Способ фотографического размножения штриховых изображений

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ. СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик о11996982 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено .210780 (21) 2961053/18-10 р )ьд К з

G 03 С 5/08 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Государственный комитет

СССР ио делам изобретений и открытий

Опубликовано 150283. Бюллетень №„: 6

Дата опубликования описания 150283

133) УДК 771.5+

+621.382 (088.8) l. . :CF(. 1 ð т-,, Ю.С. Андреев и В.В. Тарновецкий :Ф 1; (Г

1-

Всесоюзный государственный научно-исследовательский:=--; -:„: и проектный институт химико-фотографической промышленности (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ФОТОГРАФИЧЕСКОГО РАЗМНОЖЕНИЯ

ШТРИХОВЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ

Изобретение относится к фоторепродукционной технике, в частности к способам фотографического размножения фотошаблонов в технологии радиопромышленности и микроэлектроники.

Многократное размножение часто выполняют методом контактного копирования. При этом процесс состоит из следующих операций: проецирование оригинала на галогенсеребряный фотоматериал, проявление, фиксирование фотоматериала и копирование полученного таким способом фотошаблона на регистрирующий светочувствительный материал, например галогенсеребряный, фоторезистивный и т.п. При копировании обычно используют точечный источник света, а экспонирование выполняют в узкой ,спектральной области, что обеспечивает высокую когерентность излучения при копировании.

В процессе контактного копирования очень трудно избежать возникновения зазора между фотошаблоном и регистрирующим светочувствительным материалом.

Он. вызывается несовершенством копировальных устройств, .неплоскостностью фотоматериалов, наличием загрязнений в промежутке между фотошаблоном и светочувствительньм материалом. Зазор между фотошаблоном и светочувствитель. ным материалом приводит к дифракционным искажениям изображения. Стремление уменьшить зазор и обеспечить плотный прйжим фотошаблона к светочувствительному материалу служит причиной быстрого износа копируемого фатошаблона и требует его многократного возобновления, что экономически невыгодно.

Известен способ контактного копирования, при котором с целью снижения износа шаблона его рабочая поверхность подвергается металлизации (1).

Данный способ предполагает введение дополнительных операций в процессе получения рабочего шаблона и поэтому экономически невыгоден.

Известен также способ фотографического размножения штриховых изображений путем контактното.копирования оригинала на галогенсеребряный фотоматериал, проявления, фиксирования материала и последующего контактного

25 копирования полученного фотошаблона на регистрирующий светочувствительный материал с использованием во вре, мя копирования когерентного или час1тично когерентного излучения, по ко30 торому копирование выполняют с эазо996982

Филиал ППП "Патент",r.ужгород,ул.Проектная,4

Ром между фотошаблоном и светочувствительным материалом в 25-30 мкм (2), Однако при контактном копировании со столь малой величиной зазора, обес- печивающей допустимые искажения иэображения, установить и поддерживать постоянство размера зазора довольно сложно, причем уже малые колебания в размере зазора приводят к значительным колебаниям ширины деталей изображения. При этом увеличение зазора при- о водит к недопустимым искажениям изображения, а необходимость поддержания плотного контакта при копировании оригинала на фотоматериал приводит к износу оригинала.

Цель изобретения — упрощение технологии получения фотошаблонов при одновременном уменьшении искажений изображения и уменьшении износа копируемых носителей изображений.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу фотографического размножения штрихоных изображений копирование оригинала и копирование фотошаблона производят с одинаковь1м за,зором от 30 MKM до 2 мм. - . 25

Пример 1. Оригинал — стеклянную пластинку с нанесенным методом вакуумного напыления тонким слоем металла шириной 5 мкм и оптической плотностью D = 0,3 копируют в когерентном30 свете излучения гелий-неонового лазера контактным способом с зазором

30 мкм на выоокоразрешающий галогенсеребряный фотографический материал.

Экспонированный материал проявляют в 35 проявителе следующего состава, г:

Иетол 2,2

Сульфат натрия б/в 96

Гидрохинон 8,8

Сода кальцини- 40 рованная 48

Бромистый калий 5

Вода До 1 л

Время проявления — 2 мин. Затем промывают, фиксируют, промывают и высушивают обработанный фотографический материал.

Полученный фотошаблон копируют в свете гелий-неонового лазера контакт« ным способом с зазором величиной 5О

30 мкм на высокоразрешающий галогенсеребряный фотографический материал.

Экспонированный материал подвергают химико-фотографической обработке— проявлению, промывке, фиксированию, 55 промывке и высушиванию указанным способом. Полученное иэображение микрофотометрируют с применением Регистрирукщего микродеиситометра (например микроденситометра Джойс-Лебл) при . направлении записи перпендикулярно краю полуплоскости.

ВНИИПИ Заказ 929/64 Тираж

Пример 2. Осуществляют аналогично примеру 1, однако величина зазора на обеих стадиях ранна 125 мкм.

Пример 3. Оригинал — стеклянную пластинку с нанесенной методом вакуумного напыления металла границей полуплоскости с резким краем и оптической плотностью напыленного слоя — 0,3 копируют в свете гелий-неонового лазера контактным способом с зазором 2 мм на высокоразрев.ающий галогенсеребряный фотографический материал. Химико-фотографическую обработку материала ведут согласно примеру 1, Полученный фотоиаблон копируют н свете гелий-неонового лазера контактным способом с зазором величиной 2 мм на высокоразрешающий фотографический материал. Экспонированный материал обрабатывают аналогично примеру 1. С полученного иэображения делают микрофотографию с увеличением 250

Анализ полученных результатов покаэывает, что .применение предлагаемого способа фотографического размножения штриховых изображений путем контактного копирования оригинала на галогенсеребряный светочувствительный материал и последующего контактного копирования, полученного после химико-фотографической обработки фотов .аблона на свет чувствительный материал с применением одинакового зазора при копировании оригинала и копировании фотошаблона дает возможность получать рез- .. кие изображения, причем предлагаемый спо- соб позволяет беэ существенной потери резкости увеличить размер зазора до 2 мм.

Формула изобретения

Способ фотографического размноже,ния штриховых изображений путем контактного копирования оригинала на галогенсеребряный фотоматериал, проявления, фиксирования материала и последующего контактного копирования полученного фотошаблона на регистрирующий светочувствительный материал с зазором между ними с использованием во время копирования когерентного или частично когерентного излучения, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии получения фотошаблонон при одновременном уменьшении искажений изображений и уменьшении износа копируемых носителей изображений, копирование оригинала и копирование фотошаблона производят с одинаковым зазором до 30 мкм до 2 мм.

Источники информации, .принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США Р 3507593, кл.. 355-87, опублик. 1970.

2. Электронная техника. Сер. 2.

Полупроводниковые приборы, вып. 7(71), 1973, с. 64.

471 Подписное