Способ изготовления матрицы детекторов тгц излучения на основе углеродных нанотрубок - заявка 2016141288 на патент на изобретение в РФ

1. Способ изготовления матрицы детекторов терагерцового излучения на основе сеток углеродных нанотрубок, отличающийся тем, что массив чувствительных элементов формируется в процессе селективного травления однородной сетки УНТ с использованием литографической маски в виде массива прямоугольников размером 8×4 мкм2, сформированной в процессе фотолитографии.
2. Способ изготовления матрицы детекторов терагерцового излучения на основе сеток углеродных нанотрубок по п. 1, отличающийся тем, что матрицы контактных электродов к углеродным нанотрубкам выполнены в виде плоских спиральных антенн логарифмического типа из металлов с разной работой выхода в одном литографическом цикле с помощью углового напыления.
Наверх