Устройство для измерения магнитных свойств тонких пленок

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскик .Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-вуВ 638904 (22) Заявлено 070881 (21) 3332051/18-21 1511М. КЛ. с присоединением эаявки ¹

G 01 R 33/12

Государственный комитет

СССР яо делам изобретений н отврытий (23) Приоритет

Опубликовано 1502.83. Бюллетень ¹ 6

Дата опубликования описания 150283

t$3) УДК 621. 017..44(088.8), (71) Заявитель

1», дагестанский сельскохозяйственный институт

Ч"-а Ф

;(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАГНИТНЫХ

СВОЙСТВ ТОНКИХ ПЛЕНОК

Изобретение относится к области магнитцых измерений и может быть.— использовано в устройствах для иссле- дования свойств слабомагнитных мате/ риалов используемых.в виде тонких пленок .полупроводников, металлов или диэлектриков.

По основному явт. св. 1т б38904 известно устройство для измерения магнитных свойств тонких пленок, содер. жащее корпус,.внутренняя поверхность которого поирыта проводящим слоем, . и испаритель, .в верхней части»корпу.са размещен магнитный подвес с кварцевой нитью на-которой укреплен. диск-подложка из слабомагнйтного материала, а в нижней части — испаритель и подвижная кварцевая трубка-заслоойка, между испарителем и диском размещена маска трафарет, служащая для негативного осаждения исследуемой пленки на диске"подложке, с обеих, сторон-корпуса установлены полюсные наконечники таким образом, что их центр по вертикали совпадает с горизонтальной плоскостью диска (1).

Недостатком известного устройства яв -.яется невозможность осуществления автоматической центровки диска-подложки по двум осям в горизонтальной плоскости в поле электромагнита,что снижает точность и быстродействие измерения.

Цель изобретения — повышение точности и быстродействия.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для измерения магнитных свойств тонких пленок, содержащем корпус, внутренняя часть которого покрыта проводящим слоем, и испаритель, в верхней части корпуса размещен магнитный подвес с кварце вой нитью, на которой укреплен диск" подножка из слабомагнитного материала, а в нижней части — испаритель и подвижная кварцевая трубка-заслонка, между испарителем и диском раз° мещена маска-трафарет, служащая для негативного осаждения исследуемой пленки на диске-подложке, с обеих сторон корпуса установлены полюсные наконечники, в нижнюю часть кварце.вой нити впрессована проволока из парамагнитного материала, а диск-подложка размещен в горизонтальной плоскости, проходящей через нижние торцы полюсных наконечников.

На чертеже представлена схема устройства для измерения магнитных свойств тонких пленок.

996962

Устройство содержит магнитный подвес 1, кварцевую нить 2,проволоку

3, полюсные наконечники 4 и 5, дискподложку 6, массу-трафарет 7, корпус

8, проводящее покрытие 9, кварцевую трубу -заслонку 10 и испаритель 11.

Устройство работает следующим образом.

В процессе обеэгаживания прибора, на внутреннюю поверхность которого йанесен проводящий слой SnO<, обеэга- io живают испаритель с мелкими кристаллами исследуемого вещества (напри.мер СИТе) пропусканием тока силой

5-10 A через молибденовую спираль, намотанную на испаритель 11, иэготов- 15 ленный из кварцевой трубки в виде ампулы и впаянный в нижнюю часть стеклянного прибора. При этом кварцевую трубку-заслонку 10 выдвигают наклоном прибора,в положение 10, предотвращающее попадание молекулярного пучка иэ ампулы испарителя 11 на диск-подложку 6. После обезгаживания при достижении необходимого вакуума, прибор отпаивают от вакуумной уста« новки, кварцувую трубку-заслонку возвращают в исходное положение, исключающее экранирование молекулярного пучка. Далее прибор корректируют и подключают к регистрирующей и измерительной аппаратуре. Корректировка позволяет устанавливать прибор в зазоре полюсов электромагнита строго вертикально таким образом, что плоскость диска-подложки совпадает с го« ризонтальной плоскостью нижних торцов магнитных наконечников. При этом, если систему координат выбрать так, . что ее центр О совместить с осью прибора в плоскости диска-подложки, а ось Х направить перпендикулярно 40 оси У, совмещенной на чертеже с осью симметрии О 04 магнитных нако4 нечников, то центровка диска-подломки в магнитном поле автоматически осуществляется следующим образом. Цент- 45 ровка диска по оси Х происходит в результате втягивания парамагнитной проволоки в максимум магнитного поля, расположенный по оси симметрии магнитных наконечников. При этом центр диска-подложки 6 занимает в своей плоскости координаты абсцисса X О, а координата У определяется зазором между самим диском и внутренним диаметром прибора. Одновременно центровка диска по оси У происходит за счет градиентов магнитного поля, образующихся на нижних торцах полюсных наконечников, в результате чего диск-подложка 6 иэ диамагнитного материала устремпяется в сторону уменьшения неоднородности магнитного поля, ось симметрии которого на чертеже совмещена с осью Х. Таким образом,центр диска-подложки автоматически занимает положение с координатами X О и У О, т.е. совпадающими с осью симметрии прибора.

Введение в устройство для измере-! ния магнитных свойств тонких пленок проволоки иэ парамагнитного материа-. ла, например платины, и размещение диска-подложки в горизонтальной плоскости, проходящей через нижние торцы полюсных наконечников, повышает точность и быстродействие эа счет автоматической центровки диска-подложки по двум осям в горизонтальной плоскости в поле электромагнита.

Формула изобретения

Устройство для измерения магнитных свойств тонких пленок по авт.св.

9 638904, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и быстродействия,.в нижнюю часть кварцевой нити впрессована проволока иэ марамагнитного материала, а диск-подложка размещен в горизонтальной плоскости, проходящей через нижние торцы полюсных наконечников.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 638904, кл. С 01 Il 33112, 26.01.77.

996962

Составитель Т.Краснова

Редактор К.Волощук Техред Т.Фанта Корректор М.Шароьж

° й

Заказ 926/63 Тиран 706 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делаи изобретений и открытий

113035, Москва, %-35, Рауновская маб., д. 4/5 .Филиал ППП "Патент", г. Увгород, ул. Проектная, 4