луч выводится из планарного волновода 4 и поступает на блок

ll регистрации. Поглотитель 9 предотвращает появление йаразитйых:. отражений.

В исходном положении между опорным и сигнальным лучами существует неко« торая разность фаз определяемая разностью иэ оптических путей. Наличие пласгины 13 иэ проводящего материала, . располагаемой под заданным углом d к поверхности планарного интерферо-, метра 2 в области прохождения, одного из лучей интерферометра 2 изменяет величину ПостояиНой распространения поверхностной волны в волноводе 4.

При смещениях чувствительного элемента 12 изменяется и угол с(,, что приводит к изменению постоянной рас-пространения поверхностной волны и, соответственно, разности.фаз лучей интерферометра 2. При этом происхо-. дит " спрямление характеристик преобразования устройства, что и позволяет увеличить динамический диапазон измеряемых перемещений эа счет расйаирения линейного участка характеристики.

Вместо поглотителя 9 можно использовать дополнительный блок регистрации (не показан).

Таким образом, введение пластины из проводящего материала, расположенной описанным образом, позволяет расширить динамический диапазон измеряемых перемещений.

Устройство для измерения перемещений объекта по авт. св. 9 913055, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения динамического диапазона измеряемых перемещений, оно снабжено пластиной Н3 проводящего материала, один конец которой шарнирно связан с чувствительным элементом, а другой конец .вЂ” с поверхностью планарного интерферометра через скользящий шарнир.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 913055, кл. G 01 В 9/02, 1980 (прототип) °

Устройство для измерения перемещений объекта

Интерферометр радиального сдвига // 991151

Интерферометр для контроля качества оптических систем // 991150

Интерферометр для исследования прозрачных неоднородностей // 987379

Интерферометр для контроля формы поверхностей оптических деталей // 987378

Интерферометр для измерения перемещений объекта // 983450

Интенферометр для контроля прямолинейности и плоскостности поверхности объекта // 980507

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в приборостроительной и машиностроительной отраслях промышленности для бесконтактного контроля прямолинейности и плоскостности поверхности объекта пластин для плоских зеркал и дифракционных решеток, установочных плит, направляющих и линеек большой длины

Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей крупногабаритных линз // 977942

Устройство для контроля оптических поверхностей деталей // 974117

Устройство для автоматического измерения сдвига ахроматической полосы в интерферометрах // 972210

Двухлучевой интерферометр для измерения показателя преломления изотропных и анизотропных материалов // 2102700

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения с высокой точностью показателей преломления изотропных и анизотропных материалов

Звездный интерферометр майкельсона // 2103662

Устройство для автоматизированного измерения угловых величин // 2112208

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для высокоточных измерений малых угловых перемещений в специальных геодезических работах, в точных геофизических измерениях и при производстве крупногабаритных изделий в качестве контрольно-измерительной аппаратуры

Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых гиперболических зеркал // 2114390

Устройство для записи голографических интерферограмм // 2119644

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к двухэкспозиционной голографической интерферометрии, и может быть использовано при исследовании вибраций объектов, в том числе вращающихся, и других процессов

Устройство для измерения поверхностных характеристик // 2124701

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Способ обработки сигнала кольцевого интерферометра волоконно-оптического гироскопа (варианты) // 2130587

Изобретение относится к области волоконной оптики и может быть использовано при конструировании электронного блока обработки информации волоконно-оптического гироскопа, а также других датчиков физических величин на основе кольцевого интерферометра

Интерферометр перемещения // 2139496

Изобретение относится к интерферометрам и может быть использовано для абсолютного измерения линейной длины отрезков

Микрорезонаторный волоконно-оптический датчик концентрации газов // 2142114

Изобретение относится к волоконно-оптическим автоколебательным системам на основе микромеханического резонатора, возбуждаемого светом, и может быть использовано в системах измерения различных физических величин, например, концентрации газов, температуры, давления и др

Способ измерения квазипериода дифракционного распределения излучения от узкой щели // 2145054

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и может использоваться в скоростных дифрактометрах