Способ нанесения покрытия из аморфного оксида алюминия реактивным испарением алюминия в разряде низкого давления - заявка 2016137077 на патент на изобретение в РФ

Способ нанесения покрытия из аморфного оксида алюминия реактивным испарением алюминия, включающий очистку поверхности подложки ионным распылением, разогрев, испарение и ионизацию паров алюминия и осаждение в рабочей камере покрытия на подложку в смеси газов, содержащей аргон и кислород, с ионной стимуляцией процесса осаждения покрытия потоком ионов, отличающийся тем, что используют разряд низкого давления с полым анодом, во входной апертуре которого формируют двойной электрический слой пространственного заряда, в котором генерируются встречные потоки электронов и ионов с энергией, определяемой падением напряжения на двойном слое, ионную очистку поверхности подложки, устанавливаемой напротив анодной апертуры, производят разрядом в аргоне, затем в разрядный промежуток подают реакционный газ и увеличивают ток разряда до значений, при которых во внутренней полости анода, в которую помещен алюминий, происходят процессы разогрева, испарения и ионизации паров алюминия под действием потока быстрых электронов, а паровой поток из анодной полости и поток ионов алюминия поступают на подложку и при взаимодействии с реактивным газом формируют аморфное покрытие из оксида алюминия.
Наверх