Способ контроля герметичности отсоединенных от вакуумного поста моноблочных газовых лазеров методом эмиссионного спектрального анализа - заявка 2015144074 на патент на изобретение в РФ

Способ контроля герметичности отсоединенных от вакуумного поста моноблочных газовых лазеров методом эмиссионного спектрального анализа, включающий использование для оценки герметичности пробного газа, не являющегося рабочим газом для данного лазера или типичным примесным газом и имеющего в выбранной спектральной области линии, не перекрывающиеся линиями основных газов или молекулярных полос типичных примесных газов, обладающие высокой интенсивностью при низких концентрациях пробного газа, выбор аналитических пар спектральных линий пробного и рабочего газов для оценки концентрации пробного газа, построение калибровочной зависимости относительной интенсивности выбранной аналитической пары от концентрации пробного газа, регистрацию спектра излучения тлеющего разряда контролируемого лазера, определение по калибровочной зависимости концентрации пробного газа, создание замкнутого объема вокруг контролируемой оболочки лазера, заполнение указанного замкнутого объема пробным газом, накопление в контролируемом лазере пробного газа, регистрацию линий пробного газа в спектре излучения тлеющего разряда после хранения в среде пробного газа, определение по калибровочной зависимости концентрации пробного газа и оценку герметичности изделия по разности измеренных концентраций пробного газа до и после контрольного времени хранения, отличающийся тем, что для уточнения области недостаточной герметичности используют два пробных газа, формируют вокруг контролируемого моноблочного газового лазера два замкнутых объема, разделяющие паяные соединения элементов моноблочного газового лазера и соединения способом оптического контакта, заполняют эти объемы разными пробными газами, определяют поток натекания по каждому газу и по разности потоков натекания определяют область недостаточной герметичности.
Наверх