Защита внутренней части полого тела покрытием, полученным способом атомно-слоевого осаждения - заявка 2016136052 на патент на изобретение в РФ

1. Способ защиты внутренней части полого тела, который включает:
обеспечение наличия впускающего и выпускающего коллектора, включающего блок для соединения с отверстием который может быть присоединен к отверстию полого тела;
воздействие на внутреннюю часть полого тела последовательно протекающих самонасыщающихся поверхностных реакций, проводимых посредством последовательного впуска реакционноспособных газов через блок для соединения с отверстием и отверстие во внутреннюю часть полого тела; и
удаление избыточных газов из полого тела через отверстие и блок для соединения с отверстием.
2. Способ по п.1, включающий присоединение блока для соединения с отверстием к отверстию полого тела.
3. Способ по п.1 или 2, включающий откачку реакционного остатка и извлечение газа из внутренней части полого тела с помощью вакуумного насоса, присоединенного к выпускной части впускающего и выпускающего коллектора.
4. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором уровень расположения точки подачи газа в полое тело отличается от уровня расположения точки выпуска газа.
5. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором полое тело применяют в качестве реакционной емкости, которую герметизируют с помощью герметизирующей детали, находящейся в блоке для соединения с отверстием.
6. Способ по п.5, в котором герметизирующая деталь включает коническую резьбу, которая может быть съемным образом присоединена к отверстию полого тела.
7. Способ по п.5 или 6, в котором блок для соединения с отверстием включает сопрягаемую деталь, которая может быть присоединена к герметизирующей детали, что позволяет ввинчивать (поворачивать) герметизирующую деталь, в результате чего она герметично закрывает отверстие полого тела.
8. Способ по любому из предшествующих пунктов, включающий:
подачу неактивного продувочного газа в промежуточное пространство, находящееся между полым телом и окружающей его стенкой камеры, и
откачку неактивного продувочного газа из промежуточного пространства.
9. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором впускающий и выпускающий коллектор включает одну или более питающих линий, регулирующими элементами которых управляет компьютеризированная система управления.
10. Устройство для создания защиты внутренней части полого тела, включающее:
впускающий и выпускающий коллектор, включающий блок для соединения с отверстием который может быть присоединен к отверстию полого тела, причем устройство предназначено для воздействия на внутреннюю часть полого тела последовательно протекающих самонасыщающихся поверхностных реакций, проводимых посредством последовательного впуска реакционноспособных газов через блок для соединения с отверстием и отверстие во внутреннюю часть полого тела; и
насос, предназначенный для откачки избыточных газов из полого тела через отверстие и блок для соединения с отверстием.
11. Устройство по п.10, в котором уровень расположения точки подачи газа, образуемой впускающим и выпускающим коллектором, отличается от уровня расположения точки выпуска газа, образуемой впускающим и выпускающим коллектором.
12. Устройство по п.10 или 11, в котором впускающий и выпускающий коллектор включает питающие линии для паров предшественника и продувочного газа и регулирующие их элементы.
13. Устройство по любому из пп.10-12, в котором впускающий и выпускающий коллектор включает блок для соединения с отверстием, индивидуально подходящий для отверстия полого тела, предназначенный для введения впускающего и выпускающего коллектора в отверстие полого тела с образованием при этом соединения, подходящего для переноса текучей среды, между впускающим и выпускающим коллектором и внутренней частью полого тела.
14. Устройство по любому из пп.10-13, включающее:
камеру, окружающую полое тело, и линию впуска неактивного газа, предназначенную для подачи неактивного продувочного газа в промежуточное пространство между полым телом и окружающей его стенкой камеры.
15. Устройство по любому из пп.10-14, в котором блок для соединения с отверстием включает герметизирующую деталь, которая может быть присоединена к отверстию полого тела.
16. Устройство по п.15, в котором герметизирующая деталь включает коническую резьбу.
17. Устройство по пп.10-16, отличающееся тем, что устройство является мобильным.
Наверх