Устройство механического перемещения для сканирующего зондового микроскопа - заявка 2015142454 на патент на изобретение в РФ

1. Устройство механического перемещения для сканирующего зондового микроскопа, содержащее основание (1), СЗМ головку (2), оснащенную первой опорой (3), второй опорой (4), третьей опорой (5), при этом первая опора (3) сопряжена с основанием (1) и снабжена первым приводом (6), установленным на СЗМ головке (2), а вторая опора (4) и третья опора (5) также сопряжены с основанием (1), отличающееся тем, что вторая опора (4) снабжена вторым приводом (7), установленным на СЗМ головке (2), и третья опора (5) снабжена третьим приводом (8), установленным на СЗМ головке (2).
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первый привод (6), второй привод (7) и третий привод (8) содержат передаточный механизм (30), обеспечивающий поступательное перемещение первой опоры (3), второй опоры (4) и третьей опоры (5).
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первый привод (6), второй привод (7) и третий привод (8) содержат модуль измерения перемещения (39).
4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первый привод (6), второй привод (7) и третий привод (8) содержат датчики крайних положений (40).
5. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что корпус (25) первого привод (6), второго привод (7) и третьего привода (8) выполнен титана.
6. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в него введен теплоотводящий модуль (53), сопряженный с мотором (50).
Наверх